CN103262410B权利要求1非专利文献补充检索报告
指定高速支撑 有限低速夹层与实际工作模态的证据核验
检索执行日期 2026年10月23日 | 主证据公开截止 2010年12月23日
本报告执行补充检索指示,围绕D1与基准日前原始论文,区分直接披露、确定推导、具体适配启示和仍待证明事项。先给结论,再列原文证据卡、工作声速核验、两张对照表及完整检索日志。
一 结论与剩余缺口
1 本轮最有价值的补强
本轮结果显著补强了“如何沿D1已有结构选取有限SiO₂、界面电极和高速外层”的具体技术启示,但尚未把“所选并援引的Al₂O₃具体方案确定满足目标工作声速关系”证明到无条件成立。最强路线不是把若干缺失特征分别拼在一起,而是以D1[0064]已经公开的沉积厚层支撑工艺为起点,结合N10实测Al₂O₃/约0.25λ SiO₂/Au/36°YX-LT的声学兼容性及增厚隔离建议,论证一个改动较少的候选方案。其声学连续性与实际承载条件仍需闭合。
对D1原文不应作两个极端判断。第一,D1已有低速层、双侧较高速材料、垂向衰减、有限厚度和机械支撑的明确基础,不能说只列了材料名称或缺少目标厚度。第二,权利要求38和39比较的是体波之间的速度,不能不加条件直接改写成“指定支撑相关体波大于实际混合工作模态相速度”。在真正非辐射、相关支撑部分波为倏逝场的方案中,该关系具有明确物理根据;是否能够对所援引Al₂O₃方案确定适用,仍需锁定实际分支和边界条件。
N9对LT/蓝宝石两层模型提供直接A等级的定性声速比较:同一计算模型中工作SAW速度低于蓝宝石体波速度,并据此判为非泄漏。这不是仅靠“高声速材料”标签的推测,也不因未列蓝宝石绝对声速而失去直接证据价值。但是该模型没有埋置有限SiO₂,其文后另一个SiO₂覆盖模型不能与前者拼接。N9显著补强指定材料及实际模式的可行性,有限补强完整目标结构。
N3与N4研究链则给出另一条具体路线:AlN/SiO₂/Cu/0°YX-LN实测结构,SiO₂为0.225λ、Cu为0.04λ、AlN为0.84λ。N4显示增加AlN厚度后谐振频率趋于稳定,顶部光刻胶负载影响较小。这直接支持声学厚层近似的方向,但不直接证明AlN覆盖膜已承担机械支撑,也不能把AlN的频散结果改称Al₂O₃结果。
2 对各证明环节的评价
显著补强:有限SiO₂与列举高速材料、LT或LN及界面电极能够在具体参数组合下共同工作;D1内部的沉积厚层制造选项与论文增厚隔离教导之间存在明确组合桥梁;蓝宝石机械选材与两层模型工作速度关系各有原始文献支持。
有限补强:以受导、垂向衰减解释D1工作速度关系的物理根据;由覆盖层增厚推及承载侧的工程可预期性;重金属负载与切型调整对有限三介质结构的可迁移性。这些方向已有实质证据,不是任意拼图,但不能省略同一方案的模式和工艺核验。
未补强到闭环:同一Al₂O₃承载体/0.1λ至0.5λ SiO₂/LT或LN/IDT方案中,指定材料形态和晶向、工作分支、相关辐射阈值、机械支撑与电极边界全部同时成立的完整证明。也未发现可据本轮全部已核内容直接认定权利要求1完整单篇命中的非专利文献。
被削弱的论证方式:把“guided”一词当作任何模式、任何晶向下的非泄漏保证;把高支撑声速误当作两侧均无辐射;把不同研究的理论切型、实验电极、AlN饱和值、蓝宝石体波数值交叉移用;把薄纳米非晶键合界面当作指定材料且0.1λ至0.5λ的膜。
3 最强反向证据及其准确边界
N11与N13说明,模式出现阈值、非泄漏阈值和实用器件窗口不是同一阈值。重金属和占空比可降速或改变模式耦合,有限SiO₂的特征又对厚度敏感;半无限SiO₂模型不能直接替代0.1λ至0.5λ有限夹层。N14及N15进一步说明形式色散根、局域位移或某一分量衰减不自动等同真实受导解。
N1、N2与N5显示,键合、温补或支撑非泄漏并不保证没有压电体内反射杂散。N12的气隙反例则把理想模型与实际制造完整性区分开。N10厚Al栅的响应畸变和残余顶部敏感性表明,改变电极或增加外层厚度不能仅凭“常规设计”四字跳过兼容性论证。
这些反向证据不等于否定所有目标材料、所有0.1λ至0.5λ厚度点。目标权利要求1也未要求特定SH波、零TCF、指定Q值或两侧完全无泄漏。反例的作用是限制证据可迁移范围,而不是额外增加权利要求限制。
4 建议优先采用的论证次序
在本轮新增论文支持的创造性适配路线中,第一优先采用D1加N10的Al₂O₃沉积厚层路线,并以D1[0064]作为制造桥梁,不把路线表述为单纯翻转覆盖层。第二保留D1加N3/N4的AlN备选,明确额外选材步骤及AlN独立参数。第三用N9与N2/N5说明蓝宝石支撑的声学及工程动机,再由N1说明保留埋置SiO₂的理由,但对这一链条必须承认新增夹层和界面电极后需要重新计算。
一件允许的支撑材料及目标区间内一个可证明厚度点或子区间即可形成有价值证据,不要求全部材料、全部实施方式或整个厚度区间都满足。上述优先次序不取代既有D1单篇新颖性主张。新颖性与创造性应当分开书写。外部论文若仅解释D1原有术语的必然属性,应保留原条件;若引入新的电极、切型或具体材料参数,就归入创造性适配分析。当前证据不支持给出无效成功概率,也不支持因为新增若干全文就自动提高整体结论。
二 对象与证据适用边界
1 本轮任务及判断框架
本报告针对CN103262410B授权权利要求1,在以DE102005055871A1为主要对比文件的既有路线基础上,实际检索和核读基准日前非专利文献。重点不是重新寻找已有的厚度范围,而是核验指定支撑材料、有限低声速夹层、LT或LN压电体、界面或表面IDT和实际工作模态之间是否存在同一兼容方案,以及工作模态相速度与相关体波声支能否可靠对应。
本轮暂按2010年12月24日为有效优先权日,主证据版本须在2010年12月23日或此前公开。未审查优先权是否成立。后公开资料仅作追溯入口或解释材料,不回填其新增技术内容。结论评价的是各证明环节的补强程度,不是无效成功概率。
文献采用N编号,N1至N8沿用任务附件的种子编号,保持已核全文、仅摘要及未取得全文之间的区别。D1仅指DE102005055871A1,不包括末位055870的另一申请。T1为目标专利。会议版和期刊版分别核对具体内容,连续研究不据版本数量重复夸大证据强度。
2 授权权利要求的实际边界
已核对T1授权公告原PDF物理第2页的权利要求书第1页,以及物理第5页说明书[0012]。权利要求1允许的高声速支撑包括AlN、Al₂O₃、SiC、氮化硅、SiON、DLC膜、金刚石及所列主成分材料;纯Si不在该清单内。允许的低速膜包括氧化硅、玻璃、SiON、氧化钽及指定掺杂氧化硅等。压电膜为LT或LN,IDT位于其一面,低速膜位于支撑与压电膜之间,厚度为0.1λ至0.5λ。
权利要求1没有从属权利要求3的压电膜厚度上限,也没有从属权利要求5的特定SH模式、切型或传播方向限制。不能以厚LT不够薄或IDT不在外露顶面为由,未经角色与原文分析就排除候选。相反,文献称“piezoelectric substrate”也不自动证明其为目标压电膜。
[0012]包含两个不同的速度比较。高声速支撑要求其相关体波速度高于压电膜中传播的工作弹性波速度;低声速膜要求其相关体波速度低于压电体的相关体波速度。前者不能简化成支撑比SiO₂快,后者也不是额外要求工作波相速度必须低于SiO₂体波速度。具体声支、晶向和偏振仍需与实际工作模态对应。
原文入口:https://patentimages.storage.googleapis.com/4b/8f/c9/f5e55b2baacc3b/CN103262410B.pdf 。
3 证据等级与解释纪律
A表示同一方案中的直接披露;B表示在公开条件下可确定复算的推导;C表示具有具体改动及动机的适配启示;D表示一般原理或制造背景;L表示关键全文、日期或参数尚待核验。R是可与A至D并列的反向标记。等级适用于具体命题,不等于整项权利要求的最终结论。
新颖性必须回到同一对比文件的完整技术方案。外部论文可以解释D1术语或说明必然属性,但若其新增了切型、介质、厚度或电极条件,这部分只能作为组合适配证据,不得拼入D1后称为D1单篇直接披露。创造性分析必须说明为何作具体改动、改动后模式是否兼容、效果是否可预期,以及不利结果的适用边界。
关于法律方法,本报告以本案申请时2008年修正专利法第22条为新颖性和创造性的实体基础核验入口,并核对2020年修正第22条及当前审查指南版本。当前指南按2023版及2025年第84号令修订(2026年1月1日施行)核验,不仅引用旧2010版。以下仅提供技术证据及证明用途区分,不代替完整无效法律意见。
权威入口:2008年修正专利法 https://www.cnipa.gov.cn/art/2015/9/2/art_97_28193.html ;2020年修正专利法 https://www.cnipa.gov.cn/art/2020/11/23/art_97_155167.html ;2023年指南 https://www.cnipa.gov.cn/art/2023/12/21/art_99_189202.html ;2025年修订 https://www.cnipa.gov.cn/art/2025/11/14/art_99_202568.html 。
4 本轮执行范围与数量
检索执行日期为2026年10月23日。实际文献相关公开网络查询117次,完整字面式117种,无完全相同字面重复;相似主题、同篇追索和变体仍有重合,不能称117条独立技术路线。查询包括界面材料37次、键合支撑40次、模态速度40次。没有声称在IEEE Xplore、CNKI或Scopus内执行原生订阅检索。打开网页、下载、PDF阅读、法律核验不计入117次。
编号N1至N19共19篇,其中14篇已取得并核读全文,5篇为题录、摘要或正文预览等有限材料。N12跨路径重复取得只计1篇;N3、N4及N16同一研究链,N2与N5同链,N11与N13同链。作者博士论文仅查相关部分,不计全文篇数;目标专利及D1也不计非专利文献命中。完整日志、公开版本及排除理由见附录。
检索覆盖英文及中文、日文、韩文、德文、法文查询,并查技术杂志定向入口。before:2011只是发现过滤,不能排除2010年12月24至31日,最终以具体版本公开时间人工筛选。并批查询结果只按批级归属,不假称每条式独立命中。
三 D1原文基础与真正待补的环节
1 已有公开不应降格为缺失
D1于2007年5月24日公开,已取得15页德文公开原PDF。第2页[0015]至[0017]描述导波激励、能量沿厚度向两侧衰减,以及低速导波层与外围较高速材料的关系。第3至4页[0032]至[0034]列举LT或LN单晶及Al₂O₃第二基板选项;第4页[0037]给出SiO₂优选介电层和直接晶圆键合;界面IDT是其既有结构基础。
第4页[0042]给出层系统一般0.1λ至1λ、优选0.15λ至0.5λ。金属埋入且不突出介电层表面的条件下,层系统厚度优选等于介电层厚度。因此0.15λ至0.5λ与目标范围重合已经存在;后续问题是所依赖的材料和电极方案能否同时适用,而不是把厚度范围重新标成未公开。
第6页[0073]说明较厚第二基板优选承担机械支撑。Al₂O₃虽为材料选项,不能据此把优选Si实施方案的全部性能和参数改写为Al₂O₃实测方案。需区分“明确列举可选材料”与“该材料的同一实施例已核全部条件”。
2 不应遗漏的增厚成支撑教导
第6页[0064]允许第二基板不是预制晶圆,而是在介电层上形成足够厚的层或层序,例如至少3λ。这一点为“有限高速外层增加厚度后形成承载侧”的适配提供了D1内部制造起点。不能仅因论文把高速层画在上方就排除该路线,也不能只把图翻转就视为完成适配。
真正需要证明的是:所选高速材料增厚后仍保持相应工作分支和衰减条件;足够厚层在实际工艺中能承担机械支撑;如实际制造路径需要减薄压电侧或去除生长基板,该步骤不破坏已援引结构及模式。权利要求1没有压电膜厚度上限,不能预设所有适配必须完全去除LT原承载体。后文应把高速层饱和、外界隔离和成膜或键合工艺分别对应到这些问题。
3 体波之间的关系不能替代实际工作模态
第9页权利要求38限制层系统体波速度不超过两个基板相应体波速度的90%,权利要求39另述第一基板体波慢于第二基板。这是材料体波之间的比较,不能直接把比较项改成混合工作波相速度。导波和衰减描述可能具有隐含物理含义,但须在明确的声支、偏振及边界条件下解释。
在各向同性纯SH的Love型模型中,受导分支可位于低速层剪切波速度与基体剪切波速度之间。各向异性、混合偏振、压电耦合和重电极界面波则需考虑相应部分波及辐射通道。显示位移局域化的曲线也不能自动排除弱泄漏、数值截断或另一声支的辐射。本轮因此将“D1的条件性物理解释”与“为指定材料选取兼容参数的外部教导”分别评价。
D1原文入口:https://patentimages.storage.googleapis.com/bd/e5/94/1ac3292786dcb0/DE102005055871A1.pdf 。关键页码均为PDF印刷页码;图1G及其说明用于还原层序,不依据图的上下方向单独确定支撑。
四 高贡献文献统一证据卡
N10 有限SiO₂与Al₂O₃的最短适配桥梁
题录与公开:K. Bhattacharjee, A. Shvetsov, S. Zhgoon. Cavityless Wafer Level Packaging of SAW Devices. 2007 IEEE Ultrasonics Symposium, 1886–1889. DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2007.474 。本轮核读四页出版版;原页脚为2007 IEEE,论文集目录和官方P3I-2摘要记录相互对应,作为明确早于基准日的2007论文集版本使用,不以当前下载日或会议举行日单独证明公开。
原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2007/DATA/P3I-2.PDF 。本文需区分高速层导引的WLAW与高阻抗或Bragg隔离的ILAW;后一结构W-Al或HfO₂镜的性能不能移用于Al₂O₃体波关系。
真实结构与角色:WLAW由外向内为Al₂O₃隔离覆盖膜/有限SiO₂/金属电极/LT原基板。覆盖层用于外表面隔离,原文没有把它制成承载体,也未披露去除LT原基板或由Al₂O₃承受机械载荷的步骤。沉积Al₂O₃的形态、织构及与单晶蓝宝石晶向的对应没有充分说明。
核心参数一 理论模型:p1887 Fig.1采用42°YX-LT、Al平均厚0.26 μm、SiO₂ 2 μm、Al₂O₃或W-Al镜总厚5 μm,中心频率约1.05 GHz。Table I及其续文采用Al平均厚0.2 μm、波长接近4 μm;Al₂O₃行Vsc=4090 m/s、Voc=4199 m/s,分别是理论短路与开路速度。两个Al厚度的语境不同,不能静默合并。平均连续Al层近似周期栅的负载,亦不是完整实体IDT的逐位置电声边界。
理论归一化:SiO₂ 2 μm约占0.5λ,Al₂O₃ 5 μm约占1.25λ;因波长只是接近4 μm,前者不能作误差为零的0.500λ端点。Fig.3的氧化层厚度扫描约1.5至4 μm,速度随厚度变化;近零TCF出现在约3 μm即约0.75λ,不可说目标区间内已经获得零TCF。目标权利要求1本身也没有零TCF限制。
核心参数二 实验样品:p1888第III节及III.A给出36°YX-LT、Au 80 nm、λ=4 μm,CVD SiO₂约1 μm,最终Al₂O₃覆盖层>3.5 μm。因此SiO₂约0.25λ,Au约0.02λ,Al₂O₃只可确定>0.875λ。沉积Au后约0.975 GHz,SiO₂及退火后约0.8 GHz,加Al₂O₃后串联共振约0.94 GHz。按同工作分支作fλ估计约3760 m/s,这是本报告的算术推导,不能与42°LT/Al理论表的4090和4199 m/s拼成一个实验数据链。
原文短引与定位:p1888 III.A “the wavelength is 4 microns”。译为“波长为4微米”。该短引用于锁定厚度分母,而不承担支撑体波声速的证明。Fig.4在上表面增加光刻胶后响应仍有小幅变化,作者建议进一步增加隔离层厚度来减弱外界影响。
证明作用与等级:A为Al₂O₃、有限SiO₂、LT、界面电极及工作响应在同一实验样品中共存;B为约0.25λ及fλ估算;C为增厚隔离方向及与D1[0064]沉积第二支撑层的具体适配桥梁。没有直接A或已闭合B证明Al₂O₃承载侧相关体波大于该工作分支。整体对具体适配显著补强,对完整目标结构仍是有条件组合。
边界与最强反驳:p1888至1889说明当合成波速高于较慢体波时仍可能泄漏,且两类结构可有多个速度不同的模式;厚Al栅约0.1λ时后续沉积可改变反射幅度与符号,明显畸变响应,故验证采用薄Au。不能把增厚外层视作无条件等效,也不能把覆盖与支撑直接同义。R标记针对泄漏、杂模、电极负载和残余表面敏感性。剩余任务是同一分支从现有覆盖厚度到D1足够厚支撑的连续性,以及厚层机械和工艺可靠性。
N4 AlN界面波的参数窗口与增厚饱和
题录与公开:Kazuhiko Yamanouchi, Yusuke Satoh. Piezoelectric acoustic boundary waves in the structure of multilayer thin films/electrode/piezoelectric substrates. Journal of Applied Physics 103(11), 114105-1至114105-5, 2008. DOI https://doi.org/10.1063/1.2936901 。首页明确2008年6月6日在线公开;本轮核读五页正文出版稿。下载副本附有出版封页,以下一律使用印刷页114105-1至-5,不以额外封页或2013年下载戳作出版日期。
原文入口:https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.2936901/14825804/114105_1_online.pdf 。出版者下载入口曾返回拦截HTML,另经公开全文版本取得并与原刊核对,访问失败没有冒记为下载成功。实际公开全文条目:https://www.researchgate.net/publication/257968618_Piezoelectric_acoustic_boundary_waves_in_the_structure_of_multilayer_thin_filmselectrodepiezoelectric_substrates 。
真实结构与角色:Fig.1和第II节为高速薄膜/SiO₂/金属/压电基板。材料名单包含AlN或Al₂O₃,金属包括Al、Cu、Ag、Au,压电体包括Y-X LN、128°Y-X LN及36°Y-X LT。但实际参数化曲线和实验图均用AlN,不得把材料列表中的Al₂O₃与AlN数值视为同一已验证方案。SiO₂和AlN为RF磁控溅射,Cu为电子束蒸发;没有高速层厚承载制造或压电原基板移除的实证。
核心参数与最稳样品:114105-4 Fig.12至14及114105-5 IV.A给出AlN 0.84λ/SiO₂ 0.225λ/Cu 0.04λ/0°Y-X LN,IDT共振器N=60.5,频率约500 MHz。Fig.13依次比较仅Cu、加SiO₂、再加AlN,作者分别讨论泄漏表面波、表面波及边界波工作分支。Fig.12在AlN厚度约超过0.5λ后谐振频率变化很小;Fig.14在顶面加3 μm黏弹性光刻胶,主导纳响应变化很小。
λ与速度身份:第II节把λ定义为波长,Fig.1画声学周期,但未给足以独立复算λ=2p的IDT绝对几何。Fig.13的SiO₂约1.8 μm和AlN约6.7 μm与约8 μm波长相容;Cu所标0.34 μm与0.04λ并非完全一致,不用这些近似值制造精确工作速度。文中vf与vm分别为自由与金属化边界相速度,k²=2(vf−vm)/vf,不是支撑材料快、慢体波。
原文短引与定位:114105-5 IV.A “The changes in the admittance are almost zero”。译为“导纳的变化几乎为零”。它描述特定样品涂胶前后的响应比较,不是测定全部空间声能严格为零,也不是机械承载测试。
不同切型与模式:Fig.2至3的Y-X LN、Cu 0.02λ、AlN 2λ在SiO₂约1.05λ零TCF点呈SH占优;Fig.6至7的128°LN、Cu 0.05λ在约1.35λ零TCF点呈SV占优;Fig.9至10的36°LT、Cu 0.05λ在约0.6λ点为SH占优。上述位移图不属于0.225λ实验点,不能说全文每个结构都纯SH,更不能把零TCF条件作为权利要求1限制。
原文不一致一:114105-2 Fig.4中,Cu 0.02λ对应的SiO₂存在边界图读值约0.3λ,而正文写0.45λ;Al 0.05λ处图约0.4至0.45λ,而正文写大于0.6λ。图读数只是目测近似,正文与图不能称为互相印证,也不能择更有利者作精确阈值。
原文不一致二:Fig.15与Fig.17图注的SiO₂为0.2λ,IV.B、IV.C正文为0.225λ;Fig.17的绝对厚度与归一化厚度也不能得到完全一致的λ。两种归一化数均落在目标范围,并不消除精确参数冲突。本报告因此以Fig.12至14的0°LN样品为最稳核心证据,保留而不修正其他样品矛盾。
证明作用与等级:A限于同一AlN覆盖层/有限SiO₂/IDT/LN工作样品;C为高速外层增厚饱和、外表面负载不敏感及切型/金属调节存在窗口;D为分析框架。不能直接证明AlN已是承载基板,也未给出该实测分支与相关AlN体波的完整对应。R包括图文冲突、杂散、金属和切型依赖。对D1加AlN路线构成显著具体启示,但AlN不是D1[0034]明列选项,仍需说明选材理由。
N3 同研究链的2007年原始会议版本
题录与公开:Yusuke Satoh, Kazuhiko Yamanouchi. New Piezoelectric Acoustic Boundary Waves in the Structure of Multi-Layer Thin Films/Electrode/Piezoelectric Substrates. Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics 28, 157–158, paper 1-06-01, 2007。原论文集两页和主办方2007节目中的题名、作者、论文号及页码相符。按完整2007论文集版本认定早于基准日;未另证具体首发日,不以会议日期单独替代发行证据。
原文入口:https://www.use-jp.org/USE2010/proceedings/USE07_proceedings/1-X/157.pdf ;主办方目录:https://www.use-jp.org/USE2007/Program_en.pdf 。
真实结构与参数:外侧AlN薄覆盖层/SiO₂/Cu/Y-X LN原基板;IDT在LN面上、埋于SiO₂侧。p158第3节和Fig.6至7同一实验给Cu 0.04λ、SiO₂ 0.225λ、最终AlN 0.84λ,N=60,谐振约0.48 GHz。λ定义为界面波波长,未给绝对指宽与间距,不增加λ=2p或4w等未核说法。
原文短引与定位:p158 Fig.6说明旁“速度は殆ど変化せず”。译为“速度几乎不再变化”。适用条件是该AlN/SiO₂/Cu/Y-X LN样品中AlN厚度约0.5λ以上,不是所有高速材料的普遍饱和定律。
