对比文件名称：2015-06-18_发明申请_WO2015086413A1 MONOLITHICALLY INTEGRATED THREE ELECTRODE CMUT DEVICE
目标专利名称：三端口压电超声换能器CN107107114B
模型名称：DeepSeek
## 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| 技术特征A《隐含公开》 | [0047] “The first electrode (S1) can be brought in vibration by means of a signal transmitter/receiver 105 adapted to apply an AC voltage over the second S2 and first S1 electrodes, which result in the generation of an acoustic beam.” | 对比文件公开了可以通过信号发射器/接收器105在第一电极S1和第二电极S2上施加交流电压，从而使膜片振动并产生声波（即超声信号）。本领域技术人员能够理解，施加交流电压以产生声波的过程即是“发射超声信号”，并且该过程是“响应于来自收发器电路的信号”而进行的。因此，对比文件隐含公开了借助于电极发射超声信号的技术特征。 |
| 技术特征B《直接公开》 | [0040] “A flexible membrane or diaphragm 114 is suspended above (or oppossing) a substrate 112 with a gap 8 there between.” | 对比文件明确公开了CMUT包含悬浮在衬底112上方的柔性膜或膜片114，两者之间存在间隙8，该间隙即为腔。这直接对应于目标专利中“安置于腔上方的膜片”这一技术特征。 |
| 技术特征C《未公开》 | 无 | 目标专利的膜片包含“压电层堆叠”，这是PMUT（压电微机械超声换能器）的核心特征。对比文件描述的是CMUT（电容式微机械超声换能器），其工作原理基于电容变化，膜片结构未提及包含任何压电材料或压电层堆叠。本领域技术人员无法从对比文件中得出膜片包含压电层堆叠的技术方案。 |
| 技术特征D《未公开》 | 无 | 由于对比文件未公开膜片包含“压电层堆叠”，因此自然也未能公开该堆叠包含“压电层、第一电极和第二电极”这一具体构成。 |
| 技术特征E《直接公开》 | [0047] “The first electrode (S1) can be brought in vibration by means of a signal transmitter/receiver 105...” | 对比文件明确记载了第一电极S1与信号发射器/接收器105（属于收发器电路）连接。这直接公开了“第一电极与收发器电路的第一部分电耦合”的技术特征。 |
| 技术特征F《未公开》 | 无 | 该技术特征限定了第一电极和第二电极安置于“压电层”的表面上或附近。如对特征C、D的论述，对比文件未公开任何“压电层”，因此该位置关系特征未被公开。 |
| 技术特征G《未公开》 | 无 | 该技术特征限定了所述“第一表面”（压电层的表面）与腔对置。由于对比文件未公开“压电层”，因此该位置关系特征未被公开。 |
| 技术特征H《未公开》 | 无 | 对比文件虽然公开了CMUT可以接收回声信号（[0047]），第二电极S2也可连接到信号发射器/接收器（[0047], 图5C），但并未描述存在“第二时间段”以及在该时间段内“借助于第二电极接收第二超声信号”，且该第二时间段与发射信号的“第一时间段”“至少部分地重叠”。对比文件图5C所示的配置中，发射(Tx)和接收(Rx)使用了不同的电极，但未阐明其操作时序是重叠的。因此，该特征未被公开。 |
| 技术特征I《未公开》 | 无 | 对比文件没有描述或暗示可以“同时地”借助于第一电极发射超声信号并借助于第二电极接收超声信号。其操作模式更可能是分时或需要电路切换（如图5C暗示了不同的连接路径），而非同时进行。 |
| 技术特征J《未公开》 | 无 | 对比文件中，第一电极S1位于膜片114上，第二电极S2位于衬底112中，二者处于不同的结构层，并非如目标专利所限定那样，两者都位于膜片上，并具有“内部部分”和“外部部分”的平面位置关系。因此，该特征未被公开。 |
| 技术特征K《未公开》 | 无 | 对比文件未描述第二电极S2有任何部分“延伸超出腔的壁”。 |
| 技术特征L《未公开》 | [0040] “...a third electrode B is embedded into the floor 130 of the cell...” | 对比文件公开了第三电极B，但其位置是“嵌入在腔底130中”（cell floor），即位于衬底内、腔的下方。目标专利的第三电极是“安置于所述压电层与所述腔之间”。由于对比文件不存在“压电层”，且第三电极B位于腔的相反侧（下方而非上方），因此结构位置完全不同，该特征未被公开。 |
| 技术特征M《未公开》 | [0047] “The spacing between the CMUT electrodes (S1 and B) is controlled by applying a DC bias voltage to the third electrode B from a DC bias source 104.” | 对比文件中第三电极B的主要功能是接收来自直流偏置源104的直流偏置电压，以控制CMUT电极间的间距。其作用是提供偏压，而非作为与发射电极和接收电极“一样的参考电极”（如目标专利中可能被箝位到地的公共参考点）。两者功能不同，该特征未被公开。 |
| 技术特征N《未公开》 | 无 | 对比文件未提及将第三电极B的电压“箝位到接地或其它参考电压”。相反，其明确是施加一个直流偏置电压（[0047]），这通常不是固定的参考地电位。 |
| 技术特征O《直接公开》 | [0040] “A flexible membrane or diaphragm 114 is suspended above...”； [0047] “When lateron the membrane vibrates as a result of the received acoustic signal...” | 对比文件明确公开了膜片114是悬浮的（即受支撑），并在腔（间隙8）上方延伸。同时，也描述了膜片可以因电信号或接收的声学信号而发生振动。这直接对应于目标专利中膜片受支撑、在腔上方延伸、并可经历振动的技术特征。 |
| 技术特征P《隐含公开》 | [0047] “When lateron the membrane vibrates as a result of the received acoustic signal, the changing dimension of the dielectric gap between the electrodes leads to changing capacitance of the CMUT...” | 对比文件指出，当膜片因接收声信号而振动时，电极间介电间隙的尺寸会发生变化。本领域技术人员知晓，膜片的振动必然伴随着周期性的机械形变，附着于膜片上的第一电极S1会随之经历拉伸和压缩应力的交替周期。虽然对比文件未明确描述第二电极S2（位于衬底中）经历类似的应力循环，但对于固定在振动膜片上的电极而言，经历振荡负载循环是膜片振动的必然结果。因此，可以合理推断出第一电极经历了包含拉伸和压缩应力交替周期的振荡负载循环。 |
| 技术特征Q《未公开》 | 无 | 对比文件未描述第一电极和第二电极所经历的振荡负载循环之间的相位关系，更没有提及它们“大致同相”。 |
| 技术特征R《未公开》 | 无 | 对比文件未描述第一电极和第二电极所经历的振荡负载循环“异相”。 |
| 技术特征S《未公开》 | 无 | 对比文件未描述第一电极和第二电极所经历的振荡负载循环“异相180°”。 |
| 技术特征T《未公开》 | 无 | 对比文件未描述第二电极S2被配置为可以在“发射模式”和“接收模式”之间切换。图5C所示的实施例中，第二电极S2似乎专用于接收，而第一电极S1用于发射，这是一种功能分离的配置，而非同一电极的模式切换。 |
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