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对比文件列表
2005-08-25_US2005185454A_发明申请_US20050185454A1 Magnetic tunnel junctions for MRAM devices_+++A_B_C_F_H_M_N_O_d_e_g_i_j_k_l+++.docx
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2006-03-30_JP2006086476A_发明专利_JP2006086476A Magnetic recording element and magnetic recording apparatus_+++B_a_m+++.docx
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2008-10-01_CN101276878A_发明公开_CN101276878A 磁阻效应元件及其制造方法_+++B_C_D_H_L_M_a_i_k_n_o+++.docx
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2008-10-02_US2008239591A_发明申请_US20080239591A1 Magneto-resistance effect element, and method for manufacturing the same_+++A_B_C_D_H_L_M_f_i+++.docx
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2009-06-25_US2009161422A_发明申请_US20090161422A1 Magnetic Tunnel Junction Device with Separate Read and Write Paths_+++A_B_C_M_n_o+++.docx
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2009-07-02_US2009168493A_发明申请_US20090168493A1 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH STACKED MEMORY CELL AND METHOD OF MANUFACTURING THE STACKED MEMORY CELL_+++M_N_a_b_o+++.docx
2026-03-24 23:35
2010-04-01_WO2010037048A_发明申请_WO2010037048A1 STRAM WITH ELECTRONICALLY REFLECTIVE INSULATIVE SPACER_+++A_B_C_D_H_M+++.docx
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2010-04-08_JP2010080733A_发明专利_JP2010080733A Magnetoresistive element, and magnetic memory_+++A_B_C_G_M_N_O_d_h+++.docx
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DE102005008353A1_Description_20260318_1914_+++A_B_C_D_F_M_N_O+++.docx
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JP2002158381A_Description_20260318_1914_+++B_D_F_H_I_M_a_c_k_n_o+++.docx
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JP2008252008A_Description_20260318_1914_+++B_C_D_F_H_I_M_N_a_j_k_l_o+++.docx
2026-03-24 23:35
JP2009081216A_Description_20260318_1914_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_M+++.docx
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DE102005008353A1_Description_20260318_1914_+++A_B_C_D_F_M_N_O+++.docx