工作模态与速度身份:Fig.6显示频率随AlN增加趋于约0.478 GHz,Fig.7在谐振附近仍有杂散。结论所说AlN横波速度高于SiO₂,只直接比较两材料,不能替换成AlN相关体波高于实际工作相速度。未给AlN织构、密度及对应体波分支的完整数据;Fig.3是约1.05λ零TCF理论点位移,不能挪用到0.225λ实验。
证明作用与反驳:A为有限夹层、Cu和工作谐振;C为高速覆盖层及增厚趋稳启示;R为杂散和电极依赖。N4增加了其他切型、LT、表面负载试验和参数窗口,不把两版本当作两条独立技术路线。N3已早期披露的0.225λ不需要凭N4摘要反向猜测。
N16 同链IEEE会议扩展及其新增内容
题录与公开:K. Yamanouchi, Y. Satoh. Theoretical and Experimental Results of Flat Phase Linear-Wide Band–Low Loss Filters Using Dispersive Unidirectional Interdigital Transducers on Y-X LiNbO3 and New Acoustic Boundary Waves. 2007 IEEE Ultrasonics Symposium, 2099–2102, P4K-2。已核四页出版版及2007 IEEE页脚;原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2007/DATA/P4K-2.PDF 。
真实结构与参数:p2101 Fig.12为AlN/SiO₂/Cu/Y-X LN共振器涂覆3 μm光刻胶前后比较;p2102 Fig.14的滤波器则为AlN/SiO₂/TeO₂光栅/Al/Y-X LN,包含不同的第一和第二模态。没有把全部厚度与目标Cu共振器统一。
原文证据与贡献:依据Fig.12和Fig.14的结构及响应。A限于各自图示器件;C为同一研究链已有实际滤波与外界负载研究,不仅是抽象几何;R为不同器件的TeO₂光栅与模态不可移用。仍没有AlN厚机械承载证据,也不能把此滤波性能填入N4的Cu共振器。该版本与N3、N4一起计为一个连续研究链,而非第三条独立结构。其参考文献IEICE US2007-39尚未取得,不作为已核原文。
N9 蓝宝石与LT同一模型中的直接声速关系
题录与公开:Ken-ya Hashimoto, Tatsuya Omori, Masatsune Yamaguchi. Extended FEM/SDA Software for Characterising Surface Acoustic Wave Propagation in Multi-Layered Structures. 2007 IEEE Ultrasonics Symposium, 711–714. DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2007.183 。已核四页出版版,2007 IEEE页脚和连续页码证实为明确早于基准日的论文集版本。
原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2007/DATA/8E-6.PDF 。
真实结构与参数:p712模型为无限长Al IDT/42°YX-LT/半无限蓝宝石,LT厚度H=5p或10p,理想平面均匀键合。Al厚h=0.0p、宽w=0.5p是原文值,不能擅自改成0.01p;因而是零质量的电极理想化。另比较45°和48°LT切角,未见蓝宝石晶向的完整独立指定。
原文短引与定位:p712 “the SAW velocity is smaller than the BAW velocities in sapphire. Accordingly, the propagating SAWs are non-leaky”。译为“SAW速度低于蓝宝石中的体波速度,因此传播SAW非泄漏”。该段限定所计算的频率范围并给Re(Y)=0,是同一模型工作波与支撑体波的直接比较,不是材料名称推测。
速度与λ身份:VB=4226 m/s是LT沿面的快横体波,不是蓝宝石体波。文中既把p称为IDT周期,又出现每周期2p及Y(2π/p,ω)等表述,图使用fp/VB。为避免符号混用,本报告不据此输出绝对工作相速或把H=5p换为某确定λ数;直接声速不等式不依赖这一步强制换算。
证明作用与等级:A为该LT/蓝宝石两层模型的定性速度关系与非泄漏;C为指定支撑、切型与多层计算方法的适配启示;R为LT内部快、慢横波驻波杂散及切角敏感。非泄漏与内部杂散可同时存在,杂散不能倒推出支撑速度关系错误。
边界与最强反驳:pp713至714另研究SiO₂/Al IDT/42LT覆盖结构,SiO₂为0.1p,但不是前一LT/蓝宝石中添加埋置SiO₂。把这两个章节拼成目标三层结构将改变原文方案。加入有限夹层、界面IDT与实际金属质量之后,需重新求解分支与辐射条件。相较N10,本篇对支撑材料及速度更直接,对目标层序却更远。
N11 有条件的导波理论与金属负载教导
题录与公开:Yiliu Wang, Ken-ya Hashimoto, Tatsuya Omori, Masatsune Yamaguchi. Change in piezoelectric boundary acoustic wave characteristics with overlay and metal grating materials. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 57(1), 16–22, January 2010. DOI https://doi.org/10.1109/TUFFC.2010.1373 。本轮已核七页出版版;刊期首页与PubMed记录 https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/20040421/ 明确早于截止日。
实际作者公开全文条目:https://www.researchgate.net/publication/224093780_Change_in_piezoelectric_boundary_acoustic_wave_characteristics_with_overlay_and_metal_grating_materials 。
真实结构与理论边界:p17 Case 1为两半无限体,上层各向同性,下层6mm压电体,c轴平行界面且垂直传播,讨论纯SH。p18 Case 2另有有限中间介质及两侧半无限体。其数值器件图3主要为半无限SiO₂/金属周期栅/半无限YX-LN,不是有限SiO₂再加第三高速承载体的完整数值验证。
原文短引与定位:p17 “The PBAW velocity Vm should be less than both VB and VB′”。译为“PBAW速度Vm应低于VB及VB′两者”。在该纯SH模型中,实际速度超过相关阈值会使解出现泄漏;此句不是任意各向异性LN混合模态的无条件总定理。
有限三介质的具体教导:p18 Case 2明确提出SiO₂夹层配Si、Al₂O₃或Si₃N₄上层,通过选取中间层厚度使相应递推项改变符号,可扩大模式存在范围及耦合。原文同时指出SiO₂为约一个波长量级且性质对厚度敏感。这是实际三介质适配启示,不应遗漏;但“一波长量级”不是精确排除所有0.5λ点,也不能直接替代D1的0.15λ至0.5λ参数验证。
电极与速度参数:p18 Fig.3明写IDT周期2p=λ、金属化率0.5。p19 Fig.4用Vr=2frp与Va=2fap表示谐振和反谐振有效速度。SiO₂剪切体波为3766 m/s,LN慢剪切为4030 m/s。Au增厚降速,SH分支非漏阈约0.026λ,两模式均非漏的临界金属厚度hc约0.042λ;p20 Table II给Au、W、Cu的hc分别0.042、0.055、0.125λ。这些是金属厚度,不是SiO₂厚度。
证明作用与等级:A为给定模型的相关体波关系和数值结果;D为D1真正受导语义的条件性理论解释;C为重金属、有限夹层与第三介质的明确适配方向。未直接验证D1指定支撑结构的全部参数,不足以把Au阈值原样搬到有限SiO₂三介质结构。
边界与反证:p18直接用高速上覆材料时SH模式约4400 m/s,高于LN慢剪切约4030 m/s,可向压电侧漏能;高速支撑不保证整个器件双侧无泄漏。Fig.7在Au 0.1λ和0.2λ时,SiO₂衰减深度仍约1.6λ和1.2λ,不能把0.1λ至0.5λ有限SiO₂当作半无限体。W与Ta还伴随电阻代价。R标记限制的是迁移条件,不额外加入权利要求1必须完全无泄漏的限制。
N13 模式出现与非泄漏阈值不能混同
题录与公开:K. Hashimoto, Y. Wang, T. Omori, M. Yamaguchi, M. Kadota, H. Kando, T. Shibahara. Piezoelectric Boundary Acoustic Waves: Their Underlying Physics and Applications. 2008 IEEE Ultrasonics Symposium, 999–1005. DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2008.0242 。已核七页出版版与2008刊载信息。原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2008/files/IUS2008-000021.pdf 。
真实结构与参数:p1001 Fig.3为SiO₂/Cu栅/−5°YX-LN的SH分支,h/(2p)>0.035为出现条件,>0.085才为非泄漏条件;金属厚度与介质厚度不能互换。p1002 Fig.5在w/p约0.42时两种模式耦合,说明占空比不能被忽略。
原文短引与定位:p1001 “The PBAW is only non-leaky when h/2p >0.085”。译为“仅当h/2p>0.085时,该PBAW才不泄漏”。
有限层与贡献:p1001讨论有限SiO₂夹层约一波长量级并对厚度敏感;p1003 Fig.7在Au 0.04λ时SiO₂约0.75λ才接近速度饱和。A为具体模型结果,C/D为设计和解释;R为模式耦合及厚度敏感。没有目标清单承载体的完整同实例。该文与N11为连续研究链,不作为互相完全独立佐证;0.75λ也不是所有带第三高速层结构的普遍厚度下限。
N1 保留埋置SiO₂的键合与杂散动机
题录与公开:B. P. Abbott, J. Chocola, K. Lin, N. Naumenko, J. Caron. Characterization of Bonded Wafer for RF Filters with Reduced TCF. 2005 IEEE Ultrasonics Symposium, Vol.2, 926–929. DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2005.1603002 。已核四页出版版及2005 IEEE页脚,J-GLOBAL卷期记录亦一致;不以当前机构上传日作2005公开证明。
原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2005/DATA/H5H_4.PDF 。
真实结构与角色:p926 Fig.1为表面IDT/LT/埋置SiO₂/Si支撑,氧化物沉积于LT以实现共价键合。Si承担支撑但不在目标支撑材料清单中。工作波称LSAW,未给可直接用于指定蓝宝石支撑的体波分支、晶向以及完整金属和LT切型参数。
核心参数与λ:Fig.1中p对应相邻指条间距,Fig.2、3用h/(2p),正文关于一个波长厚度的叙述与横轴约1相符,故普通交替指基波下λ=2p有图文支持,列为B解释而非原文直接方程。Fig.6扫描hox/(2p)=0至2,LT=8.8p即约4.4λ,扫描覆盖目标0.1λ至0.5λ。Fig.4氧化层为2p即约1λ,不能误写成0.5λ。
原文短引与定位:p928 “The primary purpose of the SiO2 is enabling the bond.” 译为“SiO₂的首要用途是实现键合”。p927 Fig.4显示所比较氧化层可降低杂散幅度;p928 Fig.6主要显示频率随氧化层厚度变化,不能据此声称目标区间每点的杂散幅度都最优。
证明作用与反驳:A为埋置SiO₂结构及键合目的,C为在D1结构中保留有限夹层的具体理由;B仅用于归一化解释。p928至929实测Q仍有杂散陷波,另有晶圆翘曲问题,标R。把Si替换蓝宝石、表面IDT改为界面IDT均需新的声学兼容性分析,不能当作原文已经完成。
N2 蓝宝石机械支撑的选择依据
题录与公开:M. Miura, T. Matsuda, M. Ueda, Y. Satoh, O. Ikata, Y. Ebata, H. Takagi. Temperature Compensated LiTaO3/sapphire SAW Substrate for High Power Applications. 2005 IEEE Ultrasonics Symposium, Vol.1, 573–576. DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2005.1602917 。已核四页出版版与2005 IEEE页脚,作为明确早于截止日的论文集版本。
原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2005/DATA/E5E_2.PDF 。
真实结构与核心参数:表面IDT/LT/表面活化键合纳米非晶界面/蓝宝石支撑。实测LT厚度10至40 μm。pp574至575 Fig.2、3表明约0.5至2 nm非晶界面时键合较强,但界面材料不能直接指定为SiO₂,更不是0.1λ至0.5λ的膜。电极几何、传播方向及相关体波分支未充分报告,不据工作频带反推精确相速度。
原文短引与定位:p574 “sapphire is an ideal material for the support substrate.” 译为“蓝宝石是理想的支撑基板材料”。p574 Table 1比较玻璃、Si、蓝宝石和LT;蓝宝石弹性模量470 GPa、导热率42 W/(m·K)、电阻率大于10的12次方 Ω·m。此处是刚度、热与电学动机,不是体波声速证明。
证明作用与反驳:A为蓝宝石真实支撑角色,C为选材及室温键合制造。p575 Fig.4显示LT越薄,界面反射杂散越强,40 μm时实用抑制;表面活化不足或过度导致粗糙化也会降低键合强度。R限制是薄化和界面质量,不否定蓝宝石支撑。缺埋置有限SiO₂,故对完整三层速度关系仍未闭合。
N5 蓝宝石支撑后续器件与界面反射
题录与公开:Michio Miura, Shogo Inoue, Jun Tsutsumi, Takashi Matsuda, Masanori Ueda, Yoshio Satoh, Osamu Ikata, Yasuo Ebata. Temperature Compensated SAW Devices Using Bonded LiTaO3/Sapphire. IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems 127(8), 1161–1165, 2007. DOI https://doi.org/10.1541/ieejeiss.127.1161 。已核日文五页正文及英文扩展摘要;出版页记2007年8月1日发行,2007年9月1日上线J-STAGE,均早于基准日。
原文入口:https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/127/8/127_8_1161/_pdf ;日期入口:https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/127/8/127_8_1161/_article/-char/en 。
真实结构与参数:表面IDT/42Y-X LT/直接键合蓝宝石。p1163第3节谐振器LT=37 μm≈18λ,蓝宝石250 μm;第4节双工器LT=40 μm≈20λ,均不是SiO₂厚度。p1162 FEM采用蓝宝石R面,c轴投影线45°方向与SAW传播方向一致;不能未经证明移用到N9或沉积Al₂O₃。
原文短引与定位:p1163 “LiTaO3 基板の厚さは 37 µm(約 18λ)”。译为“LT基板厚度为37 μm,约18λ”。Fig.5明确λ为SAW波长,缺完整IDT厚度和周期以复算精确相速。
证明作用与反驳:p1162 Table 1及Fig.2说明高刚性蓝宝石允许LT保持较厚而仍可温补;Fig.3至5分析界面反射杂散,LT约≥10λ时杂散可降至约2 dB以下。A为支撑角色与明确方向,C为选材和器件制造,R为界面反射及薄化代价。厚LT不是权利要求1的当然排除项;但其表面声能位置与D1界面导波不同,且没有埋置有限SiO₂。N2和N5作为同一发展链使用,不重复夸大独立佐证。
N12 界面电极和有限氧化物的低温键合
题录与公开:H. Majjad, V. Laude, S. Ballandras. Low Temperature Bonding of Interface Acoustic Waves Resonators on Silicon Wafers. 2005 IEEE Ultrasonics Symposium, 1307–1310。已核四页出版版与2005 IEEE页脚。本文所核PDF未印DOI,本报告不猜测补造。
原文入口:https://engineering.purdue.edu/oxidemems/conferences/ultrasonics2005/DATA/K5K_4.PDF 。
真实结构与参数:Si(100)晶圆约0.25 mm/SiO₂ 0.4 μm/埋入LN表面的Al IDT/LN晶圆约0.5 mm,LN取Y-cut或128°Y-cut。Fig.1、5、7说明界面氧化物、凹入电极和背面接点通孔;125 ℃退火5小时完成键合,未去除LN原基板,也未实际实现文末拟扩展的LT器件。
λ与厚度范围:摘要pitch为10、20或30 μm,模型Al厚50至200 nm。即使保守以最小pitch 10 μm直接当λ,0.4/10=0.04仍低于0.1;若λ=2pitch,则为0.02。不能据该文主张目标厚度点,也不能以纯Si代替权利要求列举材料。
原文短引与定位:p1308 “air gaps should be avoided”。译为“应避免气隙”。Fig.3无空隙时只有一个低损耗模态,Fig.4电极上方气隙引入局部陷获寄生模式;结论称制造优化仍在进行,以消除空洞。
证明作用与反驳:C为界面电极、有限SiO₂和低温键合能够共同制造的具体背景;D为工艺方法;R为气隙导致模式改变。它不闭合目标材料与厚度,却使“理想层序一定可制造”的推断受到实证约束。该论文在不同检索路径重复取得,全文统计只计一次。
N14 模态转化与泄漏的反向限定
题录与公开:Natalya Naumenko. Transformation of Surface Acoustic Waves into Boundary Waves in Piezoelectric/Metal/Dielectric Structures. 2009 IEEE Ultrasonics Symposium, 2635–2638. DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2009.5441706 。已核四页作者稿及会议页码,2009论文集目录与题名对应:https://www.proceedings.com/content/007/007493webtoc.pdf 。所用为已核作者稿,不把其与未核出版修订完全等同。作者公开条目:https://www.researchgate.net/publication/224128828_Transformation_of_surface_acoustic_waves_into_boundary_waves_in_PiezoelectricMetalDielectric_structures 。
真实结构与核心参数:128°YX-LN/均匀Cu/SiO₂,Cu固定0.2λ;SiO₂增加至约1.5λ时相关分支转为边界波,而较高分支仍会泄漏。Fig.1的BAW1为SiO₂剪切,BAW2、BAW3为LN慢、快剪切极限体波,不是任意方向的材料常数。均匀Cu膜不是实际IDT栅的全波器件。
原文短引与定位:作者稿第2页 “do not transform into BWs because of energy leakage into SiO2 half-space”。译为“由于能量向SiO₂半空间泄漏,并不转化为边界波”。
证明作用与反驳:A为其模型中的模式转化与泄漏,D为跟踪分支而非只看名称的原理,R为切型、开短路及模式耦合。该反例不否定所有有限三介质结构,也不把1.5λ当作目标夹层的必要厚度;它削弱的是无条件“表面波加覆盖即受导且不漏”的推论。
N15 形式色散根与真实衰减解的区别
题录与公开:B. Collet, M. Destrade. Piezoelectric Love Waves on Rotated Y-cut mm2 Substrates. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 53(11), 2132–2139, November 2006. DOI https://doi.org/10.1109/TUFFC.2006.153 。已核八页出版版及2006年11月刊期。作者机构原文:https://maths.universityofgalway.ie/~destrade/Publis/destrade_30.pdf 。
真实结构与参数:有限m3m介电层/半无限mm2压电体,上自由面金属化短路。Ge/KNbO₃例旋切50.08°,kh=0.1131达到极限速度,至0.9410前没有真实传播波。此处kh不能直接作h/λ。
原文短引与定位:p2138 “a forbidden band of frequencies is predicted”。译为“预测出现禁频带”。pp2135及2138强调形式色散根仍须满足衰减检验。
证明作用与反驳:D为各向异性分支与衰减条件的严格背景,R为截止和禁带。材料不是目标LT、LN或Al₂O₃,故它不是D1某一具体方案不可能的直接反证;用途仅是阻止将纯SH标量公式或任意剪切体波值无条件套入目标多层结构。
五 工作声速与层厚的强制核验
1 两个不等式分别证明
高声速支撑命题比较支撑的相关体波与器件实际工作分支相速度。低声速膜命题比较低速膜体波与压电体相关体波。这两个不等式并不相同,不能由“支撑比SiO₂快”替代前者,也不能额外要求工作相速低于SiO₂体波作为权利要求1的一般限定。
N11的YX-LN模型给出SiO₂剪切体波3766 m/s与LN慢剪切4030 m/s,直接支持该模型下低速介质与压电体的对应关系。N9则直接比较其LT/蓝宝石模型工作SAW与蓝宝石BAW,支持支撑侧命题。两条事实分别成立,并不允许把两个不同结构合并成同一器件已经证明两项关系。
实际速度名称也须区分。N10的Vsc与Voc是理论短路、开路速度;由实验频率乘以波长得到的是有效工作速度估计。N4的自由与金属化速度用于机电耦合计算,不是支撑快、慢体波;N9的4226 m/s是LT快横体波而非蓝宝石数值;N11的Vr与Va是谐振和反谐振有效速度而非群速度。
