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对比文件列表
1998-09-29_None_发明专利_JPH10261614A Selective etching method of nitride base compound semiconductor, and semiconductor device_+++A_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_U_W+++.docx
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1998-12-08_None_发明专利_JPH10326940A Semiconductor light-emitting element_+++A_B_C_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_u_w+++.docx
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2005-03-10_JP2005064113A_发明专利_JP2005064113A Semiconductor light emitting element and its manufacturing method_+++A_B_C_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_U_W_d+++.docx
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2007-02-08_JP2007036240A_发明专利_JP2007036240A Gallium-nitride-based light-emitting diode element having vertical structure and manufacturing method thereof_+++A_B_C_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_U_W_v+++.docx
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2007-06-28_US2007145406A_发明申请_US20070145406A1 Nitride semiconductor light emitting device_+++H_I_J_K_L_M_Q_R_S_U_V_w+++.docx
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2008-05-08_KR1020080040359A_发明公开_KR1020080040359A 수직형 발광 소자 및 그 제조방법_+++A_B_C_E_G_H_J_K_M_U_V_i_l_t_w+++.docx
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2008-05-29_US2008121912A_发明申请_US20080121912A1 PYRAMIDAL PHOTONIC CRYSTAL LIGHT EMITTING DEVICE_+++A_B_C_E_H_I_J_K_L_Q_R_S_m_u_w+++.docx
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2009-07-21_KR1020090079123A_发明公开_KR1020090079123A 발광다이오드 및 그 제조방법_+++A_B_C_E_H_I_J_K_L_M_Q_R_S_u_w+++.docx
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2009-11-10_US7615398B_发明授权_US07615398B2 Pyramidal photonic crystal light emitting device_+++A_B_C_E_H_I_J_K_L_M_U+++.docx
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2011-01-13_JP2011009521A_发明专利_JP2011009521A Semiconductor device and method for manufacturing the same_+++A_B_C_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_U_V_W+++.docx
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2011-02-17_JP2011505070A_发明专利_JP2011505070A It led having a current diffusion layer_+++A_B_C_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_V_u_w+++.docx
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2011-01-13_JP2011009521A_发明专利_JP2011009521A Semiconductor device and method for manufacturing the same_+++A_B_C_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_U_V_W+++.docx

对比文件名称:2011-01-13_JP2011009521A_发明专利_JP2011009521A Semiconductor device and method for manufacturing the same

