2012-09-27_发明申请_US20120241828A1 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF_+++D_p+++.docx

**本次调用的模型名称**:DeepSeek最新版本模型

**对比文件名称**:2012-09-27_发明申请_US20120241828A1 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

**目标专利名称**:使用串联磁性隧道结的多位自旋转移矩磁阻随机存取存储器STT-MRAM(CN107430883B)

## 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用公开性论述
**技术特征A**:包括:具有第一读取余裕的第一磁性隧道结(MTJ)元件<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件图3及相应描述:“a unit memory cell includes a plurality of MTJs 210 and a transistor 220, which is coupled to a bit line 230, a source line 240, and a word line 250. The plural MTJs 210 are commonly connected to a single transistor 220.”(第[0034]段)**论述**:对比文件公开了一个存储单元包括多个MTJ和一个晶体管,这些MTJ“commonly connected to a single transistor”(共同连接到一个晶体管)。结合说明书[0004]-[0006]段对MTJ基本结构的描述,本领域技术人员可以理解这些MTJ元件各自具有读取余裕(即电阻变化ΔR)。因此,对比文件公开了具有读取余裕的多个MTJ元件。然而,目标专利的MTJ元件是**串联**连接(参见说明书[0030]段,第一MTJ元件耦合至位线,第二MTJ元件耦合至源线,存取晶体管耦合在它们之间)。对比文件图3及描述未明确多个MTJ 210之间的具体连接关系,但根据“commonly connected to a single transistor”的表述以及图3所示的电路布局(所有MTJ都连接到同一节点),结合本领域普通知识,最合理的理解是这些MTJ是**并联**连接,而非串联。因此,对比文件未公开一个作为“第一MTJ元件”的特定MTJ。技术特征A未被公开。
**技术特征B**:具有第二读取余裕的第二MTJ元件,所述第一读取余裕大于所述第二读取余裕的两倍<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件图4及相应描述:“over a lower electrode, a plurality of MTJs, each being a concentrically aligned and having a circle shape, are formed.”(第[0038]段)**论述**:对比文件公开了多个MTJ元件是同心排列的(concentrically aligned)。同心排列通常意味着这些MTJ具有不同的尺寸(例如,内圈的MTJ较小,外圈的MTJ较大)。MTJ的尺寸与其隧穿电阻、热稳定性(数据保持力)和翻转电流(与读取余裕相关)等参数有关。然而,对比文件完全没有提及任何关于这些MTJ元件的“读取余裕”(read margin)或其具体数值关系。目标专利说明书[0030]段明确将读取余裕(ΔR)与MTJ的大小关联,并强调第一读取余裕大于第二读取余裕的两倍。对比文件既未公开“读取余裕”这一概念,也未公开任何两个MTJ的读取余裕之间存在“大于两倍”的特定数量关系。本领域技术人员无法从对比文件中毫无疑义地得出或合理推断出该技术特征。技术特征B未被公开。
**技术特征C**:以及耦合在所述第一MTJ元件与所述第二MTJ元件之间的存取晶体管<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件图3及相应描述:“a unit memory cell includes a plurality of MTJs 210 and a transistor 220... The plural MTJs 210 are commonly connected to a single transistor 220.”(第[0034]段)**论述**:对比文件公开了多个MTJ 210共同连接到一个晶体管220。然而,如特征A所述,这种“共同连接”最可能被理解为**并联**连接,即所有MTJ的一端(例如上电极)共同连接到晶体管的漏极(或源极),另一端(下电极)共同连接到源线(或位线)。目标专利要求保护的是存取晶体管“耦合在所述第一MTJ元件与所述第二MTJ元件之间”,这是一种**串联**结构,即电流路径依次为:位线-第一MTJ-存取晶体管-第二MTJ-源线(参见说明书[0030]段和图1)。这两种连接方式(并联 vs. 串联)在电路拓扑、读写操作原理和电流路径上是根本不同的。对比文件没有提供任何信息表明其MTJ是串联连接的,因此没有公开一个“耦合在……之间”的存取晶体管。技术特征C未被公开。
**技术特征D**:其中所述存取晶体管的栅极耦合至字线<br>**直接公开**对比文件图3及相应描述:“a transistor 220, which is coupled to a bit line 230, a source line 240, and a word line 250.”(第[0034]段)**论述**:对比文件图3明确示出了晶体管220连接到位线230、源线240和字线250。结合本领域公知常识,晶体管的栅极(gate)用于接收控制信号以导通或关断晶体管,而字线(word line)正是用于提供这种行选择信号的线路。因此,本领域技术人员能够毫无疑义地从对比文件的附图和文字描述中得出,晶体管220的栅极耦合至字线250。