2009-06-25_US2009161422A_发明申请_US20090161422A1 Magnetic Tunnel Junction Device with Separate Read and Write Paths_+++A_B_C_M_n_o+++.docx

对比文件名称:2009-06-25_US2009161422A_发明申请_US20090161422A1 Magnetic Tunnel Junction Device with Separate Read and Write Paths

目标专利名称:334包括位于钉扎层中的功能层的磁性存储元件及其制造方法CN102986047B

本次调用模型名称:深度专利创造性评估模型

作为资深专利代理师,我已对目标专利和对比文件进行了深入分析。目标专利的核心在于通过在钉扎层堆叠内部(底部钉扎层或顶部钉扎层中)插入一个或多个功能层(如结晶增强层、扩散势垒层等),以解决高温制造过程中材料扩散导致的有害效应(如破坏耦合、降低热稳定性等)。对比文件的核心在于提供具有独立读写路径的MTJ器件,以同时优化读写操作裕量,其关注点在于器件的电路架构和整体层叠顺序,并未涉及在钉扎层(或参考层)内部插入特定功能层来解决材料扩散问题。

以下是根据目标专利权利要求的划分,结合说明书解释,与对比文件进行的特征比对表格:

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断对比文件原文引用公开性论述
**特征A《直接公开》**<br>其包括:钉扎层堆叠,其集成在自旋转移力矩磁阻随机存取存储器STT-MRAM中。说明书第[0002]段:“Conventional Spin Transfer Torque Magnetic Random Access Memory (STT-MRAM) bit cells include a transistor and a magnetic tunnel junction (MTJ) structure.”<br>说明书第[0028]段:“In a particular embodiment, the device 100 may be included in a STT-MRAM bit cell.”对比文件明确公开了其描述的MTJ器件用于STT-MRAM位单元(bit cell)中。本领域技术人员能够毫无疑义地确定,对比文件中的MTJ结构是集成在STT-MRAM中的。因此,该技术特征被对比文件直接公开。
**特征B《直接公开》**<br>所述钉扎层堆叠由多个层形成。说明书第[0036]段:“In a particular embodiment, the first reference layer 204 includes a synthetic antiferromagnet (SAF) structure formed with a CoFeB layer 226, a Ru layer 228, and a CoFe layer 230.”对比文件公开了参考层(reference layer,其作用等同于目标专利中的钉扎层,用于提供固定的参考磁化方向)包含合成反铁磁(SAF)结构,该结构由CoFeB层、Ru层、CoFe层等多个层形成。因此,“钉扎层堆叠由多个层形成”这一技术特征被直接公开。
**特征C《直接公开》**<br>所述多个层包括底部钉扎层、耦合层和顶部钉扎层。说明书第[0036]段:“In a particular embodiment, the first reference layer 204 includes a synthetic antiferromagnet (SAF) structure formed with a CoFeB layer 226, a Ru layer 228, and a CoFe layer 230.”对比文件公开的SAF结构包括:CoFeB层(226)、Ru层(228)和CoFe层(230)。在MTJ技术领域,SAF结构通常由两个铁磁层(如CoFeB和CoFe)通过一个非磁性耦合层(如Ru)反铁磁耦合而成。因此,CoFeB层对应于底部钉扎层,Ru层对应于耦合层,CoFe层对应于顶部钉扎层。本领域技术人员能够毫无疑义地确定这种对应关系,该技术特征被直接公开。
**特征D《未被公开》**<br>第一功能层,其安置于所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层中。无对比文件虽然公开了由多层构成的SAF结构(即钉扎层堆叠),但从未提及在该SAF结构内部(即在构成SAF的各铁磁层之间,或铁磁层内部)安置任何额外的“功能层”。对比文件的层结构是连续、完整的标准SAF堆叠,没有插入如目标专利所述的用于解决扩散问题的功能层。该技术特征未被公开。
**特征E《未被公开》**<br>其中所述第一功能层是形成自钽的结晶增强功能层。说明书第[0035]段:“In a particular embodiment, the conductive layer 210 that abuts the free layer 202 and the write bit line terminal 208 includes a conductive material, such as Ta...”对比文件提到了钽(Ta),但它是作为与自由层相邻的导电层材料,其作用是传导电流,构成写入路径的一部分。这与目标专利中“形成自钽的结晶增强功能层”在位置、作用和目的上完全不同。目标专利的结晶增强功能层是置于钉扎层内部,用于促进相邻层(如耦合层或隧穿势垒层)的结晶。对比文件完全没有公开这一概念。该技术特征未被公开。
**特征F《未被公开》**<br>其中所述第一功能层保护所述钉扎层堆叠免于穿过所述多个层的高温材料扩散。无对比文件的说明书全文均未提及任何关于“高温材料扩散”的问题,也未提及任何层具有“保护钉扎层堆叠免于扩散”的功能。目标专利的该技术特征是其发明所要解决的核心技术问题及由此带来的技术效果。对比文件完全没有涉及。该技术特征未被公开。
**特征G《未被公开》**<br>其中所述结晶增强功能层促进晶体形成。无“促进晶体形成”是结晶增强功能层所起的具体作用。如上所述,对比文件未公开任何功能层,自然也未曾揭示任何层具有“促进晶体形成”的功能或作用。该技术特征未被公开。