2 受导波能够推出什么
在均匀各向同性、无损半空间,采用纯SH、实频率ω和实面内波数k,并令支撑侧位移按exp(−qz)衰减时,有q²=k²−ω²/cT²。若同一支撑中非零SH场满足q>0,则v相=ω/k<cT。这是可复核的条件性物理推导,不依赖先找到一组实测声速数字。
但把此标量推导扩展到LT、LN和蓝宝石的各向异性、压电耦合、混合偏振、周期金属负载及有限厚度外体,必须核实际部分波根及辐射通道。某分量衰减、有限深度中的幅度下降或较高Q不足以证明所有耦合部分波均倏逝。相反,对称性解耦可能使一个开放通道的幅度为零,也不能机械要求相速度低于所有方向的任意体波。
因此,D1的导引与双向衰减不是无用文字;它可以构成确定隐含论证的核心。但是欲将其用于指定Al₂O₃结构,应说明所援方案为何属于上述真正受导条件,以及所比较的体波为何是该模式实际关联的分支。若这一点依靠修改电极、切型或层厚才成立,论证性质已经变为适配,不再是D1未改动方案的必然属性。
3 厚度与周期的可复算清单
D1[0042]的层系统0.1λ至1λ、优选0.15λ至0.5λ已经与目标范围重合;当金属嵌入而不突出时,层系统优选等于介电层厚度。必须核对所援引材料、电极布置与这项条件共同适用,不应重新制造一个厚度缺口。
N10实验明确λ=4 μm,SiO₂约1 μm,故h/λ≈1/4=0.25;Al₂O₃厚度>3.5 μm只保证>0.875λ,并不证明已经达到D1举例的至少3λ。其理论SiO₂=2 μm、波长接近4 μm仅支持约0.5λ,不能把约数当严格端点。0.94 GHz×4 μm≈3760 m/s是本报告算术估算,未加入图读数精度以外的有效数字。
N3及N4最稳实测点直接以λ归一化:SiO₂=0.225λ,Cu=0.04λ,AlN=0.84λ;N4图13约1.8 μm SiO₂和6.7 μm AlN与约8 μm波长相容。图15、17的0.2λ与正文0.225λ冲突应原样记录,不把两者融合成一个精确参数。
N1的h/(2p)和图文支持普通交替指基波λ=2p,但这是由图文联合得到的B等级解释;图4氧化物2p=1λ,不是0.5λ。图6扫描覆盖目标区间,只直接显示频率变化,不能据此断言每一点都达到最佳杂散抑制。
N5的37 μm≈18λ和40 μm≈20λ是LT厚度,不是SiO₂厚度。N12的0.4 μm氧化层即使以最小pitch 10 μm直接作λ,比例也只有0.04;若λ=2pitch则为0.02,均不能命中下限0.1。
N9同时出现p为IDT周期与每周期2p的描述,故本报告保留H=5p或10p原量,不强行换算LT厚度或绝对速度。N11明确2p=λ,可用于该文自己的参数计算,不能反向改写其他文献p定义。任何kh数据必须先确认k=2π/λ后再除以2π,不能直接把kh当h/λ。
4 外层增厚为什么不是简单几何翻转
声学隔离厚度与机械承载厚度是两种要求。N4在AlN增厚至约0.5λ以后显示频率趋于饱和,N10建议继续增加外层以减弱外界扰动;二者说明外表面逐渐退出有效声场的方向有依据。D1[0064]则已经允许在介电层上形成足够厚的第二基板层或层序,例如至少3λ,并由[0073]说明机械稳定目的。
将这些内容结合,可以提出有文本基础的增厚支撑路线,而非凭器件图朝向猜测。尚未解决的是同一材料形态下的全分支连续性、厚层应力与完整性、实际承载条件。N10沉积Al₂O₃未明确等同某一单晶蓝宝石晶向;N4的AlN厚层饱和也不自动是Al₂O₃的饱和。因此现阶段属于较强具体启示,不能升级为已完成全部工程验证。
六 特征对照表
表1结论:D1已有支撑角色、材料选项、夹层和重合厚度;N10与N3/N4补强有限夹层声学兼容性;N9直接给蓝宝石速度关系,却缺埋层。最薄弱处仍是同一支撑方案内的连接。“直接”“推导”“未公开”“待核”仅按所援具体方案判定。
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特征与结论
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D1
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N10 Al₂O₃路线
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N3与N4 AlN路线
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N9 LT与蓝宝石
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N11 模式与负载
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支撑材料与角色
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直接:Al₂O₃选项[0034];足够厚第二体及机械支撑[0064][0073]。具体组合仍需核。
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直接:沉积Al₂O₃覆盖膜。未公开:机械承载转换。p1887–1888。
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直接:AlN高速覆盖膜。未公开:机械支撑。N4 Fig.1、12–14。
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直接:半无限sapphire承载侧理论模型。p712。
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直接:Case 2列Al₂O₃、Si₃N₄等上层。实际承载工艺未公开。p18。
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低速膜材料与位置
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直接:SiO₂介电层、界面层系及键合。[0018][0037]。
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直接:Al₂O₃与LT之间有限SiO₂。理论及实验须分开。p1887–1888。
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直接:AlN与LN/LT之间SiO₂。N4 Fig.1、12–17。
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未公开:所援LT/sapphire模型无SiO₂。后节帽层不能拼入。pp712–714。
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直接:Case 2有限SiO₂三介质教导;Fig.3数值为半无限SiO₂。p18。
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LT或LN压电体
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直接:LT/LN;有生长压电层及去基板选项。[0032][0033]。
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直接:实验36°YX-LT;理论42°YX-LT。不得互换。
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直接:稳点0°YX-LN;另128°LN、36°LT。模式与厚度各异。
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直接:42°YX-LT,另比较45°及48°;H=5p/10p。p712。
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直接:数值YX-LN;纯SH理论另有6mm假设。pp17–18。
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IDT位置和边界
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直接:压电体与介电层界面梳状电极;嵌入条件须保留。[0005][0018][0042]。
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直接:Au在LT/SiO₂界面。理论连续Al近似不等于同实验。p1888。
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直接:Cu在压电体/SiO₂界面;0.04λ稳点。N4 Fig.12–14。
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直接:LT外表面Al IDT,h=0.0p理想化;非界面栅。p712。
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直接:周期金属栅,2p=λ、占空比0.5;不能把均匀层理论混同。Fig.3。
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0.1λ至0.5λ及λ定义
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直接:优选0.15–0.5λ;金属不突出时层系优选等介电层。λ与激励周期适用性待进一步说明。[0042]。
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推导:实验1 μm/4 μm≈0.25;理论2 μm/约4 μm≈0.5,非严格端点。p1888。
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直接:SiO₂0.225λ;λ为波长,绝对IDT几何未完整。N4 Fig.12–14;其他样品图文冲突保留。
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未公开:无埋层。p定义存在歧义,保留H=5p/10p,不强制换算。
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未直接验证目标三介质区间:有限SiO₂约波长量级讨论;金属hc非介质厚度。pp18–20。
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高低声速关系
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直接:导引、双向衰减及体波层级。推导须锁定模式、方向和辐射分支。[0015–17]、权38–39。
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推导:实测工作v≈3760 m/s;待核同材料形态支撑相关体波。理论4090/4199不得移作实验。
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直接:AlN比SiO₂快及边界工作响应;待核实测分支与AlN体波完整对应。
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直接:同计算频段SAW<sapphire BAW。VB=4226为LT,非sapphire。p712。
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直接:给定模型SiO₂剪切3766<LN慢剪切4030;纯SH非漏条件明确。未闭合D1支撑全结构。
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七 候选组合及结论
表2比较本轮新增非专利文献支持的创造性适配路线,不取代D1单篇新颖性解释。各路线均应先固定一个具体材料形态、厚度点及工作分支;本表排序兼顾证据链长度、改动量和可核依据,不代表法律成功概率。
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论证要素
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路线A D1加N10
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路线B D1加N3及N4
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路线C D1加N9及键合研究
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D1起点
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Al₂O₃第二基板、LT/LN、界面IDT及SiO₂;[0064]可沉积足够厚层,例≥3λ;[0073]机械稳定。
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相同层系及沉积支撑路径,但D1[0034]未明列AlN,需要论文给出具体材料选择。
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D1明列Al₂O₃及有限SiO₂。N9为LT/sapphire实际工作速度关系,N2/N5为支撑工程动机。
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实质差异
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N10为覆盖膜而非支撑,实际厚度仅>0.875λ;实际模式与支撑体波对应未定。
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AlN覆盖膜需增厚并承担支撑;须证明选材、织构、工作分支和机械完整性。
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N9无埋SiO₂且表面零质量IDT;N1为Si支撑;需跨层位、材料及电极边界适配。
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论文具体教导
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同材料Al₂O₃/约0.25λ SiO₂/Au/36°LT实测,继续增厚隔离层可减弱表面响应。
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AlN .84λ/SiO₂ .225λ/Cu .04λ/0°LN实测;AlN>.5λ后频率近饱和,涂胶响应变化小。
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N9直接SAW<sapphire BAW;N2/N5支持蓝宝石刚度、温补和键合;N1说明保留埋氧键合及杂散动机。
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具体改动
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按D1既有工艺选Al₂O₃;保留有限SiO₂及薄Au界面条件,增加高速层到足够厚。必要时才安排压电体减薄。
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将第二侧选为AlN,采用N4稳健Cu/SiO₂/LN窗口,按D1沉积支撑方向增厚。
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由LT/sapphire两层加入有限SiO₂,并采用与D1兼容的实际界面IDT;不把各论文原方案称为一个已披露实施例。
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组合动机
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D1已有机械稳定与低速层导引目的;N10给有限夹层声学相容及表面隔离依据,改动较少。
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N4给高速层隔离与厚度饱和,AlN为目标允许材料;须从技术效果而非目标答案说明选择。
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蓝宝石刚度、导热及电阻率有具体取舍;SiO₂保留有键合理由,但需要同时满足声学约束。
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模式兼容性
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不能将42°LT/Al理论换成36°LT/Au实验;增厚必须跟踪同一WLAW分支及实际辐射阈值。
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不得把SH零TCF位移图移至.225λ实测点;AlN饱和不能转称Al₂O₃;切型、电极窗口保留。
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N9零金属质量、无夹层条件改变;蓝宝石方向与LT切角、界面栅需同模型重新核验。
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预期效果
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减少顶面扰动并获得足够支撑厚度;声学方向有依据,机械和完整声速关系尚待证明。
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边界波主要响应对远端表面趋于不敏感;不等于已验证承载或所有模式均不辐射。
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有望保留蓝宝石较高体波阈值并取得夹层键合作用;新夹层也可能引入杂散或改变模式。
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反向证据
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N10有残余顶部响应、厚Al响应畸变、慢体波泄漏与多模式;Al₂O₃形态未明。
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N4图文阈值不一、其他样品.2/.225冲突、SV/SH切型差异;缺厚AlN应力和承载验证。
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N1/N5界面杂散与Q下降;N12气隙寄生模态;非泄漏不等于无杂散。
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结论与风险
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优先适配路线。具体声学与制造桥梁显著补强,但不是单篇命中,尚待分支连续性与承载闭环。
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有价值独立备选。增厚声学依据较直接,但新增AlN选择和机械工程证据不可省略。
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支撑声速关系直接而完整层系桥梁较长。可辅助解释和设计动机,不宜拼作最短直接披露。
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八 证明用途与可继续工作的三项任务
1 单篇解释与多篇组合分开使用
新颖性路线应以D1为单一文件,依其层序、支撑、有限夹层及真正受导条件说明直接或确定隐含公开。N11等可以提供原理解释,但外部文献新增的Au厚度、LN切型、半无限边界或某特定有限夹层点不能补入D1后再称为其直接披露。D1所列选项能否在同一技术方案中相互结合,也应由D1文本与其技术关系回答,不能仅靠材料清单的笛卡尔积。
创造性路线则应明确起点、实质差异、具体改动、改动动机和预期效果。对D1加N10路线,可把技术问题表述为在保留有限键合介质和界面换能条件下,选择兼顾声学约束、外界隔离和机械稳定的第二侧材料与厚度。不要把“得到Al₂O₃支撑及0.1λ至0.5λ夹层”直接写进技术问题,以免把答案预置其中。
组合是否成立不以每一特征分别可找到为终点。N10的同材料层序缩短了桥接距离;D1[0064]减少了新增制造步骤;N4的增厚饱和给出独立AlN路线。相较之下,N9加N1再加N2/N5虽各自有价值,但需要跨越表面SAW与界面波、有限夹层与无夹层、零质量模型与实际栅条等更多变化,优先级较低。
2 任务一 固定最小Al₂O₃适配方案并计算同一分支
需要材料:D1指定方案的Al₂O₃形态及弹性参数;N10实验36°YX-LT、Au 80 nm、SiO₂约0.25λ的完整电极与材料模型;实际厚Al₂O₃从约0.875λ以上增加到至少3λ乃至声学厚层的连续扫描。应跟踪复数色散根、模态极化、能量分布、辐射损耗和与支撑相关的体波阈值,而非只比较某个谐振频率。
期望产出:一个可复核模型、参数出处和误差区间,分别报告支撑体波大于工作相速及低速膜体波小于压电体体波。若同一分支稳定保留且满足条件,可显著提高D1加N10的具体可预期性;若出现模态跳变或额外辐射,则应缩窄参数窗口或转向AlN路线。该计算属于尚未完成工作,本报告未将其写成已执行仿真。
3 任务二 闭合沉积厚层的机械和工艺条件
需要材料:基准日前关于厚Al₂O₃或AlN在该SiO₂/电极/LT或LN层系上形成、应力控制、裂纹与翘曲、界面空隙及承载的原始论文或同期工艺记录;必要时辅以专家意见说明D1[0064]与实际器件工艺如何对应。若所选方案需要LT减薄或去除生长基板,再核这些步骤;不能预设全部路线均须额外转移。
期望产出:证明指定高速材料不仅是声学覆盖层,而且能在同一方案中承担第二支撑角色。成功将减少当前最重要的工程桥接;失败也不自动否定D1的全部支撑实施方式,但应停止把覆盖层例当作承载体实证。
4 任务三 完成关键原文和符号补证
优先获取N6、N7、N8合法全文,并解决N9周期符号及蓝宝石晶向信息。N7对金刚石支撑形态和是否存在埋置氧化层尚无全文级结论;N8对蓝宝石/LN工作声支可能有独立价值;N6不能因摘要含0.1λ就升级为完整结构证据。必要时核作者稿、同期论文及可验证的原出版版本。
