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对比文件列表
| 编号 | 名称 |
|---|
权利要求1
一种器件，包括： 基板； 至少部分地穿过所述基板延伸并形成多通孔电感器的一部分的通孔，所述多通孔电感器包括耦合至所述通孔和第二通孔且置于所述通孔与所述第二通孔之间的所述基板上的导电结构；以及耦合至所述通孔的电容器，其中所述电容器的电介质位于所述通孔与所述电容器的极板之间，并且其中所述电容器的所述极板在所述基板以外。
权利要求2
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述导电结构包括第一导电结构，并且其中所述电容器通过所述通孔耦合至所述第一导电结构。
权利要求3
如权利要求2所述的器件，其特征在于，所述多通孔电感器进一步包括：所述第二通孔，其中所述第二通孔至少部分地延伸穿过所述基板并形成所述多通孔电感器的第二部分；以及第二导电结构，其中所述第一导电结构通过所述第二通孔耦合至所述第一导电结构，并且其中所述多通孔电感器包括所述通孔、所述第二通孔、所述第一导电结构、以及所述第二导电结构。
权利要求4
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述极板在层间电介质(ILD)层中，并且其中谐振电路包括所述多通孔电感器和所述电容器。
权利要求5
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述基板包括玻璃型基板并且其中所述通孔包括透玻通孔。
权利要求6
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述基板包括玻璃基板、石英基板、绝缘体上硅(SOI)基板、蓝宝石上硅(SOS)基板、高电阻率硅(HRS)基板、砷化镓(GaAs)基板、磷化铟(InP)基板、碳化硅(SiC)基板、氮化铝(AlN)基板、罗杰斯层叠、或塑料基板； 所述通孔是金属填充型通孔，所述金属包括铜(Cu)、钨(W)、银(Ag)、或金(Au)中的至少一者；以及所述电介质包括二氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、氮氧化硅(SiOxNy)、五氧化二钽(Ta2O5)、氧化铝(Al2O3)或氮化铝(AlN)中的至少一者。
权利要求7
如权利要求1所述的器件，其特征在于，进一步包括所述通孔内的金属结构，所述金属结构包括聚合物核。
权利要求8
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述电容器的所述极板的至少一部分和所述电容器的所述电介质的至少一部分垂直位于所述通孔的面向电介质的表面的至少一部分上。
权利要求9
如权利要求2所述的器件，其特征在于，所述电容器毗邻所述基板的第一表面，其中所述第一导电结构毗邻所述基板的与所述第一表面相对的第二表面，并且其中穿过所述通孔延伸且与所述基板的第二表面正交的轴与所述电容器的所述极板、所述电容器的所述电介质、以及所述第一导电结构相交。
权利要求10
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述通孔沿垂直于所述极板的表面的方向至少部分地延伸穿过所述基板，并且其中所述通孔的垂直于所述基板的所述表面的轴与所述极板的区域相交。
权利要求11
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述通孔的面向电介质的表面大于所述电容器的所述极板的表面。
权利要求12
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述通孔的面向电介质的表面与所述电容器的所述极板的表面大小相同。
权利要求13
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述通孔的面向电介质的表面小于所述电容器的所述极板的表面。
权利要求14
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述电容器的第二电介质位于所述通孔与所述电介质之间。
权利要求15
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述第二通孔部分地延伸穿过所述基板，其中所述通孔和所述第二通孔在所述基板内结合，并且其中所述多通孔电感器包括所述通孔、所述第二通孔、以及至少部分地穿过所述基板延伸的第三通孔。
权利要求16
如权利要求1所述的器件，其特征在于，所述通孔延伸穿过所述基板，并且其中所述电容器的所述极板的至少一部分和所述电容器的所述电介质的至少一部分垂直位于所述通孔的至少一部分上。
权利要求17
一种设备，包括： 用于存储电荷的装置，所述用于存储电荷的装置包括电介质；以及 用于传导电流的装置，所述用于传导电流的装置耦合至所述用于存储电荷的装置，所述用于传导电流的装置至少部分地穿过基板延伸并形成多通孔电感器的一部分，其中所述电介质位于所述用于传导电流的装置与所述用于存储电荷的装置的极板之间，并且其中所述极板在所述基板以外。
权利要求18
如权利要求17所述的设备，其特征在于，进一步包括：用于传导电流的第二装置，并且所述用于传导电流的第二装置至少部分地穿过所述基板延伸并形成所述多通孔电感器的第二部分，其中所述用于存储电荷的装置通过所述用于传导电流的装置耦合至所述多通孔电感器的第一导电结构，并且其中所述多通孔电感器的所述第一导电结构通过所述用于传导电流的第二装置耦合至所述多通孔电感器的第二导电结构。
权利要求19
如权利要求17所述的设备，其特征在于，进一步包括选自以下的组的其中集成有所述用于存储电荷的装置和所述用于传导电流的装置的器件：无线局域网(LAN)设备、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、通信设备、个人数字助理(PDA)、固定位置数据单元、以及计算机。
权利要求20
如权利要求19所述的设备，其特征在于，所述通信设备包括蜂窝电话。
权利要求21
一种存储指令的计算机可读存储设备，所述指令在由处理器执行时使所述处理器：发起形成至少部分地穿过集成电路的基板延伸并形成多通孔电感器的一部分的通孔； 以及 发起形成耦合至所述通孔的电容器，其中所述电容器的电介质位于所述通孔与所述电容器的极板之间，并且其中所述电容器的所述极板在所述基板以外并且在所述集成电路内。
权利要求22
如权利要求21所述的计算机可读存储设备，其特征在于，所述处理器被集成到电子设备中。