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权利要求与技术特征
权利要求 1
A
包括，衬底（2）
B
设置在该衬底上的第一布拉格反射器叠层（5）
C
第二布拉格反射器叠层（9）
D
所述第一和第二布拉格反射器叠层（5，9）形成具有光轴（3）的激光腔
E
在操作中激光束沿着该光轴发出
F
使布拉格反射器叠层（5，9）之一终止的金属性反射器层（15）
G
所述金属性反射器层（15）环绕所述光轴（15）定位并且覆盖一定区域
H
该区域不大于在其中TEM00激光模式的强度超过该TEM00激光模式的最大强度的三分之一的区域
I
其中被所述金属性反射器层（15）终止的布拉格反射器叠层（5，9）包括至多15对具有交替的较高和较低折射率的层；并且中所述垂直腔表面发射激光二极管（1）还包括电流限制层（8）
J
该电流限制层（8）具有横向地限制流过激光腔的电流的电流孔（81）
K
其中所述金属性反射器层（15）覆盖其大小不超过被所述孔（81）覆盖的区域的大小的区域。
权利要求 2
L
其特征在于，被所述金属性反射器层（15）覆盖的所述区域至少是被所述孔（81）覆盖的区域的1/10。
权利要求 3
M
其特征在于，所述金属性反射器层（15）被沉积到绝缘层（13）上。
权利要求 4
N
其中所述绝缘层（13）是氧化硅层。
权利要求 5
O
其特征在于，所述垂直腔表面发射激光二极管（1）是底部发射激光二极管
P
所述金属性反射器层（15）设置在沉积于所述衬底（2）上的最顶部布拉格反射器叠层（9）上。
权利要求 6
Q
其中所述金属性反射层（15）周边被环接触（11）围绕。
权利要求 7
R
其中所述金属性反射器层（15）的折射率的实部低于0.5。
权利要求 8
S
其中所述金属性反射器层（15）的材料选自金、银、铜及其合金所构成的组。
权利要求 9
T
其中所述金属性反射器层（15）的覆盖度从光轴（3）处的覆盖度沿着径向地向外的方向逐渐降低。
权利要求 10
U
其中所述金属性反射器层（15）形成电接触之一的至少一部分。
权利要求 11
V
其中所述垂直腔表面发射激光二极管是顶部发射激光二极管
W
所述金属性反射器层（15）埋置在所述第一和第二布拉格反射器叠层（5，9）之下。
权利要求 12
X
还包括电接触层
Y
该电接触层接触被所述金属性反射器层终止的布拉格反射器叠层并且包括与所述金属性反射器层相交的部分。