**对比文件名称:** WO2014098075A1_Description_20260218_1610
**目标专利名称:** 179亚微米晶片对准CN107850759B
**本次调用的模型名称:** 深度求索公司的DeepSeek最新版本模型
### 特征比对表格
| 技术特征描述以及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **技术特征A:**<br>第一透明晶片,其包括第一透镜阵列<br>**《直接公开》** | “第一透镜阵列10...具有多个透镜部分11”(参见说明书第[0062]段)。 | 对比文件明确公开了第一透镜阵列10,其包含多个透镜部分(lens portions)11,这直接对应于目标专利中的“第一透明晶片,其包括第一透镜阵列”。两者均为包含透镜阵列的透明晶片结构。 |
| **技术特征B:**<br>第二透明晶片,其包括第二透镜阵列,所述第二透镜阵列中的每一透镜与所述第一透镜阵列中的对应透镜形成透镜对<br>**《直接公开》** | “第二透镜阵列20...具有多个透镜部分21”(参见说明书第[0062]段)。且第一透镜阵列10与第二透镜阵列20层叠(laminated),其透镜部分11、21在堆叠后对应(参见图1B及第[0062]段描述)。 | 对比文件公开了第二透镜阵列20,其包含多个透镜部分21。当与第一透镜阵列10层叠时,两个阵列中的透镜部分一一对应,形成透镜对,这直接对应于目标专利中“形成透镜对”的技术特征。 |
| **技术特征C:**<br>第一隔片晶片,其定位于所述第一透明晶片与所述第二透明晶片之间且包括包含开口阵列的隔片材料,每一透镜对中的至少一个透镜延伸到所述开口阵列中的开口中<br>**《直接公开》** | “隔片基板40设置在第一透镜阵列10与第二透镜阵列20之间...在隔片基板40上,形成有与第一及第二透镜阵列10、20的各个透镜部分11、21对应的开口阵列41”(参见说明书第[0065]段)。 | 对比文件明确公开了隔片基板(spacer substrate)40位于两个透镜阵列之间,并且具有对应各透镜部分的开口阵列41。这直接公开了目标专利中的隔片晶片及其开口阵列特征。透镜延伸到开口中是其必然的空间布置结果。 |
| **技术特征D:**<br>第一对准标记,其设置于所述第一透明晶片上,所述第一对准标记包括定位于所述第一透镜阵列中的第一透镜周围的第一组同心环带<br>**《未公开》** | 对比文件中描述了在第一透镜阵列10的某些光学表面(如11a, 11b)上形成标记(例如第一标记U1、第二标记U2、第三标记U3)(参见第[0062]段)。这些标记被描述为“圆柱形”或用于偏心测量的点状标记(参见第[0070]、[0074]段),并未描述为“同心环带”。 | 目标专利中的“第一组同心环带”是特定的对准标记结构,其作用在于通过与互补的第二组环带重叠,在精确对准时形成连续实心环带,在未对准时产生莫尔条纹(波纹)效应,以实现视觉上的高精度对准(见目标专利说明书第[0067]-[0068]、[0080]-[0081]段)。对比文件公开的标记(如U1, U2, U3)是用于测量单个透镜上下表面偏心或两个透镜阵列间偏心的点状或简单形状标记,其功能是坐标测量,而非通过环带间的互补干涉产生视觉对准效应。两者在标记的结构、作用和实现对准的原理上均不相同。因此,对比文件未公开该特征。 |
| **技术特征E:**<br>及第二对准标记,其设置于所述第二透明晶片上,所述第二对准标记包括与所述第一组同心环带互补且定位于所述第二透镜阵列中的第二透镜周围的第二组同心环带<br>**《未公开》** | 对比文件中描述了在第二透镜阵列20的某些光学表面(如21a, 21b)上形成标记(例如第四标记U4、第六标记U6、第七标记U7)(参见第[0062]段)。同样,这些标记并非“同心环带”。 | 理由同特征D。目标专利要求第二对准标记是与第一组“互补”的“同心环带”。对比文件未公开任何“同心环带”结构的对准标记,更未公开两组环带之间具有特定互补关系以产生莫尔效应的技术方案。 |