好的,我将以资深专利代理师的身份,对目标专利权利要求的技术特征与对比文件DE102005008353A1进行比对和公开性判断。

**对比文件名称:** DE102005008353A1_Description_20260318_1914

**目标专利名称:** 包括位于钉扎层中的功能层的磁性存储元件及其制造方法 CN102986047B

**模型名称:** DeepSeek-R1

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断对比文件原文引用公开性论述
**技术特征A**:其包括:钉扎层堆叠,其集成在自旋转移力矩磁阻随机存取存储器STT-MRAM中,《直接公开》[0001] Die Erfindung betrifft ... Magnet-Tunnel-Junctions (MTJ's) als Speicherelemente in magnetischen Speicherbauelementen von wahlfreiem Zugriff (MRAM) ... <br>**翻译**:本发明涉及用作磁随机存取存储器(MRAM)中存储元件的磁性隧道结(MTJ)...对比文件明确其发明涉及用于MRAM存储元件的MTJ,即公开了MTJ存储元件是集成在MRAM中的。这与目标专利技术特征A中“集成在STT-MRAM中”的作用相同,都是指明该存储元件的应用场景。STT-MRAM是MRAM的一种具体实现方式,本领域技术人员可直接理解该MTJ元件可用于STT-MRAM。因此,技术特征A被对比文件直接公开。
**技术特征B**:所述钉扎层堆叠由多个层形成,《直接公开》[0031] ... Die erste magnetische Schicht ML1 weist ... eine antiparallele (AP) Schicht 216 oberhalb der anti-ferromagnetischen Schicht 204 auf. ... Die antiparallele Schicht 216 weist eine fixierte Schicht 206 ... eine Spacerschicht 208 ... eine Referenzschicht 210 ... auf.<br>**翻译**:...第一磁性层ML1具有...位于反铁磁层204上方的反平行(AP)层216。...反平行层216具有固定层206...间隔层208...参考层210...。对比文件图4及相应描述(例如[0036]-[0048])明确公开了MTJ存储元件包含一个由多个层(如基底324、反铁磁层304、扩散阻挡层326、固定层306、间隔层308、参考层310等)形成的“antiparallele Schicht”(反平行层,即钉扎层堆叠)。该堆叠由多个子层构成,其作用与目标专利中“由多个层形成”的钉扎层堆叠相同,用于提供固定的参考磁化方向。因此,技术特征B被直接公开。
**技术特征C**:所述多个层包括底部钉扎层、耦合层和顶部钉扎层,《直接公开》[0031] ... Die antiparallele Schicht 216 weist eine fixierte Schicht 206 ... eine Spacerschicht 208 ... eine Referenzschicht 210 ... auf.<br>**翻译**:...反平行层216具有固定层206...间隔层208...参考层210...。对比文件公开的“antiparallele Schicht”(反平行层/钉扎层堆叠)包含“fixierte Schicht”(固定层,对应于底部钉扎层)、“Spacerschicht”(间隔层,通常为Ru,对应于耦合层)和“Referenzschicht”(参考层,对应于顶部钉扎层)。这三层结构及其相互作用(通过间隔层进行反铁磁耦合)与目标专利说明书[0005]及图2描述的常规钉扎层堆叠(底部钉扎层/耦合层(Ru)/顶部钉扎层)完全相同。因此,技术特征C被直接公开。
**技术特征D**:第一功能层,其安置于所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层中,《直接公开》[0036] ... Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird eine Diffusionsbarriere 326 oberhalb der anti-ferromagnetischen Schicht 304 ... angeordnet. ... Die antiparallele Schicht 316 wird auf der Diffusionsbarriere wie gezeigt ausgebildet.<br>**翻译**:...根据本发明的一个实施例,扩散阻挡层326被布置在反铁磁层304上方...。...反平行层316如图所示形成在扩散阻挡层上。对比文件明确公开了在反铁磁层304和由固定层306、间隔层308、参考层310组成的“antiparallele Schicht”(钉扎层堆叠)之间插入了一个“Diffusionsbarriere”(扩散阻挡层)326。该扩散阻挡层326位于钉扎层堆叠(具体是其底部的固定层306)之中/下方,属于钉扎层堆叠结构的一部分。其作用(如下文特征F所述)与目标专利的“功能层”一致。因此,对比文件公开了功能层安置于底部钉扎层中,技术特征D被直接公开。