同时,D1的λ应与IDT实际激励工作波长通过原文、同族一致说明或专家技术解释连接。N11的2p=λ只能作行业和模式背景,不可代替D1自身适用性证明。N4图文冲突宜获取原刊勘误或作者澄清;在解决前只使用没有该冲突的稳健实测点。
5 停止边界
本轮已经形成能继续开展技术论证的证据链、反向限定和剩余任务,不把重复同义词查询当作提高证据等级。未宣称穷尽全部数据库或所有语种;访问受限、摘要级记录、后公开资料和重复研究链在附录分别列出。任何法律提交仍须结合证据形式、公开性证明及案件具体程序要求复核。
附录一 有限证据与重要排除项
N6 LN与SiO₂理论结构仅摘要级
Monika Tomar, Vinay Gupta, Abhai Mansingh, K. Sreenivas. Temperature stability of c-axis oriented LiNbO3/SiO2/Si thin film layered structures. Journal of Physics D Applied Physics 34(15), 2267–2273, 2001. DOI https://doi.org/10.1088/0022-3727/34/15/305 。出版者日期为2001年7月17日。已核题录和摘要,多次完整题名、DOI、作者页码、机构库及PDF查询未取得合法开放全文;下载尝试返回HTML,不计全文。
摘要比较c轴LN/SiO₂/Si和增加SiO₂帽层结构,给上下SiO₂各0.1λ、LN 0.235λ、理论K²=3.45%及零TCD线索。IDT实体、电边界、λ定义、色散分支及材料替换均未全文核实。支撑仍为Si,不在目标清单;不得把理论优化写成器件实测。等级L,只保留参数与引文追索用途。
N7 金刚石种子没有取得全文
E. Dogheche, D. Remiens, S. Shikata, A. Hachigo, H. Nakahata. High-frequency surface acoustic wave devices based on LiNbO3/diamond multilayered structure. Applied Physics Letters 87(21), 213503, 2005. DOI https://doi.org/10.1063/1.2135383 。AIP官方题录与Crossref记录指向2005年11月17日在线、11月21日印刷。合法全文尝试包括DOI、出版者PDF、公开作者条目、题名与HAL定向查询;返回摘要、购买页或HTML,未取得原全文。
摘要称490 ℃磁控溅射LN到多晶金刚石基板,IDT在LN上表面,Rayleigh SAW带通频率>2.30 GHz、相速最高12000 m/s。短引“polycrystalline diamond substrates”仅确认“多晶金刚石基板”这一材料名称,不证明其是否还有其他承载体、埋置SiO₂及所需归一化厚度。缺同一工作分支相关体波与电极参数,不能把最高相速与任取单晶金刚石声速比较。等级L。
N8 LN与蓝宝石理论种子全文受限
T. Nishida, R. C. Ibrahim, T. Horiuchi, T. Shiosaki, K. Matsushige. Theoretical Study on Surface Acoustic Wave Characteristics of LiNbO3 Films on Sapphire Substrates. Japanese Journal of Applied Physics 36, 6077–6082, 1997. DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.36.6077 。原期刊9B与当前IOP 9S标签存在版本展示差异,保留卷页标识。出版社及机构目录确认1997年9月刊期,不以收稿或接收日作为公开日。
已尝试出版者HTML与PDF、DOI、精确题名、作者和机构引用链,只得题录及登录/购买页面。摘要线索讨论LN/α-Al₂O₃中膜厚、模式和传播方向,但未核蓝宝石晶向、IDT、有限埋置SiO₂或实际模式与体波比较。不能因题名而标完整命中。等级L;合法取得全文可能提高独立蓝宝石分支的解释力,但目前不改变未闭合结论。
N17 新取全文的一般材料背景
V. Bornand, I. Huet, J. F. Bardeau, D. Chateigner, Ph. Papet. An Alternative Route for the Synthesis of Oriented LiNbO3 Thin Films. Integrated Ferroelectrics 43, 51–64, 2002. DOI https://doi.org/10.1080/10584580190043705 。已核完整2002卷期出版版;收稿2001不是公开日。作者机构原文:https://chateigner.ensicaen.fr/pdf/IF43_51.pdf 。
两步RF溅射/pyrosol形成c轴LN/Si(111)及LN/Al₂O₃(001),无埋置SiO₂;蓝宝石上有两个面内取向变体。p61 Fig.6的5600至3800 m/s为Rayleigh SAW理论趋势,约5700 m/s描述蓝宝石表面声波而非相关体波阈值。p62至63实测430 MHz和约4500 m/s属于LN/Si,并有较高损耗。
短引“Experiments are still in progress on Al2O3 substrates.”译为“Al₂O₃基板上的实验仍在进行”。因此不能把本篇写成已实测蓝宝石完整器件。D为高速承载提升频率及薄化耦合折衷背景,R为面内无序和晶界散射;不填补N8的完整各向异性参数,更不是目标有限夹层命中。
N18 DLC覆盖膜的截止线索
S. Zhgoon, Q. Zhang, S. F. Yoon, A. Revkov, B. Gan, J. Ahn, Rusli. Surface acoustic waves in diamond-like carbon films on LiNbO3. Diamond and Related Materials 9(8), 1430–1434, 2000. DOI https://doi.org/10.1016/S0925-9635(00)00262-4 。出版社日期为2000年8月10日;本轮仅核摘要、引言及章节预览,不计全文。
结构为DLC/SiC缓冲/Y切Z向传播LN;SiC用于解决DLC与复杂氧化物的附着相容性。约2 μm DLC在约538 MHz有截止,IDT位于未覆盖的LN区域,不是DLC承载且无埋SiO₂。短引“cut-off behavior”译为“截止行为”。等级L,兼作有限D/R线索;不能由这一覆盖结构否定所有DLC支撑,也不能把DLC常数当金刚石常数。
N19 金刚石与SiO₂帽层并非埋层
S. Shikata, A. Hachigo, H. Nakahata. Simulation of characteristics of a SiO2/c-axis-oriented LiNbO3/diamond surface acoustic wave. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 51(12), 1683–1689, December 2004. DOI https://doi.org/10.1109/TUFFC.2004.1386685 。原论文题录摘要:https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15690728/ 。2004年12月明确早于截止日,但本文本轮未核全文。
摘要明确SiO₂/IDT/LN/diamond,研究Rayleigh及Sezawa模式;SiO₂是上覆盖温补,不在LN和金刚石之间。12100 m/s和10.1%只适用于该帽层研究,不能移到埋置夹层路线。等级L/D。另合法取得作者2004博士论文并检查目录及相关章节,但未逐页全文精读,也未证当年公开时间,因此不计独立基准日前全文主证据。
其他被保留或排除的来源
Tomar等2001 IEEE IUS论文 Theoretical studies on LiNbO3/sapphire layered structure with SiO2 over layer for zero TCD SAW device applications,DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2001.991623 ,摘要为SiO₂帽层0.3λ/LN 0.29λ/sapphire。未取得全文且层位不符;不与N6的LN/SiO₂/Si混为一篇。
Solal 2002 DOI https://doi.org/10.1109/ULTSYM.2002.1193369 及Pastureaud 2007 DOI https://doi.org/10.1109/TUFFC.2007.321 仅核题录或摘要,可作单晶薄层转移发展线索,不冒称全文。Camou等2003关于常见晶体切型的界面波论文,机构PDF返回403,未把索引文本当原文。Yamashita 1997、Kando 2006、Tsai 2004和IEICE US2007-39属于引用链后续来源,未在本轮完成全文核验,不能承担新增直接结论。
Wang 2009 DOI https://doi.org/10.1109/TUFFC.2009.1103 的作者文本可见但本轮未完成下载与逐页核读,不增加全文统计。Darinskii及Weihnacht 2001 Supersonic Love waves,DOI https://doi.org/10.1063/1.1376405 ,仅题录和摘要,特殊慢度面可能构成一般命题反例,仍须原文核验,不升级为目标结构证据。
后公开的Wu等2022 LiTaO₃/SiO₂/sapphire研究,DOI https://doi.org/10.1109/LED.2022.3200418 ,虽更贴近目标层序,只作回溯入口。2011年5月30日东京大学常温接合报道及现代IHP SAW、LN/SiO₂/SiC、2021或2025数值研究均不把新增教导倒推至2010年以前。Naumenko2010会议记录若缺具体版本公开证据,也不以会议日期代替截止日前公开。
SiC、氮化硅、SiON和DLC独立分支本轮没有取得“允许材料承载/有限埋置SiO₂/LT或LN/IDT及完整声速关系”基准日前闭环全文。该句只报告本次检索结果,不等于这些路线不存在。中文和韩文查询未产生新的原始目标全文;日文N5按同一论文计数;技术杂志限定查询未取得可承担该层序和速度证据的基准日前报道。
附录二 本轮实际检索日志
统计冻结:2026-10-23T03:25:45.337862+00:00。仅统计2026-10-23本轮实际记录,不继承前次轮数。
文献相关查询共117次:界面/材料37次,键合/支撑40次,模态/速度40次(其中39次发现或追索、1次题录日期核验)。原query完整字面式共117种;完全相同的字面重复组为0组。该数不是独立技术路线数、命中文献数、去重全文数或工具调用批次数。
全部主查询均为公开网络索引检索,不是IEEE Xplore、CNKI、Scopus等数据库原生检索。命中出版社页、机构库页或DOI不改变这一平台性质。网页打开、原文下载、PDF阅读及既有链接核查另属原文核验,不计查询。
日期口径:before:2011只是发现过滤,覆盖范围仍可能包含2010年12月24至31日;严格截止≤2010-12-23须人工核实际公开日期。未加该运算符的查询也只按逐篇核验纳入。
结果口径:查询和后续证据核查分开记录;并批结果只按批级陈述,不推断单式归因。未得到全文、只获题录或访问失败均不能记作全文。
字面重复与明显重合复核
不同字面式并不表示全部语义独立。下列是明显重合、同篇追索或近似式的例子,非穷尽语义聚类,故不另编造“独立检索式数”。
Q001、Q045:LT/蓝宝石/SiO2与before:2011同一材料发现主题;前者多acoustic,后者加引号,不是独立技术路线。
Q002、Q068:LN/蓝宝石/silica声波和before:2011主题高度重合,前者多phase velocity。
Q003、Q018、Q021、Q024:同一Nishida1997文献的作者、题名、DOI及PDF追索。
Q009、Q015、Q017、Q019、Q022、Q025:同一Dogheche2005金刚石论文的DOI、题名、作者与站点变体。
Q041、Q048、Q058、Q066、Q067:同一Tomar2001论文的题名、材料、文件类型和DOI追索。
Q084、Q093、Q115:Ruile/GBAW非专利研究发现的近似式,限定词和作者拼写有差异。
Q085、Q096、Q097、Q103:同一Wang2010文献的完整题名、缩略题名、DOI和机构站点追索。
Q086、Q094、Q104、Q113:同一Naumenko2009文献的题名、年份页码及站点追索。
Q092、Q114:Darinskii2001超声速Love波的短题名/完整题名变体。
Q073、Q107:法语LN/蓝宝石/硅石声波主题重合,后一式加入LT的OR扩展,非字面重复。
文献相关查询逐项记录
以下Q001–Q117为统一编号,原组内编号只保留作追溯,避免B01/B001混淆。
Q001 界面材料第1条(原号B01;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:20.094Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:LiTaO3 sapphire SiO2 acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8、Bornand2002、Tomar2001 SiO2-overlayer及后公开研究/专利。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:Bornand全文保留D/R;Tomar为帽层非埋层;其余后公开或非同一模态。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q002 界面材料第2条(原号B02;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:20.094Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:LiNbO3 sapphire silica acoustic wave phase velocity before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8、Bornand2002、Tomar2001 SiO2-overlayer及后公开研究/专利。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:Bornand全文保留D/R;Tomar为帽层非埋层;其余后公开或非同一模态。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q003 界面材料第3条(原号B03;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:20.094Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Nishida" "6077" sapphire acoustic
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8题录及摘要;IOP登录/购买页;作者机构题录。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;没有全文,不以题名证明埋SiO2。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q004 界面材料第4条(原号B04;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:21.110Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Al2O3" "boundary waves" "SiO2"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):本批返回结果采用汇总记录,未能独立归因于本式;未取得新的基准日前完整命中。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q005 界面材料第5条(原号B05;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:21.110Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"acoustic boundary waves" "Yamanouchi" "Satoh"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N3/N4同一研究链;2007 IUS pp2099–2102补充版本;1978/2003/2010界面波引用链。
全文状态:N3及N4与2007 IUS全文已读并保存
筛选/限制:保留有限SiO2+高速AlN覆盖与隔离启示;覆盖不是支撑,Al2O3无独立数值。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q006 界面材料第6条(原号B06;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:21.110Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"1.2936901" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N3/N4同一研究链;2007 IUS pp2099–2102补充版本;1978/2003/2010界面波引用链。
全文状态:N3及N4与2007 IUS全文已读并保存
筛选/限制:保留有限SiO2+高速AlN覆盖与隔离启示;覆盖不是支撑,Al2O3无独立数值。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q007 界面材料第7条(原号B07;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:23.416Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"AlN" "SiO2" "LiNbO3" "thickness" boundary wave
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):本批返回结果采用汇总记录,未能独立归因于本式;未取得新的基准日前完整命中。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q008 界面材料第8条(原号B08;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:23.416Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary wave" "high velocity" "thickness" saturation
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):本批返回结果采用汇总记录,未能独立归因于本式;未取得新的基准日前完整命中。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q009 界面材料第9条(原号B09;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:23.416Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"1.2135383" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7 AIP原摘要、公开日期与Crossref;官方PDF转购买页。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;LN/多晶金刚石/IDT,未核埋SiO2和承载细节。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q010 界面材料第10条(原号B10;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:24.380Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:diamond LiNbO3 SiO2 acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7、Shikata2004模拟、2004学位论文、现代LN/diamond资料。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:SiO2为LN上方温补帽层;学位全文取到但原始公开日待核;不是目标埋层。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q011 界面材料第11条(原号B11;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:24.380Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"silicon carbide" "LiNbO3" "SiO2" acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):本批返回结果采用汇总记录,未能独立归因于本式;未取得新的基准日前完整命中。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q012 界面材料第12条(原号B12;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:24.380Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"silicon nitride" "LiNbO3" acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):多为后公开器件、专利或无关氮化物/存储器;无核验合格完整结构。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q013 界面材料第13条(原号B13;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:25.175Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"DLC" "LiNbO3" "SiO2" acoustic
