对比文件名称：2003-01-29_JP2003029393A_发明专利_JP2003029393A Mask, pattern forming method using the same, and lithography
目标专利名称：1838用于同时形成两种独立的柱状间隔物图案的组合物CN101762980B
本次调用的模型名称：AI专利分析模型
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用（翻译成中文） | 公开性论述 |
| 技术特征A：该组合物含有至少一种选自具有两个或更多个酚羟基的化合物、具有至少一个被至少一个氨基取代的芳环的化合物、被至少一个氨基部分地取代的环状化合物，和受阻胺化合物的自由基聚合抑制剂「未公开」 | 对比文件全文未记载任何自由基聚合抑制剂，也未提及具有酚羟基、亚氨基、受阻胺等结构的化合物。 | 对比文件涉及掩模和图案形成方法，未涉及光敏树脂组合物的具体添加剂，尤其未公开自由基聚合抑制剂。本领域技术人员不能从对比文件直接或间接得出该组合物含有此类抑制剂。 |
| 技术特征B：碱溶性树脂「隐含公开」 | 【0073】“基板6上旋涂正型感光性树脂（商品名：OFPR5000，东京应化工业制），形成光刻胶7（感光性树脂层，厚度1.5μm）。” | 正型光刻胶通常含有碱溶性树脂（如酚醛树脂），本领域技术人员据此可合理推断该光刻胶组合物中包含碱溶性树脂，故隐含公开。 |
| 技术特征C：乙烯型不饱和化合物「未公开」 | 对比文件全文未提及乙烯型不饱和化合物或多官能丙烯酸酯类单体。 | 对比文件使用的正型光刻胶一般不含乙烯型不饱和化合物，且未给出任何暗示，因此未公开。 |
| 技术特征D：光敏引发剂和溶剂「隐含公开」 | 【0073】“基板6上旋涂正型感光性树脂（商品名：OFPR5000）”；【0074】“露光装置使用超高圧水銀灯”。 | 正型光刻胶必然包含光敏引发剂（如萘醌叠氮化合物）和溶剂（如丙二醇单甲醚乙酸酯等），本领域技术人员可合理推断其存在，故隐含公开。 |
| 技术特征E：其中所述两种独立的图案为饱和图案和半透射图案「隐含公开」 | 【0075】-【0077】通过掩模的不同透射区域（第一透射波长选择区域4a、第二透射波长选择区域4b）形成不同厚度的图案：对应第二透射区域的感光树脂完全去除，对应第一透射区域的感光树脂部分残留（薄膜区域）。【0088】-【0090】实施例2通过不同透射率控制区域（第1、第2透过率制御領域）形成不同厚度区域。 | 对比文件公开了通过掩模的透光部分（高透射/全透射）和半透光部分（低透射/部分透射）同时形成完全曝光区域（可视为饱和图案）和部分曝光区域（可视为半透射图案），本领域技术人员可合理对应，故隐含公开。 |
| 技术特征F：所述半透射图案的厚度对所述饱和图案的厚度的比率为0.3～0.9「未公开」 | 对比文件未提及任何厚度比率数值，尤其未公开0.3-0.9的范围。 | 对比文件仅定性描述形成不同厚度，未定量给出具体厚度比，因此未公开。 |
| 技术特征G：其中基于光敏树脂组合物的总重量计，所述自由基聚合抑制剂以0.0001-5重量%存在「未公开」 | 对比文件未涉及自由基聚合抑制剂，更未提及其含量。 | 无任何公开。 |
| 技术特征H：其中所述组合物含有1-20重量%的所述碱溶性树脂、1-20重量%的所述乙烯型不饱和化合物、0.05-10重量%的所述光敏引发剂和50-95重量%的所述溶剂「未公开」 | 对比文件未给出任何组分的具体含量范围。 | 对比文件未公开任何组分的重量百分比，因此未公开。 |
| 技术特征I：其中所述自由基聚合抑制剂选自单甲基醚氢醌、二-(1-辛氧基-2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、1-(甲基)-8-(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、铝-亚硝基苯基羟胺、丁基化羟基甲苯、吩噻嗪、氢醌、甲氧基醌、1,4-苯二胺，及其混合物「未公开」 | 对比文件未列出任何上述化合物。 | 无任何公开。 |
| 技术特征J：其中所述半透射图案通过包括透光部分、半透光部分，和阻光部分的半色调掩模形成「隐含公开」 | 【0088】-【0090】描述掩模3包括遮光部3（阻光部分）和透射部32，透射部32由不同透射率控制区域（第1透过率制御領域32a、第2透過率制御領域32b）构成，这些区域具有不同的透射率（相当于半透光部分）。【0090】图4示出ITO膜厚度与透射率关系，可调节透射率。 | 对比文件公开的掩模具有阻光部分（遮光部）和透光或半透光部分（不同透射率控制区域），本领域技术人员可将其视为半色调掩模的一种，并用于形成半透射图案，故隐含公开。 |
| 技术特征K：其中所述半色调掩模的半透光部分在300-450nm下具有4-25%的平均透光率「未公开」 | 对比文件未给出任何透射率具体数值范围，仅在图4中定性显示透射率随膜厚变化。 | 未公开该数值范围。 |
| 技术特征L：其中所述碱溶性树脂为具有至少一个酸官能团的单体和可与其共聚的单体的共聚物，或所述共聚物与含有至少一个环氧基的乙烯型不饱和化合物的聚合化合物「未公开」 | 对比文件未涉及碱溶性树脂的具体化学结构。 | 无任何公开。 |
| 技术特征M：其中所述碱溶性树脂具有30-300KOH mg/g的酸值「未公开」 | 对比文件未提及酸值。 | 无任何公开。 |
| 技术特征N：和1,000-200,000的平均分子量「未公开」 | 对比文件未提及分子量。 | 无任何公开。 |
| 技术特征O：其中所述乙烯型不饱和化合物选自由式1-4表示的化合物：(1)「未公开」 | 对比文件未涉及式1-4的化合物。 | 无任何公开。 |
| 技术特征P：(2)「未公开」 | 同上。 | 无任何公开。 |
| 技术特征Q：(3)「未公开」 | 同上。 | 无任何公开。 |
| 技术特征R：(4)「未公开」 | 同上。 | 无任何公开。 |
| 技术特征S：其中所述溶剂选自甲基乙基酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、丙基溶纤剂、乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇甲基乙基醚、丙二醇二甲基醚、丙二醇二乙基醚、丙二醇甲基乙基醚、2-乙氧基丙醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环戊酮、环己酮、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯，和二丙二醇单甲基醚「未公开」 | 对比文件未列出具体溶剂种类。 | 无任何公开。 |
| 技术特征T：其中所述两种独立的图案为两种独立的柱状间隔物图案「未公开」 | 对比文件全文未提及“柱状间隔物”或类似术语。 | 对比文件形成的图案用于半导体元件、反射板等，而非柱状间隔物，因此未公开。 |
| 技术特征U：其中一种液晶显示器含有所述柱状间隔物图案「未公开」 | 对比文件【0164】提及液晶显示装置，但未具体提到含有柱状间隔物图案。 | 未公开。 |
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