这与技术特征D在结构和作用上完全相同。技术特征D被直接公开。
**技术特征E**:其中所述第一MTJ元件、所述第二MTJ元件和所述存取晶体管形成多位自旋转移矩磁阻随机存取存储器(STT-MRAM)存储器单元<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件摘要:“a semiconductor memory device includes a plurality of magnetic tunnel junction elements configured to store data; and a transistor commonly connected to the plurality of magnetic tunnel junctions...” 以及说明书第[0006]段描述了STT技术。**论述**:对比文件公开了一种包括多个MTJ和一个晶体管的半导体存储器件,并且在其背景技术部分([0006]段)描述了使用自旋转移矩(STT)技术进行写入。因此,对比文件公开了由多个MTJ和一个晶体管构成的、可能采用STT技术的MRAM单元。然而,如特征A和C所述,目标专利的单元是**串联**多位STT-MRAM单元,而对比文件公开的是**并联**多位MTJ单元。这两种单元的结构本质不同。虽然它们都属于“多位MTJ存储器单元”的广义范畴,但具体到权利要求限定的“第一MTJ元件、所述第二MTJ元件和所述存取晶体管形成”的**特定串联结构**,对比文件并未公开。因此,技术特征E未被公开。
**技术特征F**:以及被配置成将所述STT-MRAM存储器单元的感测出的值与第二值进行比较的电路系统,所述第二值基于所述感测出的值与第一值的比较<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件说明书第[0034]段:“in a read operation, a read current passing through the plurality of MTJs 210 flows between the bit line 230 and the source line 240 so that logical data can be recognized based on a voltage gap between the bit line 230 and the source line 240.”**论述**:对比文件仅提及在读取操作中,通过感测位线与源线之间的电压差(voltage gap)来识别逻辑数据。这是一种常规的感测方法。对比文件完全没有提及任何关于“将感测出的值与第一值比较”、“基于该比较选择第二值”、再进行“与第二值比较”的复杂电路系统或读取方法。目标专利说明书[0045]-[0046]段及图4-5D详细描述了这种用于确定第二MTJ元件电阻状态的双比较方法。该特征是实现目标专利特定读取方案(尤其是对于具有较小读取余裕的第二MTJ)的关键。对比文件对此没有任何公开或暗示。技术特征F未被公开。
**技术特征G**:其中所述第一值是与所述第二MTJ元件相关联的第一参考电平<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及任何与特定MTJ元件相关联的参考电平。**论述**:对比文件的读取描述非常简略,仅提到根据电压差识别数据。它没有公开任何用于比较的“参考电平”,更没有区分与不同MTJ元件相关联的参考电平。目标专利的特征G明确限定了第一值是与“第二MTJ元件”相关联的“第一参考电平”。这是一个非常具体的技术特征。对比文件完全没有涉及相关内容。技术特征G未被公开。
**技术特征H**:并且所述第二值是与所述第二MTJ元件相关联的第二参考电平<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及任何与特定MTJ元件相关联的参考电平。**论述**:同特征G,对比文件未公开任何参考电平的概念,更不用说为同一个MTJ元件(第二MTJ元件)设置两个不同的参考电平(第一参考电平和第二参考电平)。技术特征H未被公开。
**技术特征I**:以及其中所述第一参考电平和所述第二参考电平是从平均参考电平值推导的<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及参考电平及其推导方式。**论述**:对比文件完全没有涉及参考电平的生成或确定方式。目标专利说明书[0047]段描述了参考电平可以从平均参考电平值推导,该平均值从初始化设备确定或由其它MTJ结构确定。这是一个具体的参考电平生成技术。对比文件对此没有任何公开。技术特征I未被公开。
**技术特征J**:所述平均参考电平值从初始化设备确定或者由其它MTJ结构确定。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及参考电平及其推导方式。**论述**:这是对特征I中“推导”方式的具体化。如前所述,对比文件完全未涉及该主题。技术特征J未被公开。
**技术特征K**:其特征在于,进一步包括,耦合至所述第一MTJ元件的位线以及耦合至所述第二MTJ元件的源线,其中所述电路系统被进一步配置成基于所述感测出的值与所述第二值的关系来确定所述第二MTJ元件的电阻状态。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件图3及相应描述:“a transistor 220, which is coupled to a bit line 230, a source line 240, and a word line 250.”(第[0034]段)**论述**:对比文件公开了位线(230)和源线(240)连接到晶体管220。然而,并未具体说明位线和源线分别连接到哪个MTJ元件。更重要的是,目标专利该特征的关键在于“电路系统被进一步配置成基于所述感测出的值与所述第二值的关系来确定所述第二MTJ元件的电阻状态”,这指的是前文特征F所述的双比较操作。如特征F所述,对比文件未公开这种特定的电路系统和确定方法。