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):Zhgoon2000 DLC/SiC/YZ-LN论文及后公开综述。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:出版社摘要+正文预览;DLC覆盖层且SiC缓冲非SiO2;截止为R。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q014 界面材料第14条(原号B14;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:25.175Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"SiON" "LiTaO3" acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):多为后公开器件、专利或无关氮化物/存储器;无核验合格完整结构。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q015 界面材料第15条(原号B15;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:27.738Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"High-frequency surface acoustic wave devices based on LiNbO3/diamond multilayered structure"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7 AIP原摘要、公开日期与Crossref;官方PDF转购买页。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;LN/多晶金刚石/IDT,未核埋SiO2和承载细节。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q016 界面材料第16条(原号B16;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:27.738Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Theoretical Study on Surface Acoustic Wave Characteristics" sapphire pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8题录及摘要;IOP登录/购买页;作者机构题录。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;没有全文,不以题名证明埋SiO2。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q017 界面材料第17条(原号B17;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:27.738Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Dogheche" "213503" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7 AIP原摘要、公开日期与Crossref;官方PDF转购买页。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;LN/多晶金刚石/IDT,未核埋SiO2和承载细节。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q018 界面材料第18条(原号B18;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:40.612Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"10.1143/JJAP.36.6077"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8题录及摘要;IOP登录/购买页;作者机构题录。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;没有全文,不以题名证明埋SiO2。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q019 界面材料第19条(原号B19;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:40.612Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"213503" "Dogheche" "hal"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7 AIP原摘要、公开日期与Crossref;官方PDF转购买页。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;LN/多晶金刚石/IDT,未核埋SiO2和承载细节。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q020 界面材料第20条(原号B20;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:40.612Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Yamanouchi" "boundary" "1978" "384"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N3/N4同一研究链;2007 IUS pp2099–2102补充版本;1978/2003/2010界面波引用链。
全文状态:N3及N4与2007 IUS全文已读并保存
筛选/限制:保留有限SiO2+高速AlN覆盖与隔离启示;覆盖不是支撑,Al2O3无独立数值。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q021 界面材料第21条(原号B21;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:12.461Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"LiNbO3 Films on Sapphire Substrates" Nishida abstract
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8题录及摘要;IOP登录/购买页;作者机构题录。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;没有全文,不以题名证明埋SiO2。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q022 界面材料第22条(原号B22;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:12.461Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"High-frequency" "Dogheche" site:pubs.aip.org/apl
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7 AIP原摘要、公开日期与Crossref;官方PDF转购买页。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;LN/多晶金刚石/IDT,未核埋SiO2和承载细节。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q023 界面材料第23条(原号B23;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:12.461Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"LiNbO3/sapphire" "SiO2 over" Tomar
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8、Bornand2002、Tomar2001 SiO2-overlayer及后公开研究/专利。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:Bornand全文保留D/R;Tomar为帽层非埋层;其余后公开或非同一模态。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q024 界面材料第24条(原号B24;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:26.826Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Theoretical Study" "Nishida" "sapphire" "pdf"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8题录及摘要;IOP登录/购买页;作者机构题录。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;没有全文,不以题名证明埋SiO2。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q025 界面材料第25条(原号B25;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:26.826Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Dogheche" "diamond" "213503" -site:tnbgame.com -site:mindat.org -site:researchgate.net
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7 AIP原摘要、公开日期与Crossref;官方PDF转购买页。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:保留L;LN/多晶金刚石/IDT,未核埋SiO2和承载细节。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q026 界面材料第26条(原号B26;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:26.826Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"LiNbO3" "diamond" "2004" "Shikata" theoretical
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7、Shikata2004模拟、2004学位论文、现代LN/diamond资料。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:SiO2为LN上方温补帽层;学位全文取到但原始公开日待核;不是目标埋层。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q027 界面材料第27条(原号B27;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:40.497Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Surface acoustic waves in diamond-like carbon films on LiNbO3"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):Zhgoon2000 DLC/SiC/YZ-LN论文及后公开综述。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:出版社摘要+正文预览;DLC覆盖层且SiC缓冲非SiO2;截止为R。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q028 界面材料第28条(原号B28;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:40.497Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Simulation" "SiO2/c-axis" diamond 2004
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N7、Shikata2004模拟、2004学位论文、现代LN/diamond资料。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:SiO2为LN上方温补帽层;学位全文取到但原始公开日待核;不是目标埋层。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q029 界面材料第29条(原号B29;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:40.497Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"LiNbO3" sapphire silica boundary before:2011 -site:tnbgame.com
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8、Bornand2002、Tomar2001 SiO2-overlayer及后公开研究/专利。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:Bornand全文保留D/R;Tomar为帽层非埋层;其余后公开或非同一模态。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q030 界面材料第30条(原号B30;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:40.497Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Satoh" "boundary" "Al2O3" 2009
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N3/N4同一研究链;2007 IUS pp2099–2102补充版本;1978/2003/2010界面波引用链。
全文状态:N3及N4与2007 IUS全文已读并保存
筛选/限制:保留有限SiO2+高速AlN覆盖与隔离启示;覆盖不是支撑,Al2O3无独立数值。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q031 界面材料第31条(原号B31;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:04.372Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:铌酸锂 蓝宝石 氧化硅 声表面波 2001
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8、Bornand2002、Tomar2001 SiO2-overlayer及后公开研究/专利。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:Bornand全文保留D/R;Tomar为帽层非埋层;其余后公开或非同一模态。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q032 界面材料第32条(原号B32;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:04.372Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"silicon nitride" "LiTaO3" "boundary" before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):多为后公开器件、专利或无关氮化物/存储器;无核验合格完整结构。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q033 界面材料第33条(原号B33;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:04.372Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:弾性境界波 多層薄膜 電極 AlN サファイア
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):本批返回结果采用汇总记录,未能独立归因于本式;未取得新的基准日前完整命中。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q034 界面材料第34条(原号B34;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:04.372Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"SiON" "LiNbO3" "wave" before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):多为后公开器件、专利或无关氮化物/存储器;无核验合格完整结构。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q035 界面材料第35条(原号B35;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:59.053Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"New Piezoelectric Acoustic Boundary Waves" USE 2007 proceedings
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N3/N4同一研究链;2007 IUS pp2099–2102补充版本;1978/2003/2010界面波引用链。
全文状态:N3及N4与2007 IUS全文已读并保存
筛选/限制:保留有限SiO2+高速AlN覆盖与隔离启示;覆盖不是支撑,Al2O3无独立数值。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q036 界面材料第36条(原号B36;P1)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:59.053Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"LiNbO3/sapphire" "zero TCD" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):N8、Bornand2002、Tomar2001 SiO2-overlayer及后公开研究/专利。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:Bornand全文保留D/R;Tomar为帽层非埋层;其余后公开或非同一模态。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q037 界面材料第37条(原号B37;P6)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:59.053Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"silicon oxynitride" "LiNbO3" acoustic 2009
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原日志记录摘要;同批及后续汇总,不主张各命中独立归因本式):多为后公开器件、专利或无关氮化物/存储器;无核验合格完整结构。
全文状态:混合:题录/摘要/排除项
筛选/限制:后公开、层序或材料不合,或仅有摘要;不计完整命中。
后续:各文献取得状态见本报告相应证据卡;关键未取全文需文献馆际获取,已核实验点需同结构计算
Q038 键合支撑第1条(原号B001;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:35Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Characterization of Bonded Wafer" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1题录、N2 Purdue全文、N5待进一步定位;N6未命中全文
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q039 键合支撑第2条(原号B002;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:35Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature Compensated LiTaO3/sapphire" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1题录、N2 Purdue全文、N5待进一步定位;N6未命中全文
