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权利要求与技术特征
权利要求 1
A
所述衍射元件包括
B
位于所述衬底上的多个光栅元件
C
每个光栅元件具有U形横截面并包括
D
第一脊形区域
E
第二脊形区域
F
和
G
鞍形区域
H
所述鞍形区域在所述第一脊形区域与所述第二脊形区域之间延伸
I
所述鞍形区域具有第一高度(H1)
J
所述第一高度低于所述第一脊形区域和所述第二脊形区域的第二高度(H)3
K
其中所述第一脊形区域包括具有第一折射率(n2)的第一脊形主体区域和位于所述第一脊形主体区域内部的第一芯层元件
L
所述第一芯层元件具有大于所述第一折射率的第二折射率(n)4
M
所述第二脊形区域包括具有所述第一折射率(n2)的第二脊形主体区域和位于所述第二脊形主体区域内部的第二芯层元件
N
所述第二芯层元件具有所述第二折射率(n)4 。
权利要求 2
O
其中所述第一芯层元件和所述第二芯层元件与所述衬底接触。
权利要求 3
P
其中所述衬底具有小于所述第一折射率(n2)的第三折射率(n)3 。
权利要求 4
Q
其中所述光栅元件以光栅间距周期性地布置在所述衬底上。
权利要求 5
R
其中所述鞍形区域具有第一宽度(W4)
S
所述脊形区域各自具有第二宽度(W3)
T
所述第二宽度(W)3 的两倍与所述第一宽度(W4)之和小于所述光栅间距。
权利要求 6
U
其中所述第一芯层元件和所述第二芯层元件由硅组成。
权利要求 7
V
其中在所述衍射元件中的连续光栅元件之间
W
所述衬底与基底介质接触。
权利要求 8
X
其中所述衬底是波导显示器的波导。