**特征H《未被公开》**<br>其中安置所述第一功能层的所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层包括第一层和第二层,所述第一功能层插入于所述第一层与第二层之间。无这是对功能层具体设置位置的进一步限定。对比文件中的SAF结构(如CoFeB/Ru/CoFe)各层是直接相邻沉积的,没有在任何一个铁磁层(如CoFeB或CoFe)内部再划分出两个子层并在其间插入功能层的结构。该技术特征未被公开。
**特征I《未被公开》**<br>其进一步包括第二功能层,所述第二功能层安置于与安置所述第一功能层的所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层相对的钉扎层中。无该特征是在特征D(第一功能层)基础上的进一步限定。由于特征D未被对比文件公开,且对比文件中不存在任何功能层,因此“在相对钉扎层中设置第二功能层”的技术方案在对比文件中完全没有基础。该技术特征未被公开。
**特征J《未被公开》**<br>其中所述第二功能层由不同于所述第一功能层的材料形成。无该特征是对特征I中第二功能层材料的限定。由于特征I(及基础特征D)未被公开,此限定特征无比较基础。该技术特征未被公开。
**特征K《未被公开》**<br>其中所述第二功能层由相同于所述第一功能层的材料形成。无该特征是对特征I中第二功能层材料的另一限定。由于特征I(及基础特征D)未被公开,此限定特征无比较基础。该技术特征未被公开。
**特征L《未被公开》**<br>其进一步包括与所述第一功能层安置于同一底部钉扎层或顶部钉扎层中的第二功能层。无该特征涉及在同一钉扎层内设置多个功能层。对比文件中不存在任何功能层,更不用说在同一钉扎层内设置多个功能层。该技术特征未被公开。
**特征M《直接公开》**<br>其进一步包括反铁磁层、隧穿势垒层、自由层和/或罩盖层。说明书第[0036]段:“The direction of the magnetic field of the SAF structure is pinned by an antiferromagnetic (AFM) layer 232.”<br>说明书第[0035]段:“A first interlayer 224 is positioned between the free layer 202 and the first reference layer 204. In a particular embodiment, the first interlayer 224 includes an oxidation tunneling barrier, such as MgO...”<br>说明书第[0035]段:“The free layer 202 includes at least two free layer portions...”<br>说明书第[0037]段:“In a particular embodiment, the bit line read conductor 240 is a top conductor that also functions as a capping layer of the device 200.”对比文件明确公开了:反铁磁(AFM)层(232)用于钉扎SAF结构的磁化方向;中间层(interlayer,224/250)包含氧化隧穿势垒(如MgO),即隧穿势垒层;自由层(202);以及作为罩盖层(capping layer)的顶部导电层(240)。这些是构成一个完整MTJ存储元件的基本层结构。因此,该技术特征被直接公开。
**特征N《隐含公开》**<br>其中所述存储元件集成在选自由以下各项组成的群组的电子装置中:机顶盒、音乐播放器、视频播放器、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元和计算机。说明书第[0095]段及图20:“FIG. 20 is a block diagram of a communications device 2000 including a memory device that includes multiple magnetic tunnel junction (MTJ) cells.”对比文件公开了包含所述MTJ器件的存储器可以用于通信设备(communications device)中。虽然未明确列举目标专利权利要求中的全部具体设备类型(如机顶盒、音乐播放器等),但通信设备是电子装置的一种。根据本领域的公知常识,STT-MRAM作为一种非易失性存储器,其应用范围广泛,可以集成在各种电子装置中。本领域技术人员基于对比文件公开的“用于通信设备”这一信息,结合公知常识,能够合理推断出该MTJ存储元件也可以集成在诸如音乐播放器、计算机等其他电子装置中。根据隐含公开的宽松判断标准,该技术特征被隐含公开。
**特征O《隐含公开》**<br>其中所述STT-MRAM装置集成在至少一个半导体裸片中。说明书第[0094]段:“...depositing a plurality of film layers onto a substrate to form a first MTJ structure.”<br>说明书第[0098]段:“The processor and the storage medium may reside in an ASIC. The ASIC may reside in a computing device or a user terminal.”对比文件公开了在衬底(substrate)上沉积薄膜层以形成MTJ结构,并且提到了处理器和存储介质可以存在于ASIC(专用集成电路)中。ASIC是制造在半导体晶圆上并切割成半导体裸片后封装的。虽然对比文件没有明确使用“半导体裸片”这一术语,但本领域技术人员熟知,MTJ存储器件的制造是标准的半导体制造工艺的一部分,其结构最终必然集成在半导体裸片(即经过切割的半导体芯片)中。因此,本领域技术人员能够从对比文件公开的“在衬底上形成”和“在ASIC中”等内容,合理推断出该STT-MRAM装置是集成在至少一个半导体裸片中的。该技术特征被隐含公开。

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权利要求与技术特征
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