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q040 键合支撑第3条(原号B003;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:35Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature Compensated SAW Devices Using Bonded" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1题录、N2 Purdue全文、N5待进一步定位;N6未命中全文
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q041 键合支撑第4条(原号B004;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:35Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature stability of c-axis oriented" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1题录、N2 Purdue全文、N5待进一步定位;N6未命中全文
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q042 键合支撑第5条(原号B005;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:51Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Abbott" "Reduced TCF" pdf 2005
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):IEEE2005摘要集;N5刊期;Tomar作者履历;现代2022三层回溯线索,后公开排除
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q043 键合支撑第6条(原号B006;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:51Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"10.1541/ieejeiss.127.1161"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):IEEE2005摘要集;N5刊期;Tomar作者履历;现代2022三层回溯线索,后公开排除
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q044 键合支撑第7条(原号B007;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:51Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Tomar" "2267" "2001" LiNbO3 pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):IEEE2005摘要集;N5刊期;Tomar作者履历;现代2022三层回溯线索,后公开排除
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q045 键合支撑第8条(原号B008;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:11:51Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiTaO3" "sapphire" "SiO2" before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):IEEE2005摘要集;N5刊期;Tomar作者履历;现代2022三层回溯线索,后公开排除
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q046 键合支撑第9条(原号B009;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:14Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature Compensated SAW Devices" Miura 1161
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):找到N1 H5H_4与N5 J-STAGE全文;N6出版社2001-07-17摘要;后公开不纳主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q047 键合支撑第10条(原号B010;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:14Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Characterization" "Bonded" "RF Filters" Purdue
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):找到N1 H5H_4与N5 J-STAGE全文;N6出版社2001-07-17摘要;后公开不纳主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q048 键合支撑第11条(原号B011;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:14Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature stability" "LiNbO3/SiO2/Si" Tomar
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):找到N1 H5H_4与N5 J-STAGE全文;N6出版社2001-07-17摘要;后公开不纳主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q049 键合支撑第12条(原号B012;P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:14Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiNbO3" sapphire "oxide interlayer" acoustic
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):找到N1 H5H_4与N5 J-STAGE全文;N6出版社2001-07-17摘要;后公开不纳主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q050 键合支撑第13条(原号B013;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:sapphire LiTaO3 layer transfer thinning surface activated bonding before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Solal2002、Pastureaud2007转移Si文献线索;其他后公开或Si/蓝宝石非LN转移,不计完整命中
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筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q051 键合支撑第14条(原号B014;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"piezoelectric film" sapphire "silica layer"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Solal2002、Pastureaud2007转移Si文献线索;其他后公开或Si/蓝宝石非LN转移,不计完整命中
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
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Q052 键合支撑第15条(原号B015;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiNbO3" sapphire "bonding" "2008"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Solal2002、Pastureaud2007转移Si文献线索;其他后公开或Si/蓝宝石非LN转移,不计完整命中
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q053 键合支撑第16条(原号B016;P3)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Oriented Lithium Niobate Layers Transferred" 2002
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Solal2002、Pastureaud2007转移Si文献线索;其他后公开或Si/蓝宝石非LN转移,不计完整命中
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q054 键合支撑第17条(原号B017;P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"bonded wafer" "oxide thickness" SAW spurious
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1相关重复及多数无关/后公开;中文日文未新增目标三层主证据,技术杂志未补参数
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q055 键合支撑第18条(原号B018;P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:サファイア 接合 弾性表面波 中間層 酸化シリコン
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1相关重复及多数无关/后公开;中文日文未新增目标三层主证据,技术杂志未补参数
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q056 键合支撑第19条(原号B019;P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:钽酸锂 蓝宝石 二氧化硅 键合 2010
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1相关重复及多数无关/后公开;中文日文未新增目标三层主证据,技术杂志未补参数
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q057 键合支撑第20条(原号B020;P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:43Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:site:microwavejournal.com sapphire SAW temperature compensated
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N1相关重复及多数无关/后公开;中文日文未新增目标三层主证据,技术杂志未补参数
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q058 键合支撑第21条(原号B021;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:13Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature stability of c-axis oriented" filetype:pdf -site:researchgate.net
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6仍摘要;Pastureaud2007;Hashimoto2007新高价值候选,继续追全文;杂志未给目标主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q059 键合支撑第22条(原号B022;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:13Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"High-Frequency Surface Acoustic Waves Excited" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6仍摘要;Pastureaud2007;Hashimoto2007新高价值候选,继续追全文;杂志未给目标主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q060 键合支撑第23条(原号B023;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:13Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"sapphire" "SiO2" "SAW" "2007" bonded
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6仍摘要;Pastureaud2007;Hashimoto2007新高价值候选,继续追全文;杂志未给目标主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q061 键合支撑第24条(原号B024;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:13Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:site:mwrf.com sapphire SAW temperature
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6仍摘要;Pastureaud2007;Hashimoto2007新高价值候选,继续追全文;杂志未给目标主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q062 键合支撑第25条(原号B025;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:42Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"High-frequency surface acoustic waves excited" "pdf" Pastureaud
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Hashimoto2007 Purdue全文;Pastureaud作者上传线索;N5 J-GLOBAL日期和日文题录
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q063 键合支撑第26条(原号B026;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:42Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Extended FEM/SDA" "2007" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Hashimoto2007 Purdue全文;Pastureaud作者上传线索;N5 J-GLOBAL日期和日文题录
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q064 键合支撑第27条(原号B027;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:42Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiTaO3" "sapphire" "SiO2" "2009"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Hashimoto2007 Purdue全文;Pastureaud作者上传线索;N5 J-GLOBAL日期和日文题录
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q065 键合支撑第28条(原号B028;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:42Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"サファイア" "SAW" "接合" "2007"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):Hashimoto2007 Purdue全文;Pastureaud作者上传线索;N5 J-GLOBAL日期和日文题录
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q066 键合支撑第29条(原号B029;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:57Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"Temperature stability of c-axis" Tomar repository
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6无新增可下载全文;Torchinsky2008仅LT/LT接合,不补目标夹层;现代专利不计
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q067 键合支撑第30条(原号B030;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:57Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"0022-3727/34/15/305" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6无新增可下载全文;Torchinsky2008仅LT/LT接合,不补目标夹层;现代专利不计
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q068 键合支撑第31条(原号B031;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:57Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiNbO3" "sapphire" "silica" acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6无新增可下载全文;Torchinsky2008仅LT/LT接合,不补目标夹层;现代专利不计
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q069 键合支撑第32条(原号B032;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:57Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"lithium tantalate" sapphire bonding "2004" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):N6无新增可下载全文;Torchinsky2008仅LT/LT接合,不补目标夹层;现代专利不计