| **技术特征F:**<br>所述第一透镜与所述第二透镜形成一个透镜对,其中所述第一组同心环带和与所述第一组同心环带互补的所述第二组同心环带可经定大小及定位使得其在所述第一及第二透明晶片为光学对准时产生跨越所有环带的实心环带且在所述第一及第二透明晶片未对准时产生波纹效应。<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 这是目标专利的核心发明点之一,即利用互补同心环带在重叠时产生的独特视觉效果(精确对准时为实心环带,未对准时产生莫尔条纹)来实现高精度视觉对准(参见说明书第[0067]、[0080]-[0081]段)。对比文件完全没有提及这种基于同心环带互补性产生莫尔条纹效应的对准原理或方法。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征G:**<br>其中所述第一透镜、所述第二透镜及在所述开口阵列中的开口周围的所述隔片材料的一部分形成具有光轴的透镜堆叠。<br>**《直接公开》** | 对比文件描述了透镜部分11、21,以及隔片基板40中的开口41,并提及了光学轴OA(optical axis OA)(参见第[0062]、[0065]、[0076]段)。图1B、3A-C等展示了由这些部件构成的堆叠结构。 | 本领域技术人员从对比文件公开的层叠透镜阵列结构(第一透镜阵列、隔片、第二透镜阵列)可以毫无疑义地得出,这些部件共同构成了一个具有光轴的透镜堆叠。该特征被直接公开。 |
| **技术特征H:**<br>其进一步包括分束器层,所述分束器层设置于所述第一对准标记的第一平面与所述第二对准标记的第二平面之间的光学路径中心点处。<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 分束器层(50%透明镜面)是目标专利实现亚微米对准的另一关键发明点,其作用是将顶部晶片的对准标记反射,使其与底部晶片的标记出现在同一焦平面,从而可通过显微镜同时清晰观察(参见说明书第[0054]-[0059]、[0062]段)。对比文件全文未提及任何分束器(beam splitter)层或类似结构。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征I:**<br>其中所述第一组同心环带及所述第二组同心环带具有5μm的线厚度。<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 由于对比文件未公开“同心环带”这一标记结构,因此自然也未曾公开其具体的线厚度尺寸(5μm)。该特征未被公开。 |
| **技术特征J:**<br>其进一步包括:第三透明晶片,其包含第三透镜阵列<br>**《直接公开》** | “第三透镜阵列30...具有多个透镜部分31”(参见说明书第[0105]段,对应第三实施例)。 | 对比文件在第三实施例中明确公开了包含第三透镜阵列30的堆叠结构。该特征被直接公开。 |
| **技术特征K:**<br>第二隔片晶片,其定位于所述第二透明晶片与所述第三透明晶片之间且包括包含开口阵列的所述隔片材料<br>**《直接公开》** | “隔片基板50设置在第二透镜阵列20与第三透镜阵列30之间...在隔片基板50上,形成有与第二及第三透镜阵列20、30的各个透镜部分21、31对应的开口阵列51”(参见说明书第[0108]段)。 | 对比文件在第三实施例中明确公开了位于第二和第三透镜阵列之间的第二隔片基板50及其开口阵列51。该特征被直接公开。 |
| **技术特征L:**<br>及第三对准标记,其设置于所述第三透明晶片上,所述第三对准标记包括与所述第一组同心环带及所述第二组同心环带互补且定位于所述第三透镜阵列中的第三透镜周围的第三组重复标记,所述第三透镜与所述第一透镜及所述第二透镜形成光学堆叠。<br>**《未公开》** | 对比文件在第三实施例中描述了在第三透镜阵列30上形成标记(例如第五标记U5、第八标记U8、第九标记U9)(参见第[0105]段)。但这些标记并非“同心环带”或“重复标记”,也未描述其与第一、第二组标记(在目标专利中为同心环带)具有互补关系。 | 理由同特征D和E。目标专利要求第三对准标记是与前两组同心环带“互补”的“重复标记”。对比文件仅公开了用于偏心测量的点状标记,未公开环带结构及环带间的互补关系。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征M:**<br>其进一步包括:第三透明晶片,其包含第三透镜阵列<br>**《直接公开》** | 同技术特征J。 | 同技术特征J,被直接公开。 |
