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权利要求与技术特征
权利要求 1
A
其包括： 提供衬底
B
在所述衬底上提供界面钝化层
C
在所述界面钝化层上提供钝化膜，
D
所述钝化膜包含钝化材料和导电掺杂剂，
E
其中所述提供界面钝化层和提供钝化膜包括：在所述衬底的上表面上提供非晶含硅化合物，
F
所述化合物包含氧掺杂剂和导电掺杂剂，
G
热处理所述非晶含硅化合物，以使所述氧掺杂剂至少部分扩散到所述衬底的上表面中以在衬底之上形成氧化物层，
H
所述氧化物层界定了界面钝化层，
I
所述热处理使钝化膜中的导电掺杂剂扩散通过所述界面钝化层
J
并且中在所述氧化物层之上剩余的非晶含硅化合物界定了钝化膜，
K
其中所述热处理也使至少部分所述导电掺杂剂扩散到整个所述界面钝化层中以促进与衬底的电连接
L
和 在所述钝化膜上提供至少一个电极，其中在所述钝化膜内和整个界面钝化层中的导电掺杂剂提供了所述至少一个电极与衬底之间的直接电连接。
权利要求 2
M
其中所述热处理至少部分使所述钝化膜进一步结晶以得到结晶钝化膜。
权利要求 3
N
其中所述结晶钝化膜为透明膜。
权利要求 4
O
其中所述钝化膜的结晶提高了钝化膜的钝化。
权利要求 5
P
其中在所述钝化膜的热处理和结晶期间，所述界面钝化层保护衬底不被结晶化。
权利要求 6
Q
其中所述界面钝化层具有的厚度允许载流子隧穿通过界面钝化层进入到衬底中。
权利要求 7
R
其中所述热处理使一些导电掺杂剂扩散通过所述界面钝化层进入到衬底中。
权利要求 8
S
所述方法还包括在所述钝化膜的导电上表面之上提供抗反射膜。
权利要求 9
T
其中所述至少一个电极经导电掺杂剂通过钝化膜与衬底电连接。
权利要求 10
U
所述方法还包括在钝化膜之上提供至少一个导电膜，其中所述提供至少一个电极包括在所述至少一个导电膜上提供至少一个电极。
权利要求 11
V
其中所述至少一个导电膜是透明导电膜。
权利要求 12
W
一种通过权利要求1-11之一所述的方法形成的太阳能电池。