对比文件名称：2005-11-17_JP2005322720A_发明专利_JP2005322720A Stage controlling apparatus and method therefor, exposure apparatus and method therefor, and device manufacturing method
目标专利名称：1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B
本次调用的模型名称：AI专利分析模型
### 特征比对表格
| 技术特征及公开性 | 对比文件原文引用（中文翻译） | 公开性论述 |
| 技术特征A：从而通过设定点分布轮廓移动一个部件《直接公开》 | 对比文件[2]：“目标位置发生器50输出基准信号R1，开始移动掩模版台RS和基板台PS”；“掩模版台RS和基板台PS按照目标位置移动”。 | 对比文件公开了通过目标位置（设定点）分布轮廓移动部件，部件为掩模版台或基板台，设定点轮廓由目标位置发生器提供的时间序列目标位置构成。因此，本领域技术人员能够毫无疑义地确定该特征被公开。 |
| 技术特征B：所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态《直接公开》 | 对比文件[2]：“目标位置发生器50输出基准信号R1，基准信号R1给出部件的目标位置”；“掩模版台RS的目标位置相对于时间变化”。 | 对比文件公开了设定点分布轮廓由多个目标时间点上的目标位置（目标状态）组成，目标状态包括位置，且随时间变化。因此，直接公开。 |
| 技术特征C：每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的《直接公开》 | 对比文件[2]：“目标位置发生器50根据预定时间序列输出基准信号”；“掩模版台RS在加速、整定、扫描、减速阶段具有不同的目标位置”。 | 对比文件公开了目标位置在对应的时间点给出，每个目标状态对应于特定的目标时间。因此，直接公开。 |
| 技术特征D：所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件《直接公开》 | 对比文件[2]：“使用加速度FF控制器62和速度FF控制器63进行前馈控制”；“加速度FF控制器62使用初始参数（第一组前馈数据）”；“控制装置33驱动掩模版台RS和基板台PS”。 | 对比文件公开了按照目标位置轮廓使用前馈数据（初始参数）通过前馈控制系统移动部件。因此，直接公开。 |
| 技术特征E：在所述移动期间在多个时间测量所述部件的状态《直接公开》 | 对比文件[2]：“激光干涉计35、37以一定周期（例如数百μsec）采样掩模版台RS的位置”；“测量值被反馈到控制装置33”。 | 对比文件公开了在移动期间在多个时间点测量部件的位置状态。因此，直接公开。 |
| 技术特征F：比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差《直接公开》 | 对比文件[2]：“运算部57输出基准信号R2与反馈信号FS2的差值，即误差信号ES2”；“误差信号ES2表示掩模版台RS相对于目标位置的位置误差”。 | 对比文件公开了将测量位置与目标位置比较，得到位置误差序列。因此，直接公开。 |
| 技术特征G：用非线性滤波器滤波所述这组误差（未公开） | 对比文件未记载非线性滤波器，仅记载了直接使用误差信号或误差积分值进行参数更新，未进行任何滤波步骤。 | 对比文件没有公开或暗示使用非线性滤波器对误差进行滤波。因此，特征G未被公开。 |
| 技术特征H：根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据（未公开） | 对比文件[2]：“更新部64根据误差信号ES2的积分值（或速度误差）更新加速度FF控制器62的参数”；但未使用滤波后的误差。 | 对比文件根据误差本身（或其积分）产生改进的前馈数据，未经过滤波步骤，且未指明滤波。因此，特征H未被公开。 |
| 技术特征I：所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件《直接公开》 | 对比文件[2]：“通过更新参数，可以减小位置误差，提高跟踪精度”；“仿真结果显示更新参数后位置误差显著减小”。 | 对比文件公开了更新后的前馈数据（参数）用于更准确地移动部件。因此，直接公开。 |
| 技术特征J：所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e)《直接公开》 | 对比文件[2]：“步骤S12-S14：移动部件、计算误差积分、更新参数；步骤S15判断是否满足条件，若不满足则返回步骤S12重复”；“学习控制重复进行直到误差积分小于阈值”。 | 对比文件公开了迭代循环：使用新参数代替旧参数，重复移动、测量、比较、更新。因此，直接公开。 |
| 技术特征K：直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止《直接公开》 | 对比文件[2]：“步骤S15：判断整定期间误差积分是否小于预定值”；“如果不满足，则继续学习控制”。 | 对比文件公开了重复直到误差满足阈值条件。因此，直接公开。 |
| 技术特征L：输出满足阈值条件的改进的前馈数据《直接公开》 | 对比文件[2]：“当误差积分满足条件时，学习控制结束，当前参数被用于后续曝光控制”；“输出优化后的参数”。 | 对比文件公开了输出满足条件的改进前馈数据（参数）。因此，直接公开。 |
| 技术特征M：其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度（未公开） | 对比文件未记载滤波取决于幅度。 | 对比文件没有公开任何滤波，没有幅度依赖性。因此，未公开。 |
| 技术特征N：其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量（未公开） | 对比文件未记载该内容。 | 对比文件没有公开非线性滤波，没有抑制小幅度误差。因此，未公开。 |
| 技术特征O：其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开频带分解。因此，未公开。 |
| 技术特征P：对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开。因此，未公开。 |
| 技术特征Q：其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组《直接公开》 | 对比文件[2]：“在整定期间（加速结束后到速度稳定）采样误差信号”；“整定期间是目标时间的一部分”。 | 对比文件公开了测量时间对应于目标时间中的整定期间子组。因此，直接公开。 |
| 技术特征R：其中所述目标状态包括以下所述的至少一个：所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度《直接公开》 | 对比文件[2]：“目标位置发生器50给出目标位置”；“通过微分得到目标速度和目标加速度”；“加速度FF控制器62使用加速度前馈，速度FF控制器63使用速度前馈”。 | 对比文件公开了目标状态包括位置、速度、加速度。因此，直接公开。 |
| 技术特征S：其中对于所述滤波器进行配置（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开滤波器，因此未公开。 |
| 技术特征T：使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开噪声带或幅度阈值。因此，未公开。 |
| 技术特征U：其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示《隐含公开》 | 对比文件[2]：“误差信号ES2由一定周期采样的一系列数据点构成”；“采样点构成离散时间序列”。 | 虽然对比文件未使用符号ey(i)，但本领域技术人员可以合理推断出误差组由离散数据点阵列表示。因此，隐含公开。 |
| 技术特征V：其中0≤i≤n《隐含公开》 | 对比文件[2]：“误差信号ES2在整定期间内采样n个点”；“i为采样点索引”。 | 对比文件隐含了采样点索引范围。因此，隐含公开。 |
| 技术特征W：n是组中的采样数《隐含公开》 | 对比文件[2]：“采样周期和整定期间长度确定采样数n”。 | 对比文件隐含了采样数的存在。因此，隐含公开。 |
| 技术特征X：所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开任何滤波器矩阵。因此，未公开。 |
| 技术特征Y：步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开。因此，未公开。 |
| 技术特征Z：其中所述的Φ(ey(i))的定义如下：...（未公开） | 对比文件未记载。 | 对比文件没有公开该数学定义。因此，未公开。 |
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