**技术特征E**:其中所述第一功能层是形成自钽的结晶增强功能层,《未直接公开》(未找到关于“钽(Ta)作为结晶增强功能层”的明确记载)对比文件公开的扩散阻挡层326可由多种材料形成,例如非晶铁磁材料CoFeB([0044])、NiFe合金([0046])等,并阐述了其作为扩散阻挡和提高热稳定性的作用([0047], [0054])。虽然目标专利说明书[0038]将Ta列为结晶增强功能层的示例材料,但对比文件并未提及使用钽(Ta)作为此目的的功能层材料。对比文件未公开“形成自钽的结晶增强功能层”这一具体技术方案。
**技术特征F**:其中所述第一功能层保护所述钉扎层堆叠免于穿过所述多个层的高温材料扩散,《直接公开》[0035] ... Bei Erwärmung ... kann eine Mangan-Diffusion aus der anti-ferromagnetischen Schicht 204 ... hervorgerufen werden ... Die Mn Diffusion kann ... die Kopplung durch den antiparallelen Spacer 208 zerstören oder abschwächen ... <br>[0047] Die Diffusionsbarriere 326 verhindert ein Diffundieren von darunter liegenden Materialien wie Mn der anti-ferromagnetischen Schicht 304 in die Materialschichten 306 , 308 oder 310 oberhalb der Diffusionsbarriere 326 bei hohen Temperaturen, wodurch die thermische Stabilität der MTJ Speicherzelle 302 verbessert wird.<br>**翻译**:[0035]...加热时...可能导致锰从反铁磁层204扩散...Mn扩散可能...破坏或削弱通过反平行间隔层208的耦合...。<br>[0047]扩散阻挡层326防止在高温下,来自下方材料(如反铁磁层304的Mn)扩散到扩散阻挡层326上方的材料层306、308或310中,从而提高了MTJ存储单元302的热稳定性。对比文件详细描述了在高温工艺中,来自反铁磁层(如PtMn)的Mn原子会向上扩散,破坏钉扎层堆叠(特别是耦合层208)的反铁磁耦合,导致器件失效([0035])。而插入的扩散阻挡层326(即第一功能层)正是为了“防止在高温下”Mn等材料“扩散到...上方的材料层中”,从而“提高热稳定性”([0047])。这与目标专利技术特征F所描述的“保护所述钉扎层堆叠免于穿过所述多个层的高温材料扩散”的作用完全相同。因此,技术特征F被直接公开。
**技术特征G**:其中所述结晶增强功能层促进晶体形成,《未直接公开》(未找到关于功能层“促进晶体形成”的明确记载或必然推导)对比文件主要强调了扩散阻挡层326的“阻挡扩散”和“提高热稳定性”功能([0047], [0054]),以及非晶材料层可提供光滑表面以减少Neel耦合([0054])。虽然使用特定材料可能对相邻层的晶体结构产生影响,但对比文件文本本身并未明确指出或教导该功能层具有“促进晶体形成”(例如促进耦合层Ru或隧穿势垒MgO结晶)这一特定作用。目标专利的“结晶增强功能层”是一个具有特定目的(促进结晶)的类别,而对比文件未公开此目的。
**技术特征H**:其中安置所述第一功能层的所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层包括第一层和第二层,所述第一功能层插入于所述第一层与第二层之间,《未直接公开》[0048] ... Die antiparallele Schicht 316 ... weist ... eine oberhalb und benachbart zur anti-ferromagnetischen Schicht 304 angeordnete fixierte Schicht 306 auf.<br>**翻译**:...反平行层316...具有...一个布置在反铁磁层304上方并与之相邻的固定层306。对比文件中,扩散阻挡层326是插入在反铁磁层304和整个“antiparallele Schicht”(钉扎层堆叠)之间,具体是位于钉扎层堆叠的底部(固定层306)之下并与之相邻。对比文件没有描述固定层306(底部钉扎层)本身被进一步划分为两个子层(第一层和第二层),并将功能层插入这两个子层之间。目标专利的该特征(如图3、4所示)限定了功能层在钉扎层“内部”的特定位置,而对比文件的配置是功能层位于钉扎层“外部”(之下)。因此,该技术特征未被对比文件公开。
**技术特征I**:其进一步包括第二功能层,所述第二功能层安置于与安置所述第一功能层的所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层相对的钉扎层中,《未直接公开》(未找到在顶部钉扎层(参考层310)中安置第二功能层的明确记载)对比文件主要实施例(图4)仅在底部(反铁磁层与固定层之间)设置了一个扩散阻挡层326。虽然[0056]提到可以在钉扎层堆叠内部的不同位置插入一个或多个扩散阻挡层,例如在参考层310中或附近(参见图6及[0063]),但这描述的是另一种可能的结构(例如,在参考层中设置非晶材料层550以减少Neel耦合),并非在同一MTJ中同时存在位于底部钉扎层的第一功能层和位于顶部钉扎层的第二功能层。对比文件未公开如目标专利图5所示的、在底部和顶部钉扎层中均安置功能层的组合结构。