因此,技术特征K的整体方案未被公开。
**技术特征L**:其特征在于,所述存取晶体管被配置成响应于字线信号而将所述第一MTJ元件耦合至所述第二MTJ元件。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件图3及相应描述:“a transistor 220, which is coupled to ... a word line 250.”(第[0034]段)**论述**:对比文件公开了晶体管220连接到字线250,这意味着晶体管可以响应于字线信号而导通或关断。然而,该特征限定了晶体管的作用是“将所述第一MTJ元件耦合至所述第二MTJ元件”,这再次强调了目标专利的**串联**结构。如特征C所述,对比文件的晶体管是用于将多个**并联**的MTJ共同连接到电流路径,而非用于耦合两个串联的MTJ。因此,对比文件公开了晶体管响应字线信号,但未公开其用于实现“将第一MTJ耦合至第二MTJ”这一特定串联连接功能。技术特征L未被公开。
**技术特征M**:其特征在于,所述存取晶体管是n型金属氧化物半导体(NMOS)晶体管。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未具体说明晶体管220的类型。**论述**:对比文件图3和文字描述均未指明晶体管220是NMOS、PMOS还是其他类型。虽然在实际的CMOS工艺中,存取晶体管常用NMOS,但这属于本领域公知常识,而非对比文件本身公开的内容。因此,技术特征M未被对比文件直接或隐含公开。
**技术特征N**:其特征在于,所述存取晶体管是p型金属氧化物半导体(PMOS)晶体管。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未具体说明晶体管220的类型。**论述**:同特征M,对比文件未公开晶体管的类型。技术特征N未被公开。
**技术特征O**:其特征在于,所述第一MTJ元件具有第一数据保持时间,并且所述第二MTJ元件具有比所述第一数据保持时间长的第二数据保持时间。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及任何关于MTJ元件“数据保持时间”的差异。**论述**:目标专利说明书[0036]-[0037]段将数据保持时间(与能量势垒Eb相关)与MTJ大小关联。对比文件虽然公开了MTJ具有不同尺寸(同心排列),但从未提及“数据保持时间”这一性能参数,更没有公开两个MTJ之间数据保持时间的比较关系。技术特征O未被公开。
**技术特征P**:其特征在于,所述第一MTJ元件具有第一大小,并且所述第二MTJ元件具有大于所述第一大小的两倍的第二大小。<br>**隐含公开**对比文件图4及相应描述:“over a lower electrode, a plurality of MTJs, each being a concentrically aligned and having a circle shape, are formed.”(第[0038]段);结合制造方法图2A-2H,特别是图2H,形成了两个同心圆环状的MTJ。**论述**:对比文件公开了多个MTJ是同心排列的圆形结构(图4)。根据其制造方法(图2A-2H),特别是最终形成的结构(图2H,图4),内圈的MTJ和外圈的MTJ必然具有不同的大小(尺寸)。在平面视图中,对于同心圆环,外圈圆环的直径(以及相应的面积)必然大于内圈圆环。虽然对比文件没有明确给出“第二大小大于第一大小的两倍”这一精确的数值关系,但本领域技术人员可以理解,在制造这种同心结构时,通过控制工艺参数(如初始光刻胶图形尺寸、间隔层厚度等),完全有可能且容易使外圈MTJ的尺寸(例如直径、面积)设计为大于内圈MTJ尺寸的两倍,以满足不同的电学特性需求(如对比文件提到的“different tunneling characteristics”)。这种尺寸差异是同心结构固有的、可合理控制的设计自由度。因此,本领域技术人员从对比文件公开的“同心排列的不同尺寸的MTJ”出发,能够合理推断出可以制造出其中第二MTJ(外圈)大小大于第一MTJ(内圈)大小两倍的结构。技术特征P被隐含公开。
**技术特征Q**:其特征在于,所述第二MTJ元件与由所述第一值指示的第一参考电平和由所述第二值指示的第二参考电平相关联,并且其中所述第一MTJ元件与一个参考电平相关联。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及任何参考电平。**论述**:该特征涉及为不同MTJ设置不同数量的参考电平这一具体读取方案。如特征G、H所述,对比文件完全没有公开任何参考电平的概念,更不用说这种为串联结构中不同MTJ分配不同数量参考电平的特定配置。技术特征Q未被公开。
**技术特征R**:其特征在于,进一步包括其中集成有所述第一MTJ元件、所述第二MTJ元件和所述存取晶体管的装置,所述装置选自移动电话、平板设备、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、通信设备、个人数字助理(PDA)、固定位置数据单元、以及计算机。<br>**未被直接公开或隐含公开**对比文件未提及将该存储器集成到任何具体的电子装置中。**论述**:对比文件仅描述了一种半导体存储器器件及其制造方法,属于器件层面。它没有公开或暗示将该存储器应用于任何具体的终端产品或设备,如移动电话、计算机等。技术特征R未被公开。

## 结论

根据对对比文件US20120241828A1的详细分析,其仅直接公开了目标专利权利要求中的技术特征D(存取晶体管栅极耦合至字线),并隐含公开了技术特征P(第二MTJ元件大小大于第一MTJ元件大小的两倍)。其余技术特征(A、B、C、E、F、G、H、I、J、K、L、M、N、O、Q、R)均未被对比文件直接或隐含公开。

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权利要求与技术特征
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