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对比文件列表
| 编号 | 名称 |
|---|
权利要求1
一种集成电路装置，其包括： 第一衬底，其支撑第一对用于互连的装置； 第二衬底，其在所述第一对互连装置上，所述第一对互连装置经布置以操作为第一3D螺线管电感器的部分； 第一导电装置，其使所述第一对互连装置彼此耦合； 第二对用于互连的装置，其在所述第一衬底与所述第二衬底之间，所述第二对互连装置经布置以操作为第二3D螺线管电感器的部分； 第三对用于互连的装置，其由所述第二衬底支撑；及第三衬底，其堆叠在所述第三对互连装置上。
权利要求2
根据权利要求1所述的集成电路装置，其进一步包括：导电装置，其使所述第三对互连装置彼此耦合，其中所述第三对互连装置经布置以操作为与所述第一3D螺线管电感器对准的第三3D螺线管电感器。
权利要求3
根据权利要求1所述的集成电路装置，其中：所述第一对用于互连的装置包含第一对导电互连件； 所述第一对导电互连件经布置以操作为所述第一3D螺线管电感器的部分； 所述第一导电装置包含第一导电迹线，所述第一导电迹线使所述第一对导电互连件彼此耦合； 所述第二对用于互连的装置包含第二对导电互连件，所述第二对导电互连件在所述第一衬底与所述第二衬底之间，所述第二对导电互连件经布置以操作为所述第二3D螺线管电感器的部分； 所述第三对用于互连的装置包含第三对导电互连件，所述第三对导电互连件由所述第二衬底支撑；及所述第三衬底，其堆叠在所述第三对导电互连件上。
权利要求4
根据权利要求3所述的集成电路装置，其进一步包括：导电迹线，其使所述第三对导电互连件彼此耦合，其中所述第三对导电互连件经布置以操作为与所述第一3D螺线管电感器对准的第三3D螺线管电感器。
权利要求5
根据权利要求3所述的集成电路装置，其进一步包括：第四对导电互连件，其布置在所述第二衬底与所述第三衬底之间且穿过多个通孔耦合到所述第二对导电互连件； 第二导电迹线，其使所述第二对导电互连件的一端彼此耦合且还经过所述第四对导电互连件，所述第二对导电互连件及所述第四对导电互连件经布置以操作为具有大于所述第一3D螺线管电感器的高度的高度的所述第二3D螺线管电感器。
权利要求6
根据权利要求3所述的集成电路装置，其中所述第三衬底包括玻璃。
权利要求7
根据权利要求3所述的集成电路装置，其中金属-绝缘体-金属MIM电容器形成在所述第三衬底的表面上。
权利要求8
根据权利要求3所述的集成电路装置，其中所述第一对导电互连件包括一对柱。
权利要求9
根据权利要求3所述的集成电路装置，其并入到以下各者中的至少一者中：音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元及计算机。
权利要求10
根据权利要求3所述的集成电路装置，其中：所述第二衬底进一步支撑第四对导电互连件，所述第二衬底包含将所述第二对导电互连件耦合到所述第四对导电互连件的一对通孔； 所述第三衬底堆叠在所述第三和第四对导电互连件上，且进一步包含：第二导电迹线，其使所述第二对导电互连件或所述第四对导电互连件中的一者彼此耦合以操作为所述第二3D螺线管电感器；及第三导电迹线，其使所述第三对导电互连件彼此耦合以操作为第三堆叠式3D螺线管电感器。
权利要求11
一种制造电感装置的后段工艺处理方法，其包括：在第一衬底上制造第一对导电互连件； 将第二衬底放置在所述第一对导电互连件上，所述第一对导电互连件经布置以操作为第一3D螺线管电感器的部分；及制造第一导电迹线，其使所述第一对导电互连件彼此耦合； 在所述第一衬底与所述第二衬底之间制造第二对导电互连件，所述第二对导电互连件经布置以操作为第二3D螺线管电感器的部分； 在所述第二衬底上制造第三对导电互连件；及在所述第三对导电互连件上放置第三衬底。
权利要求12
根据权利要求11所述的方法，其中在所述第一衬底上制造所述第一对导电互连件包括：在所述第一衬底上沉积第一导电层； 在所述第一导电层上沉积第一光致抗蚀剂层； 蚀刻所述第一光致抗蚀剂层以图案化所述第一导电层； 剥离所述第一光致抗蚀剂层； 在所述经图案化的第一导电层上沉积第一互连材料层； 在所述沉积的第一互连材料层上沉积第二光致抗蚀剂层；及蚀刻所述第二光致抗蚀剂层以图案化所述第一互连材料层以形成所述第一对导电互连件。
权利要求13
根据权利要求11所述的方法，其进一步包括：制造使所述第三对导电互连件彼此耦合的导电迹线，其中所述第三对导电互连件经布置以操作为与所述第一3D螺线管电感器对准的第三3D螺线管电感器。
权利要求14
根据权利要求11所述的方法，其进一步包括：在所述第二衬底与所述第三衬底之间制造第四对导电互连件； 在所述第二衬底中制造多个通孔； 穿过所述多个通孔将所述第四对导电互连件耦合到所述第二对导电互连件；及制造第二导电迹线，其使所述第二对导电互连件的一端彼此耦合且还经过所述第四对导电互连件，所述第二对导电互连件及所述第四对导电互连件经布置以操作为具有大于所述第一3D螺线管电感器的高度的高度的所述第二3D螺线管电感器。
权利要求15
根据权利要求11所述的方法，其进一步包括将所述电感装置并入到以下各者中的至少一者中：音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元及计算机。