**技术特征J**:其中所述第二功能层由不同于所述第一功能层的材料形成,《未直接公开》(由于技术特征I未被公开,故技术特征J的前提不存在)由于对比文件未公开在同一MTJ中同时存在分别位于底部和顶部钉扎层的两个功能层(技术特征I),因此关于第二功能层材料是否与第一功能层不同的限定(技术特征J)也就失去了比较的基础。该特征未被公开。
**技术特征K**:其中所述第二功能层由相同于所述第一功能层的材料形成,《未直接公开》(由于技术特征I未被公开,故技术特征K的前提不存在)理由同技术特征J。由于未公开具有两个功能层的结构,因此关于它们材料是否相同的限定也未被公开。
**技术特征L**:其进一步包括与所述第一功能层安置于同一底部钉扎层或顶部钉扎层中的第二功能层,《未直接公开》(未找到在同一钉扎层(底部或顶部)内设置两个功能层的明确记载)对比文件未描述在同一个底部钉扎层(如固定层306)或顶部钉扎层(如参考层310)内部插入多个功能层的技术方案。目标专利该特征所限定的结构(如图9、10所示)未被对比文件公开。
**技术特征M**:其进一步包括反铁磁层、隧穿势垒层、自由层和/或罩盖层,《直接公开》[0031] ... Die MTJ Speicherzelle 202 weist ... eine erste magnetische Schicht ML1, eine Tunnelbarrierenschicht (TL) ... und eine zweite magnetische Schicht ML2 ... auf. Die erste magnetische Schicht ML1 weist eine anti-ferromagnetische (AF) Schicht 204 ... <br>[0052] ... Die freie Schicht 314 ... <br>[0052] ... Eine Deckschicht 328 ...<br>**翻译**:[0031]...MTJ存储单元202具有...第一磁性层ML1,隧道势垒层(TL)...和第二磁性层ML2...。第一磁性层ML1具有反铁磁(AF)层204...。<br>[0052]...自由层314...<br>[0052]...覆盖层328...对比文件完整公开了MTJ存储元件的典型层结构:包括反铁磁层(AF Schicht 304)、隧穿势垒层(Tunnelbarrierenschicht TL)、自由层(freie Schicht 314)以及罩盖层(Deckschicht 328)。这些层在MTJ中所起的作用(提供交换偏置、提供隧穿势垒、存储信息、保护等)与目标专利中相应层的作用一致。因此,技术特征M被直接公开。
**技术特征N**:其中所述存储元件集成在选自由以下各项组成的群组的电子装置中:机顶盒、音乐播放器、视频播放器、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元和计算机。《直接公开》[0002] Halbleiter werden in integrierten Schaltungen für elektronische Anwendungen, einschließlich etwa Radios, Fernseher, Mobiltelefone und Personalcomputer verwendet.<br>**翻译**:半导体被用于电子应用的集成电路中,包括例如收音机、电视机、移动电话和个人计算机。对比文件明确指出包含MTJ的半导体器件可用于多种电子应用,并示例了“移动电话”(属于通信装置)和“个人计算机”。本领域技术人员能够毫无疑义地理解,具有MTJ存储元件的MRAM/STT-MRAM器件可以应用于目标专利所列的各类电子装置(如音乐播放器、导航装置等)中,以实现其存储功能。因此,技术特征N被直接公开。
**技术特征O**:其中所述STT-MRAM装置集成在至少一个半导体裸片中。《直接公开》[0037] Ein Werkstück 320 wird bereitgestellt. Das Werkstück 320 kann beispielsweise ein Halbleitersubstrat aus Silizium ... enthalten ... <br>[0077] Die MTJ Speicherzellen ... können in MRAM Feldern ... verwendet werden.<br>**翻译**:[0037]提供一个工件320。工件320可以包含例如硅半导体衬底...。<br>[0077]MTJ存储单元...可以在MRAM阵列中使用。对比文件描述了在半导体衬底(如硅)上制造MTJ存储单元([0037]),并且这些单元可以用于构成MRAM阵列([0077])。这必然意味着最终的MRAM装置(包含多个MTJ单元)是集成在半导体衬底上,经过切割、封装后成为半导体芯片(裸片)。本领域技术人员能够直接且毫无疑义地得出此结论。因此,技术特征O被直接公开。

### 公开性判断总结与代码输出

根据以上比对分析:

- **直接公开**的技术特征有:A, B, C, D, F, M, N, O。

- **未直接公开且未隐含公开**的技术特征有:E, G, H, I, J, K, L。(其中E和G涉及“钽”和“结晶增强”这两个未被对比文件公开的特定目的和材料;H、I、J、K、L涉及未被对比文件公开的、功能层在钉扎层内部及多个功能层的特定排布结构。)

根据输出格式要求,在回答结尾插入被直接公开技术特征的大写英文代码。

<<<A>>><<<B>>><<<C>>><<<D>>><<<F>>><<<M>>><<<N>>><<<O>>>

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