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权利要求与技术特征
权利要求 1
A
其包含: 密封环,其限定所述集成电路,
B
所述密封环包括具有入口部分及出口部分的至少一个沟道,
C
所述入口部分从所述出口部分偏移
D
及所述沟道下的衬底的掺杂区域,
E
其具有比所述密封环之下的所述衬底的掺杂浓度低的掺杂浓度,借此对跨越所述沟道的信号传播的抵抗力得以增加。
权利要求 2
F
其中所述入口与所述出口分离开至少100um。