对比文件名称：2002-08-09_JP2002221249A_发明专利_JP2002221249A Active damping unit, its controlling method, and exposure system having active damping unit
目标专利名称：1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B
本次调用的模型名称：未指定
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| 技术特征A：从而通过设定点分布轮廓移动一个部件《未公开》 | 无 | 对比文件涉及主动阻尼单元及其在曝光装置中的应用，但未公开通过设定点分布轮廓移动部件的方法。曝光装置中的台移动虽隐含设定点轮廓，但对比文件未以任何方式提及或描述该轮廓，本领域技术人员无法从对比文件直接或合理推断出该特征。 |
| 技术特征B：所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态《未公开》 | 无 | 对比文件未涉及设定点分布轮廓的概念，更未公开其包含多个目标状态。 |
| 技术特征C：每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的《未公开》 | 无 | 对比文件无任何关于目标时间序列或目标状态与时间对应关系的描述。 |
| 技术特征D：所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件《未公开》 | 无 | 对比文件虽提及前馈控制（前向き補償），但用于主动阻尼单元，而非移动部件本身。其前馈信号基于XY stage动作信号产生，用于抑制振动，不涉及使用前馈数据通过设定点轮廓移动部件。 |
| 技术特征E：在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态《未公开》 | 无 | 对比文件中的振动检测传感器测量的是结构振动（加速度/速度），而非移动部件（如台）的位置、速度等状态。未公开对部件状态进行时间序列测量。 |
| 技术特征F：比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差《未公开》 | 无 | 对比文件未公开任何比较测量状态与目标状态的步骤，其反馈控制虽隐含误差，但目标为零振动，且无设定点轮廓，故未获得目标专利意义的误差组。 |
| 技术特征G：用非线性滤波器滤波所述这组误差《未公开》 | 无 | 对比文件中的非线性补偿（sigmoid函数）应用于线性补偿后的信号，并非直接滤波误差，且该误差非目标专利中的误差组，故未公开此特征。 |
| 技术特征H：根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据《未公开》 | 无 | 对比文件无迭代学习过程，无基于滤波误差产生改进前馈数据的步骤。前馈数据仅用于实时控制，不进行改进。 |
| 技术特征I：所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件《未公开》 | 无 | 对比文件未产生改进前馈数据，故无此使用。 |
| 技术特征J：所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e)《未公开》 | 无 | 对比文件无任何迭代学习或重复步骤的教导。 |
| 技术特征K：直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止《未公开》 | 无 | 对比文件未提及阈值条件或误差满足条件的判断。 |
| 技术特征L：输出满足阈值条件的改进的前馈数据《未公开》 | 无 | 对比文件无输出改进前馈数据的步骤。 |
| 技术特征M：其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度《直接公开》 | 段落[0080]-[0085]：图4に示すような入出力特性を有する非線形演算を、さきの線形補償演算の結果に対して施し、その演算結果を用いて、直動制振ユニット５０を制御する。… 数１で表される関数は、入力ｘの絶対値が大きくなるに従って、出力ｙ／入力ｘの比率の絶対値が小さくなる。 | 对比文件明确公开了非线性补偿运算，其输入信号（相当于误差信号）的幅度影响输出增益，即滤波取决于幅度。该特征与目标专利的特征M实质相同，均属于幅度依赖的非线性滤波。 |
| 技术特征N：其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量《未公开》 | 无 | 对比文件的非线性函数（sigmoid）是抑制大幅度信号（输入大时增益小），而目标专利要求抑制小幅度误差（如死区特性），两者作用相反，故未公开。 |
| 技术特征O：其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带《未公开》 | 无 | 对比文件未涉及频带分解或多频带处理。 |
| 技术特征P：对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作《未公开》 | 无 | 对比文件无频带单独滤波的教导。 |
| 技术特征Q：其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组《未公开》 | 无 | 对比文件未公开测量时间与目标时间的对应关系。 |
| 技术特征R：其中所述目标状态包括以下所述的至少一个：所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度《未公开》 | 无 | 对比文件未定义目标状态，更未公开包含位置、速度、加速度中的至少一种。 |
| 技术特征S：其中对于所述滤波器进行配置《直接公开》 | 段落[0080]：図4に示すような入出力特性を有する非線形演算を、さきの線形補償演算の結果に対して施し、その演算結果を用いて、直動制振ユニット５０を制御する。 | 对比文件明确配置了非线性补偿运算（即非线性滤波器），并用于控制，因此直接公开了“对于滤波器进行配置”的特征。 |
| 技术特征T：使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分《未公开》 | 无 | 对比文件的非线性函数无死区特性，不传递大于噪声带的成分，也不排斥其他成分，故未公开。 |
| 技术特征U：其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示《未公开》 | 无 | 对比文件未以阵列形式表示误差数据。 |
| 技术特征V：其中0≤i≤n《未公开》 | 无 | 对比文件无索引范围定义。 |
| 技术特征W：n是组中的采样数《未公开》 | 无 | 对比文件未定义采样数。 |
| 技术特征X：所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示《未公开》 | 无 | 对比文件的非线性运算是标量函数，非矩阵形式，未公开滤波器矩阵表示。 |
| 技术特征Y：步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积《未公开》 | 无 | 对比文件无乘积运算的对应关系。 |
| 技术特征Z：其中所述的Φ(ey(i))的定义如下：...(具体公式)《未公开》 | 无 | 对比文件的公式1为sigmoid函数，与目标专利的死区公式完全不同，未公开该具体定义。 |
### 公开性总结
根据以上比对，对比文件仅直接公开了技术特征M和S，其余技术特征均未直接或隐含公开。
<<<M>>><<<S>>>