目标专利名称:1734发光器件CN102867897B

模型名称:自定义AI

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用(翻译成中文)公开性论述
**技术特征A:第一导电型第一半导体层** 《直接公开》第3实施例记载:“p型GaN层30(1μm)”、“p型AlGaN层31(0.5nm)”(参见第3实施例部分,原文“p型GaN層30(1μm)”、“p型AlGaN層31(0.5nm)”)对比文件明确公开了p型GaN层和p型AlGaN层,即第一导电型(p型)半导体层,作用与目标专利中相同,因此直接公开。
**技术特征B:在所述第一导电型第一半导体层上的有源层** 《直接公开》第3实施例记载:“InGaN/GaN多重量子阱层(多层结构)32”(参见第3实施例部分,原文“InGaN/GaN多重量子井戸層(多層構造)32”)对比文件公开了有源层位于p型层之上,与目标专利中位置和作用一致,因此直接公开。
**技术特征C:在所述有源层上的第二导电型第二半导体层** 《直接公开》第3实施例记载:“n型GaN层33(0.1μm)”、“n型AlGaN层34(0.1μm)”、“n型GaN层35(0.1μm)”(参见第3实施例部分,原文“n型GaN層33(0.1μm)”、“n型AlGaN層34(0.1μm)”、“n型GaN層35(0.1μm)”)对比文件公开了有源层上的n型半导体层,即第二导电型第二半导体层,因此直接公开。
**技术特征D:包括突出部并且设置在所述第二导电型第二半导体层上的可靠性增强层** 《未公开》对比文件未公开具有突出部的可靠性增强层,其蚀刻停止层(例如Fe掺杂GaN层2)设置在牺牲层上,并非设置在第二导电型第二半导体层上,且未提及突出部结构。目标专利中可靠性增强层具有突出部,位于晶体缺陷处,并设置在第二导电型第二半导体层上。对比文件中的蚀刻停止层为平坦层,且位于不同位置,无突出部,也未隐含公开该特征。
**技术特征E:在所述可靠性增强层上并且包括光提取图案的第二导电型第三半导体层** 《未公开》对比文件未公开光提取图案,其第三半导体层(如n型GaN层)位于有源层上,而非在可靠性增强层上。目标专利中第三半导体层位于可靠性增强层上且具有光提取图案。对比文件无此结构,也未公开任何光提取图案,因此未公开。
**技术特征F:其中所述可靠性增强层与所述有源层彼此间隔开0.3μm到5μm的距离** 《未公开》对比文件未公开可靠性增强层与有源层之间的具体距离范围,其蚀刻停止层位于牺牲层上,与有源层距离远大于5μm(例如总厚度至少1μm以上),且未限定0.3-5μm。目标专利明确要求该距离范围以确保蚀刻停止功能和光提取效率。对比文件无此距离限定,也未暗示该数值,因此未公开。
**技术特征G:其中所述可靠性增强层的厚度为5nm到200nm** 《直接公开》第3实施例记载:“Fe掺杂GaN层2(0.2μm)”(参见第3实施例部分,原文“FeドープGaN層2(0.2μm)”)对比文件公开了蚀刻停止层厚度为0.2μm,即200nm,属于5nm-200nm范围,且该层功能与可靠性增强层类似(蚀刻停止、防止电流泄漏),因此直接公开。
**技术特征H:其中所述可靠性增强层包括InxAlyGa(1-x-y)N** 《直接公开》第5实施例记载:“AlGaN/GaN超格子蚀刻停止层50”包括“Al组成50%的AlGaN层”(参见第5实施例部分,原文“Al組成50%のAlGaN層”)对比文件公开了蚀刻停止层包含AlGaN,即InxAlyGa(1-x-y)N(x=0),因此直接公开。
**技术特征I:其中0≤x≤1并且0≤y≤1并且0≤x+y≤1** 《直接公开》上述AlGaN层中x=0,y=0.5,满足0≤x≤1,0≤y≤1,0≤x+y≤1。该范围是InxAlyGa(1-x-y)N的一般组成,对比文件公开的AlGaN自然满足,因此直接公开。
**技术特征J:其中所述第二导电型第三半导体层包括具有组成式InpAlqGa1-p-qN的半导体材料** 《直接公开》第3实施例记载:“n型GaN层33、35”为GaN,即In0Al0Ga1N。对比文件公开了n型GaN层,属于InpAlqGa1-p-qN,因此直接公开。
**技术特征K:其中0≤p≤1** 《直接公开》上述GaN层中p=0,满足0≤p≤1。直接公开。
**技术特征L:0≤q≤1并且0≤p+q≤1** 《直接公开》上述GaN层中q=0,满足0≤q≤1且0≤p+q≤1。直接公开。
**技术特征M:其中所述可靠性增强层的铝组成(y)大于所述第二导电型第三半导体层的铝组成(q)** 《直接公开》第5实施例中蚀刻停止层AlGaN的铝组成y=50%,第三半导体层(如GaN层5)的铝组成q=0%,故y>q。对比文件直接公开了可靠性增强层(蚀刻停止层)的铝组成大于第三半导体层(GaN层)的铝组成,因此直接公开。
**技术特征N:其中所述可靠性增强层的铝组成(y)满足下式** 《直接公开》该式为q+0.05≤y≤q+0.5。对比文件第三半导体层铝组成q=0,y=0.5,满足0.05≤0.5≤0.5。对比文件直接公开了y=0.5,且隐含q=0,因此满足该式,直接公开。
**技术特征O:q+0.05≤y≤q+0.5** 《直接公开》同上,y=0.5,q=0,满足0.05≤0.5≤0.5。直接公开。
**技术特征P:其中0≤q≤0.5** 《直接公开》对比文件中第三半导体层q=0,满足0≤q≤0.5。直接公开。
**技术特征Q:其中如果所述第二导电型第三半导体层包括具有组成式InpAlqGa1-p-qN的半导体材料** 《直接公开》同技术特征J,公开了GaN。直接公开。
**技术特征R:其中0≤p≤1** 《直接公开》同技术特征K。直接公开。
**技术特征S:0≤q≤1并且0≤p+q≤1** 《直接公开》同技术特征L。直接公开。
**技术特征T:则所述可靠性增强层的铟组成小于所述第二导电型第三半导体层的铟组成** 《未公开》对比文件中,蚀刻停止层(AlGaN)铟组成为0,第三半导体层(GaN)铟组成也为0,相等,不小于。目标专利要求铟组成小于,对比文件未公开该特征,且实际相等,因此未公开。
**技术特征U:其中所述可靠性增强层的能带隙大于所述第二导电型第三半导体层的能带隙** 《直接公开》第5实施例中,AlGaN带隙大于GaN带隙,超格子蚀刻停止层带隙大于GaN层带隙。对比文件直接公开了能带隙关系,因此直接公开。
**技术特征V:其中所述可靠性增强层包括具有不同能带隙的第一可靠性增强层和第二可靠性增强层** 《直接公开》第5实施例中,蚀刻停止层为AlGaN/GaN超格子,包含AlGaN和GaN两种不同带隙的层。对比文件直接公开了超格子结构,即不同带隙层交替,因此直接公开。
**技术特征W:其中所述可靠性增强层的电阻大于所述第二导电型第三半导体层的电阻** 《直接公开》第3实施例中,蚀刻停止层为Fe掺杂GaN层(半绝缘,高电阻),第三半导体层为n型GaN层(低电阻)。对比文件直接公开了电阻大小关系,因此直接公开。

### 公开性代码输出

根据上述分析,对比文件直接公开了以下技术特征:A、B、C、G、H、I、J、K、L、M、N、O、P、Q、R、S、U、V、W。

未公开技术特征:D、E、F、T。

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