对比文件的名称：2005-10-20_US2005231706A_发明申请_US20050231706A1 Feedforward control with reduced learning time for lithographic system to improve throughput and accuracy
目标专利的名称：1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B
本次调用的模型名称：AI模型（GPT-4）
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用（翻译成中文） | 公开性论述 |
| **特征A：** 从而通过设定点分布轮廓移动一个部件。**《直接公开》** | 对比文件【0043】：“图3A是图示台的简化的来回型迭代运动的实际和目标轨迹的概览图…曲线310(实线)表示台的实际轨迹，曲线312(虚线)表示台的目标轨迹。” | 对比文件明确公开了通过目标轨迹（相当于设定点分布轮廓）移动台（部件），且该目标轨迹用于控制台的运动，作用与目标专利相同。 |
| **特征B：** 所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态。**《直接公开》** | 对比文件【0044】：“在第一迭代300中，在时间t11、t21、t31、t41、t51，台的测量位置分别位于位置P1、P2、P3、P4、P5。” | 对比文件的目标轨迹由多个时间点上的目标位置组成，即公开了设定点分布轮廓包含多个目标状态。 |
| **特征C：** 每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的。**《直接公开》** | 对比文件【0044】同上，每个目标位置P1-P5对应特定的时间t11-t51。 | 每个目标状态（位置）在对应的目标时间获得，与目标专利完全一致。 |
| **特征D：** 所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件。**《直接公开》** | 对比文件【0058】：“位置补偿模块然后用作力前馈，以控制被引导至一个或多个移动组件组件的电流。”【0055】：“第二控制模式501收集并吸收学习算法输入数据，以确定引导至移动组件以更高精度移动台的适当电流量。” | 对比文件公开了使用前馈控制系统（第二控制模式）和第一组前馈数据（初始学习数据或前一次迭代数据）按照目标轨迹移动台。 |
| **特征E：** 在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态。**《直接公开》** | 对比文件【0053】：“测量系统22测量台相对于组件16的当前位置。” | 对比文件明确在台移动期间测量其位置（状态），且测量在多个时间点进行（如t11、t21等）。 |
| **特征F：** 比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差。**《直接公开》** | 对比文件【0053】：“台的跟随误差514A通过计算特定时间点目标轨迹512与实际轨迹之间的差来确定。” | 对比文件直接公开了通过比较测量状态（实际轨迹）与目标状态（目标轨迹）获得跟随误差（一组误差）。 |
| **特征G：** 用非线性滤波器滤波所述这组误差。**《未公开》** | 对比文件【0069】图12：“信息处理涉及通过有限脉冲响应滤波器（FIR Q）1202滤波ILC数据，然后通过闭环逆动力学模块1204处理滤波后的数据。” | 对比文件仅公开了线性FIR滤波器，未公开任何非线性滤波器（如死区、幅度依赖滤波）。本领域技术人员不能从对比文件得出非线性滤波方案。 |
| **特征H：** 根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据。**《直接公开》** | 对比文件【0069】：“滤波后的数据经闭环逆动力学处理，再施加ILC学习增益、端平滑和迭代积分，生成的学习数据存储在ILC数据缓冲器1212中，用作ILC输出。” | 对比文件公开了根据滤波后的误差（经过FIR滤波）产生改进的前馈数据（学习数据），作用与目标专利相同。 |
| **特征I：** 所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件。**《直接公开》** | 对比文件【0058】：“位置补偿模块的输出用作力前馈，以更精确地定位台。” | 改进的前馈数据用于前馈控制系统，提高移动精度，与目标专利一致。 |
| **特征J：** 所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e)。**《直接公开》** | 对比文件【0048】：“随着每次后续迭代，定位误差减小。”【0055】-【0058】描述了迭代学习控制过程，每次迭代使用前一次的学习数据。 | 对比文件公开了迭代方式：使用最新改进的前馈数据替代前一组数据，重复移动、测量、比较、滤波、产生步骤。 |
| **特征K：** 直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止。**《直接公开》** | 对比文件【0057】：“一旦跟随误差收敛到低于预定阈值水平，参数的更新可以暂时暂停。” | 对比文件明确公开了重复迭代直到误差满足阈值条件（收敛到预定阈值）。 |
| **特征L：** 输出满足阈值条件的改进的前馈数据。**《直接公开》** | 对比文件【0057】同上，当误差低于阈值时，停止更新，此时的学习数据即为最终输出，用于后续控制。 | 本领域技术人员可直接理解，当阈值条件满足时，当前改进的前馈数据被输出使用。 |
| **特征M：** 其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度。**《未公开》** | 对比文件【0069】仅描述线性FIR滤波，未涉及幅度依赖性。 | 对比文件未公开任何幅度依赖的滤波，也无任何暗示。 |
| **特征N：** 其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开幅度相关的非线性抑制特性。 |
| **特征O：** 其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开频带分解滤波。 |
| **特征P：** 对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开对每个频带单独滤波的操作。 |
| **特征Q：** 其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组。**《直接公开》** | 对比文件【0044】：“在第一迭代300中，在时间t11、t21、t31、t41、t51，台的测量位置分别位于位置P1、P2、P3、P4、P5。”这些时间正是目标时间。 | 测量时间与目标时间直接对应，属于子组或全部对应。 |
| **特征R：** 其中所述目标状态包括以下所述的至少一个：所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度。**《直接公开》** | 对比文件【0044】公开了目标位置；【0063】提及速度：“为了以特定台速度移动台，前馈控制器可以使用该插值数据。” | 目标状态至少包括目标位置，速度也被提及，故直接公开。 |
| **特征S：** 其中对于所述滤波器进行配置。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开对滤波器的具体配置（如死区特性）。 |
| **特征T：** 使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开噪声带或死区特性。 |
| **特征U：** 其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开误差以特定阵列形式表示。 |
| **特征V：** 其中0≤i≤n。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开索引范围。 |
| **特征W：** n是组中的采样数。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开采样数定义。 |
| **特征X：** 所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开幅度依赖的滤波器矩阵。 |
| **特征Y：** 步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积。**《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开该乘积关系。 |
| **特征Z：** 其中所述的Φ(ey(i))的定义如下：… **《未公开》** | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开该特定数学定义。 |
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