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q070 键合支撑第33条(原号B033;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:27Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiTaO3/sapphire" "phase velocity"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):2008 Light interaction with leaky acoustic wave radiation全文入口线索待核实;法文多光学论文不纳;无新目标三层主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q071 键合支撑第34条(原号B034;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:27Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiNbO3" sapphire "buried" SiO2 acoustic before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):2008 Light interaction with leaky acoustic wave radiation全文入口线索待核实;法文多光学论文不纳;无新目标三层主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q072 键合支撑第35条(原号B035;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:27Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"LiTaO3" sapphire "BAW velocities"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):2008 Light interaction with leaky acoustic wave radiation全文入口线索待核实;法文多光学论文不纳;无新目标三层主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q073 键合支撑第36条(原号B036;P1/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:27Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:"niobate de lithium" saphir silice ondes acoustiques
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):2008 Light interaction with leaky acoustic wave radiation全文入口线索待核实;法文多光学论文不纳;无新目标三层主证据
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q074 键合支撑第37条(原号B037;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:56Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:铌酸锂 蓝宝石 二氧化硅 声表面波 夹层
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):中文多现代专利/标准排除;日文2011-05-30新SAB新闻后公开排除;韩文无有效目标非专利候选
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q075 键合支撑第38条(原号B038;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:56Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:サファイア 接合 弾性表面波 酸化シリコン before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):中文多现代专利/标准排除;日文2011-05-30新SAB新闻后公开排除;韩文无有效目标非专利候选
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q076 键合支撑第39条(原号B039;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:56Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:리튬 니오베이트 사파이어 이산화규소 탄성파
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):中文多现代专利/标准排除;日文2011-05-30新SAB新闻后公开排除;韩文无有效目标非专利候选
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q077 键合支撑第40条(原号B040;P1/P3/P5)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:56Z。同批工具返回时刻,四查询并批执行。
原查询式:표면탄성파 사파이어 다층 접합 before:2011
过滤:原式含before:2011,仅为发现过滤,未严格排除2010-12-24至31日。
结果(原记录注明本批返回结果合并,不能逐式归因):中文多现代专利/标准排除;日文2011-05-30新SAB新闻后公开排除;韩文无有效目标非专利候选
全文状态:以本报告相应证据卡逐篇实取状态为准
筛选/限制:仅保留基准日前原始文献,后公开/专利/无关项排除;摘要不升全文
后续:见本报告相应证据卡及剩余工作
Q078 模态速度第1条(原号MODE-Q01;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:04.985Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"guided bulk acoustic wave" Ruile Roesler Naumenko
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回GBAW专利与Bayreuth机构题录,未据此新增目标非专利全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:主要命中专利与Bayreuth ZnO/Si题录;专利只解释D1不计论文,ZnO/Si无目标材料未作直接证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q079 模态速度第2条(原号MODE-Q02;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:05.829Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary wave" anisotropic nonleaky Stoneley piezoelectric velocity
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回多层薄膜/电极/压电基底界面波论文和多件专利;论文结构与用途由证据卡另核。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q080 模态速度第3条(原号MODE-Q03;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:07.138Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:LiNbO3 SiO2 copper gold tungsten "boundary" wave velocity Yamanouchi
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Hashimoto2008原PDF、边界波引用链及后公开论文;保留原始研究链,后公开仅作发现。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:原始论文依证据卡逐篇筛选;专利只作术语和来源链,非技术及晚于基准日结果不纳主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q081 模态速度第4条(原号MODE-Q04;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:07.897Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary acoustic" "electrode thickness" 2005
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回USE会议材料、RF Filter using Boundary Acoustic Wave线索及专利;不将专利计入非专利证据。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q082 模态速度第5条(原号MODE-Q05;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:08.766Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:GBAW "wavelength" "period"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回一般周期、波长教学资料等噪声;未新增D1波长定义原始依据。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:原始论文依证据卡逐篇筛选;专利只作术语和来源链,非技术及晚于基准日结果不纳主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q083 模态速度第6条(原号MODE-Q06;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:09.592Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary wave" "leaky" "Naumenko"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Naumenko2009作者来源及后续多层/周期栅研究链。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Naumenko2009原始作者全文;2010晚期公开日期未验证,2011仅回溯;均匀Cu膜非IDT器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q084 模态速度第7条(原号MODE-Q07;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:18Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Ruile" "guided" acoustic waves 2006 2007 -site:patents.google.com -patent
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q084–Q086:GBAW/Ruile线索、Wang2010与Naumenko2009;原日志未保留逐式归因,后续取全文状态见模式证据卡。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:主要命中专利与Bayreuth ZnO/Si题录;专利只解释D1不计论文,ZnO/Si无目标材料未作直接证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q085 模态速度第8条(原号MODE-Q08;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:18Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Change in piezoelectric boundary acoustic wave characteristics"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q084–Q086:GBAW/Ruile线索、Wang2010与Naumenko2009;原日志未保留逐式归因,后续取全文状态见模式证据卡。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Wang2010正文和图表,原刊Jan2010核实;2009会议版同链去重;半无限SiO2不作有限膜。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q086 模态速度第9条(原号MODE-Q09;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:18Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Transformation of surface acoustic waves into boundary waves" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q084–Q086:GBAW/Ruile线索、Wang2010与Naumenko2009;原日志未保留逐式归因,后续取全文状态见模式证据卡。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Naumenko2009原始作者全文;2010晚期公开日期未验证,2011仅回溯;均匀Cu膜非IDT器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q087 模态速度第10条(原号MODE-Q10;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:29.805Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"guided bulk acoustic" Konopka dissertation 2008
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Bayreuth ZnO/Si相关机构题录与GBAW专利;未取得目标器件论文全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:主要命中专利与Bayreuth ZnO/Si题录;专利只解释D1不计论文,ZnO/Si无目标材料未作直接证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q088 模态速度第11条(原号MODE-Q11;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:30.758Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Acoustic boundary waves propagating along a thin layer"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回早期界面波引用、LN/Si界面激励线索、后公开结构和专利;无目标完整命中确认。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q089 模态速度第12条(原号MODE-Q12;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:31.861Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary waves" "tungsten" Yamanouchi
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Wang2009金属栅研究链、其他器件论文与专利。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q090 模态速度第13条(原号MODE-Q13;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:32.622Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary waves" "gold" Yamanouchi
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回边界波专利与无关页面;未确认目标结构新原文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q091 模态速度第14条(原号MODE-Q14;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:33.405Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary wave" "period" "wavelength" Yamanouchi
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回海啸大气边界波等异义结果;不作为本案器件证据。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q092 模态速度第15条(原号MODE-Q15;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:34.232Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"supersonic Love waves" 2001
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Darinskii/Weihnacht2001超声速Love波题录/摘要,未取全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Darinskii2001题录/摘要作各向异性反例线索;未取得全文,不作全文主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q093 模态速度第16条(原号MODE-Q16;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:35.094Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"guided bulk acoustic" journal Ruile -patent -site:patents.google.com
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):排除Google Patents后仍返回其他专利站与相关题录;未得目标原始论文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:主要命中专利与Bayreuth ZnO/Si题录;专利只解释D1不计论文,ZnO/Si无目标材料未作直接证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q094 模态速度第17条(原号MODE-Q17;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:44Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Naumenko" "2009" "Transformation" "2635" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q094–Q096:Naumenko2009、Yamanouchi研究链与Wang2010 DOI定位;原日志未保留逐式归因。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Naumenko2009原始作者全文;2010晚期公开日期未验证,2011仅回溯;均匀Cu膜非IDT器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q095 模态速度第18条(原号MODE-Q18;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:44Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Yamanouchi" "boundary waves" "2004" metal
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q094–Q096:Naumenko2009、Yamanouchi研究链与Wang2010 DOI定位;原日志未保留逐式归因。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q096 模态速度第19条(原号MODE-Q19;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:12:44Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Change in Piezoelectric Boundary" "doi"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q094–Q096:Naumenko2009、Yamanouchi研究链与Wang2010 DOI定位;原日志未保留逐式归因。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Wang2010正文和图表,原刊Jan2010核实;2009会议版同链去重;半无限SiO2不作有限膜。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q097 模态速度第20条(原号MODE-Q20;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:25.214Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"10.1109/TUFFC.2010.1373" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Wang2010 PubMed、DOI及作者论文来源;刊期2010年1月核实。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Wang2010正文和图表,原刊Jan2010核实;2009会议版同链去重;半无限SiO2不作有限膜。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q098 模态速度第21条(原号MODE-Q21;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:25.979Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Analysis of highly piezoelectric non-leaky" Naumenko
