A 所述装置包括

B 热处理炉

C 所述热处理炉使前体稳定化

D 碳化炉

E 所述碳化炉放置在所述热处理炉的一侧

F 并使稳定化的所述前体碳化

G 其中，所述碳化炉通过使用微波作为热源来使所述前体碳化

H 其中，所述碳化炉包括

I 主体

J 加热体

K 所述加热体放置在所述主体的内部

L 稳定化的所述前体插入所述加热体中

M 微型发射单元

N 所述微型发射单元放置在所述主体的内部或外部

O 并向所述加热体发射微波

P 其中，所述加热体占所述主体的体积的0.1％至5％

Q 其中，所述加热体的内侧设有氮气气氛

R 其中，所述加热体具有中空柱的形状

S 容纳所述前体的空间被分隔为两个或更多个空间

T 供所述前体进入的入口和供取出所述前体的出口分别形成在分隔的空间中