对比文件名称:JP2003207601A_Description_20260218_1611
目标专利名称:179亚微米晶片对准CN107850759B
模型名称:DeepSeek-R1
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| 技术特征A:《直接公开》 | “...a large number of first and second lenses 14 and 15 are formed in an orderly manner by an etching technique...on the glass wafers 31 and 32...” (段落 [0049]) | 对比文件公开了在玻璃晶圆(glass wafers)上通过蚀刻技术有序地形成大量第一和第二透镜(lenses),这构成了“透镜阵列”。该玻璃晶圆是透明的,因此公开了“第一透明晶片,其包括第一透镜阵列”。该透镜阵列在对比文件中用于构成物镜,属于其核心光学部件。 |
| 技术特征B:《直接公开》 | “...the first and second lenses 14 and 15...are arranged so as to face each other on the same optical axis.” (段落 [0044]); “...the glass wafers 31 and 32 are aligned and bonded...” (段落 [0049]) | 对比文件明确公开了第一透镜和第二透镜被布置成在相同光轴上彼此面对,这必然意味着第二透镜阵列中的每个透镜与第一透镜阵列中的对应透镜在光轴上配对,形成“透镜对”。结合晶圆对准和接合的上下文,该透镜对共同构成一个完整的物镜。 |
| 技术特征C:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件仅描述了将两个具有透镜的玻璃晶圆直接对准和接合(段落[0049]),或通过粘合剂接合透镜(段落[0022])。在整个文件中,均未提及在两个透镜晶圆之间存在一个独立的“隔片晶片”,该隔片晶片包含“开口阵列”,且每个透镜对中的透镜延伸到该开口中。对比文件的结构是透镜直接相对或通过粘合剂接合,中间没有隔片结构。 |
| 技术特征D:未公开 | “...aligned and bonded using the alignment marks 33 and 34...” (段落 [0049]) | 对比文件提到了使用“对准标记(alignment marks)”33和34来对准晶圆。然而,说明书和附图均未具体描述这些对准标记的具体形式。目标专利的“第一组同心环带”是特定类型的对准标记,用于产生特定的光学效应(波纹效应)。对比文件仅一般性地公开了“对准标记”,但未公开其具体为“同心环带”结构,更未公开其“定位于所述第一透镜阵列中的第一透镜周围”。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征E:未公开 | “...aligned and bonded using the alignment marks 33 and 34...” (段落 [0049]) | 同上,对比文件公开了使用对准标记进行晶圆对准。但是,并未公开第二对准标记是“与第一组同心环带互补”的“第二组同心环带”,也未公开其“定位于所述第二透镜阵列中的第二透镜周围”。互补的同心环带是实现特定波纹对准方法的关键,对比文件未涉及此内容。 |
| 技术特征F:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件完全没有提及任何关于“同心环带”的结构,更没有描述环带被定大小和定位以在光学对准时产生“实心环带”、在未对准时产生“波纹效应”的功能特性。这是目标专利特有的利用莫尔条纹进行高精度视觉对准的技术手段,在对比文件中没有任何记载或暗示。 |
| 技术特征G:《直接公开》 | “...the first and second lenses 14 and 15...are arranged so as to face each other on the same optical axis.” (段落 [0044]); “...a hemispherical concave portion 22 is formed...The third lens 23 is formed...on the same optical axis.” (段落 [0045]) | 对比文件多次描述了多个透镜(如第一、第二透镜,甚至第三透镜)被布置在“相同的光轴(same optical axis)”上。当多个透镜在光轴上对准并组合时,它们自然形成了一个“具有光轴的透镜堆叠”。在对比文件的图2、3、4所示实施例中,由第一透镜、第二透镜(以及可能的周围结构)组成的物镜即构成了这样的透镜堆叠。 |
| 技术特征H:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件的核心是使用光催化涂层防雾以及晶圆级制造工艺。其中未提及任何“分束器层(beam splitter layer)”,更未提及将其设置于两个对准标记平面之间的光学路径中心点处。分束器层是目标专利实现同时聚焦观测两个分离标记的关键部件,在对比文件中完全缺失。 |
| 技术特征I:未公开 | 无相关内容。 | 由于对比文件未公开“同心环带”这一对准标记形式,因此自然也未能公开其具体的物理尺寸,如“5μm的线厚度”。 |
| 技术特征J:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件公开了由两个透镜(图2)或三个透镜(图3)构成的物镜。然而,对于“第三透明晶片,其包含第三透镜阵列”这一特征,对比文件中的第三透镜23(图3)是嵌入在第二透镜晶圆基板13的凹部22中的高折射率材料形成的(段落[0045]),它并非一个独立的、包含透镜阵列的“第三透明晶片”。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征K:未公开 | 无相关内容。 | 由于特征J中的“第三透明晶片”未被公开,且对比文件整体结构中没有独立的隔片晶片概念,因此“第二隔片晶片”及其“包含开口阵列的所述隔片材料”也未被公开。 |
| 技术特征L:未公开 | 无相关内容。 | 由于特征J、K均未被公开,且对比文件未公开任何“同心环带”或“重复标记”形式的对准标记,因此“第三对准标记”及其“与第一组同心环带及第二组同心环带互补”等特征也未被公开。 |
| 技术特征M:未公开 | 无相关内容。 | 同特征J,对比文件中的“第三透镜”不是独立晶片上的透镜阵列。 |
| 技术特征N:未公开 | 无相关内容。 | 同特征K,对比文件中没有隔片晶片结构。 |
| 技术特征O:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未公开“第三对准标记”及其为“第三组重复标记”且“定位于第三透镜周围”。 |
| 技术特征P:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未公开“第四对准标记”及其与第三组标记互补。 |
| 技术特征Q:未公开 | “...aligned and bonded using the alignment marks 33 and 34...” (段落 [0049]) | 对比文件公开了使用对准标记进行晶圆对准的方法,但未具体描述对准标记是“第一组同心环带”,也未描述将其“安置于第一透镜阵列中的第一透镜周围”。因此,该具体方法步骤未被公开。 |
| 技术特征R:未公开 | 同上。 | 对比文件未公开将“第二组同心环带”安置于第二透镜周围,且该环带与第一组互补。 |
| 技术特征S:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件描述了通过对准标记来对准晶圆,但未具体描述“通过所述第一透明晶片及所述第一组同心环带来检视所述第二组同心环带”这一特定的检视方式和过程。 |
| 技术特征T:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未公开使用“同心环带”的重叠进行对准,更未公开利用其产生“实心环带”或“波纹效应”来判断对准状态的方法。 |
| 技术特征U:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件完全未提及“捕捉图像数据”、“经由硬件处理器比较图像数据与至少一个模板图像”等自动化、图像处理的对准步骤。其对准过程是直接的物理对准和接合。 |
| 技术特征V:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未提及“分束器层”,因此将其安置于光学路径中心点处的步骤自然未被公开。 |
| 技术特征W:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未提及使用“显微镜物镜”并使聚焦于环带上的步骤。 |
| 技术特征X:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未提及“检视所述第二组同心环带以及所述第一组同心环带经由所述分束器层的反射”这一特定的光学观测步骤。 |
| 技术特征Y:未公开 | 无相关内容。 | 由于分束器层、特定的环带标记及相应的检视方法均未被公开,因此使用通过显微镜物镜检视的环带重叠进行对准的步骤也未被公开。 |
| 技术特征Z:未公开 | 无相关内容。 | 对比文件未提及对准过程由“一或多个物理计算装置以编程方式执行”。其描述的是制造工艺中的对准,未涉及自动化控制或编程执行。 |
<<<A>>><<<B>>><<<G>>>