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Naumenko厚金属膜/栅非漏SAW研究线索;与后续2009转模研究区分。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Naumenko2009原始作者全文;2010晚期公开日期未验证,2011仅回溯;均匀Cu膜非IDT器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q099 模态速度第22条(原号MODE-Q22;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:27.103Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"boundary" wave "leakage" "Yamanouchi" 2007
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回含泄漏等词的异义/后公开资料;原日志未确认新增完整命中。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:原始论文依证据卡逐篇筛选;专利只作术语和来源链,非技术及晚于基准日结果不纳主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q100 模态速度第23条(原号MODE-Q23;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:28.406Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"GBAW" "pitch" -site:patents.google.com
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回CPC界面波/GBAW术语分类等材料;不能据其证明基准日前D1指距关系。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:原始论文依证据卡逐篇筛选;专利只作术语和来源链,非技术及晚于基准日结果不纳主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q101 模态速度第24条(原号MODE-Q24;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:13:29.330Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Love waves" "anisotropic" "limiting velocity"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回各向异性层/半空间Love波理论研究链;进一步核Collet/Destrade2006全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Collet/Destrade2006理论全文,限制无条件Love类推;Ge/KNbO3非目标器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q102 模态速度第25条(原号MODE-Q25;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:12Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Piezoelectric love waves on rotated" Destrade pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q102–Q104:Collet/Destrade2006、Wang及Naumenko作者/机构来源定位;原日志未保留逐式归因。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Collet/Destrade2006理论全文,限制无条件Love类推;Ge/KNbO3非目标器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q103 模态速度第26条(原号MODE-Q26;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:12Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Change in piezoelectric boundary" site:chiba-u.jp
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q102–Q104:Collet/Destrade2006、Wang及Naumenko作者/机构来源定位;原日志未保留逐式归因。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Wang2010正文和图表,原刊Jan2010核实;2009会议版同链去重;半无限SiO2不作有限膜。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q104 模态速度第27条(原号MODE-Q27;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:12Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Transformation of surface acoustic" site:saw-filters.ru
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(并批综合结果,不能逐式归因):同批Q102–Q104:Collet/Destrade2006、Wang及Naumenko作者/机构来源定位;原日志未保留逐式归因。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Naumenko2009原始作者全文;2010晚期公开日期未验证,2011仅回溯;均匀Cu膜非IDT器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q105 模态速度第28条(原号MODE-Q28;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:55.792Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:("geführte Volumenwelle" OR "akustische Grenzflächenwelle") (Saphir OR Aluminiumoxid)
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):德语式返回蓝宝石材料商页、一般超声及专利等,无新增目标原始论文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:德语式无新增目标结构原始论文;材料商页、一般超声、专利、非声学文献排除。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q106 模态速度第29条(原号MODE-Q29;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:56.670Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:LiTaO3 LiNbO3 SiO2 Phasengeschwindigkeit Schichtdicke Trägersubstrat
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):德语式发现LT/SiO2传感博士线索,无指定外侧支撑,不作为直接证据。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:德语式发现LT/SiO2传感博士线索,但无指定外侧支撑;未作为直接证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q107 模态速度第30条(原号MODE-Q30;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:57.579Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:("niobate de lithium" OR "tantalate de lithium") saphir silice ondes acoustiques
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):法语式返回一般材料/光声、标准及后公开研究,无新增基准日前目标结构证据。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:法语式返回一般材料/光声及后公开论文,无新增基准日前同结构证据;排除百科和2019+。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q108 模态速度第31条(原号MODE-Q31;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:14:58.592Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:("onde de Love" OR "onde acoustique guidée") "vitesse de phase" substrat piézoélectrique
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):法语式返回Bragg导波论文线索和一般教学材料;未证明目标结构。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:法语式返回Bragg导波论文线索及一般教学材料;未证明目标结构,教学题/后公开排除。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q109 模态速度第32条(原号MODE-Q32;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:40.057Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Highly piezoelectric shear-horizontal-type boundary waves"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Camou2003机构PDF链接、Hashimoto2008及LN/Si界面波研究;Camou链接403,未作已得全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:按全文结构筛选保留N10至N15;与目标无关和专利未计非专利命中。极化/有限层条件见本报告相应证据卡。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q110 模态速度第33条(原号MODE-Q33;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:41.266Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Piezoelectric boundary acoustic waves" "underlying physics" pdf
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Hashimoto2008原PDF、摘要及Wang同链资料;区分出现阈与非漏阈。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Hashimoto2008原PDF,区分出现阈0.035与非漏阈0.085,及占空比耦合;和Wang同链。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q111 模态速度第34条(原号MODE-Q34;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:42.152Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Full-wave analysis" "2009.1103"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Wang2009题录及作者全文网页;本轮未下载PDF,不增加PDF全文数。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:Wang2009原始论文全文网页可见;与2010研究连续,未下载PDF,保留引用链不增加本轮PDF全文数。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q112 模态速度第35条(原号MODE-Q35;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:15:42.992Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Theoretical and experimental investigation of guided acoustic waves in the GHz range"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回作者资料页、题录及后公开资料;未确认目标题名原始全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:原始论文依证据卡逐篇筛选;专利只作术语和来源链,非技术及晚于基准日结果不纳主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q113 模态速度第36条(原号MODE-Q36;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:16:20.109Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Naumenko" "Transformation of Surface" "pdf" "2009" -site:patents.google.com
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Naumenko2009作者全文来源及后续研究链;后公开不纳主证据。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Naumenko2009原始作者全文;2010晚期公开日期未验证,2011仅回溯;均匀Cu膜非IDT器件。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q114 模态速度第37条(原号MODE-Q37;P2)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:16:21.200Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"supersonic Love waves in strong piezoelectrics"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Darinskii/Weihnacht2001题录/摘要及后续理论文献;未得原全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:保留Darinskii2001题录/摘要作各向异性反例线索;未取得全文,不作全文主证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q115 模态速度第38条(原号MODE-Q38;P4)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:16:22.296Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Ruile" "Rösler" "guided" symposium -patent -site:patents.google.com
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回Bayreuth机构题录及JASA2008卷册等;未得目标GBAW论文全文。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:主要命中专利与Bayreuth ZnO/Si题录;专利只解释D1不计论文,ZnO/Si无目标材料未作直接证据。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q116 模态速度第39条(原号MODE-Q39;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:16:23.143Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"DE102005055871" "Wellenlänge"
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回既有非原始检索网站;不采用其推论,D1另核原始PDF,未见指距等式。
全文状态:逐候选见本报告相应证据卡;已取得PDF者6篇非专利及D1,另有摘要/题录和失败状态,不统一声称全文。
筛选/限制:返回既有非原始检索网页,不采用其推论;D1已自行核原PDF,未见IDT指距等式。
后续:已追踪相关引用链;未取得原件及剩余问题见模式证据卡。
Q117 模态速度第40条(原号MODE-Q40;P7)
平台:公开网络索引检索;UTC:2026-10-23T03:21:11Z。原日志记录时刻;不扩充未记录的开始/结束时间。
原查询式:"Cavityless Wafer Level Packaging of SAW Devices" DOI
过滤:无独立严格日期过滤;查询内年份/站点/文件类型保持原式。
结果(单式返回提炼;全文取得与技术判断属后续核验):返回2007 IEEE官方摘要集、论文集目录和Bhattacharjee原PDF,核得DOI 10.1109/ULTSYM.2007.474;2025综述仅发现用。
全文状态:原PDF已下载
筛选/限制:确认N10 DOI10.1109/ULTSYM.2007.474、IEEE官方摘要集、2007论文集目录1886;2025综述仅发现用,未计主证据。
后续:补刊期证据到证据卡
法律方法核验查询(另列,不计117次文献查询)
4条均为2026-10-23公开网络索引的CNIPA站点限定查询;原记录未保存精确UTC时刻,不补造。未施加本案文献日期截止,此处核对法律版本和方法而非技术现有技术。
L01 原查询式:site:cnipa.gov.cn 专利法 第二十二条 创造性 现有技术 2020
L02 原查询式:site:cnipa.gov.cn 2025 专利审查指南 修改 2026 1月1日 创造性
L03 原查询式:site:cnipa.gov.cn 中华人民共和国专利法 2008 第二十二条
L04 原查询式:site:cnipa.gov.cn 专利审查指南 直接地 毫无疑义 隐含 公开 新颖性
上述4式的核验结果按组报告,不冒充单式命中:核对2008与2020专利法第22条、2023指南及2025第84号令(2026-01-01施行),并查看CNIPA对对比文件隐含公开的解释。筛选:仅采用官方原文;法律方法说明不替代本案个案法律意见。后续:按具体程序和适用版本由专业人员复核。
原文核验来源:
https://www.cnipa.gov.cn/art/2015/9/2/art_97_28193.html
https://www.cnipa.gov.cn/art/2020/11/23/art_97_155167.html
https://www.cnipa.gov.cn/art/2023/12/21/art_99_189202.html
https://www.cnipa.gov.cn/art/2025/11/14/art_99_202568.html
https://www.cnipa.gov.cn/art/2019/5/9/art_2649_166810.html
文献计数与统一编号对照
编号主表共19篇非专利文献,其中14篇已取得并核读全文,5篇仅有题录、摘要或正文预览。该数与117次查询不是同一统计单位,不表示19个完整命中。
全文:N1、N2、N3、N4、N5、N9、N10、N11、N12、N13、N14、N15、N16、N17。
有限取得状态:N6、N7、N8、N18、N19。
N3/N4/N16属同一研究链;N2/N5连续;N11/N13连续,不能将各版本数当作彼此完全独立路线数。Majjad2005虽重复取得,仅计N12一篇。Shikata博士论文只检查部分章节且公开时间未核,不计全文主证据;D1/T1专利不计非专利数。