| **技术特征N:**<br>第二隔片晶片,其定位于所述第二透明晶片与所述第三透明晶片之间且包括包含开口阵列的所述隔片材料<br>**《直接公开》** | 同技术特征K。 | 同技术特征K,被直接公开。 |
| **技术特征O:**<br>第三对准标记,其设置于所述第三透明晶片上,所述第三对准标记包括定位于所述第三透镜阵列中的第三透镜周围的第三组重复标记,所述第三透镜与所述第二透镜阵列中的第四透镜形成一对<br>**《直接公开》** | “第五标记U5设置在第三透镜阵列30的第四透镜部分K4上...第四标记U4设置在第二透镜阵列20的第三透镜部分K3上”(参见第[0105]-[0106]段)。且这两个标记(U4和U5)构成一对用于层叠对准的标记(第二对标记M2b)(参见第[0106]、[0116]段)。 | 对比文件公开了在第三透镜阵列的特定透镜部分(K4)上设置标记(U5),并指明该标记与第二透镜阵列上特定透镜部分(K3)的标记(U4)配对,用于两个阵列间的对准。这直接对应于“第三对准标记...所述第三透镜与所述第二透镜阵列中的第四透镜形成一对”。尽管标记形状非“重复标记”,但“标记配对用于对准”这一核心关系已被公开。 |
| **技术特征P:**<br>第四对准标记,其设置于所述第二透明晶片上,所述第四对准标记包括与所述第三组重复标记互补且定位于所述第四透镜周围的第四组重复标记。<br>**《直接公开》** | 如上所述,对比文件公开了第二透镜阵列20上的第四标记U4,其与第三透镜阵列30上的第五标记U5配对(参见第[0105]-[0106]段)。 | 对比文件公开了第二透镜阵列上的标记(U4),其与第三透镜阵列上的标记(U5)构成对准对。这对应于“第四对准标记...与所述第三组重复标记互补...”。虽然未描述“互补”的具体形式(如环带的互补),但“两个标记相互配对以实现对准”这一功能关系已被公开。 |
| **技术特征Q:**<br>其包括:将第一组同心环带安置于第一透明晶片的第一透镜阵列中的第一透镜周围<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 对比文件未公开任何“同心环带”的标记结构,因此自然也未曾公开安置此类环带的方法步骤。该特征未被公开。 |
| **技术特征R:**<br>将第二组同心环带安置于第二透明晶片的第二透镜阵列中的第二透镜周围,所述第二组同心环带与所述第一组同心环带互补<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 理由同特征Q。对比文件未公开互补的同心环带及其安置方法。该特征未被公开。 |
| **技术特征S:**<br>通过所述第一透明晶片及所述第一组同心环带来检视所述第二组同心环带<br>**《未公开》** | 对比文件描述了通过显微镜观察标记(参见第[0076]、[0086]段),但未提及通过“同心环带”进行检视,也未描述检视过程中涉及环带的特定光学效应。 | 目标专利此步骤的特异性在于“通过第一透明晶片及第一组同心环带”来检视,这隐含了利用环带结构进行视觉判断的上下文。对比文件仅公开了通过透明材料观察标记以进行坐标测量,未公开与“同心环带”相关的特定检视方式。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征T:**<br>及使用所述第一组同心环带与所述第二组同心环带的重叠而将所述第一透明晶片对准到所述第二透明晶片,其中所述第一组同心环带和与所述第一组同心环带互补的所述第二组同心环带可经定大小及定位使得其在所述第一及第二透明晶片为光学对准时产生跨越所有环带的实心环带且在所述第一及第二透明晶片未对准时产生波纹效应。<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 这是基于同心环带互补性产生莫尔效应进行对准的方法,是目标专利的核心方法特征。对比文件公开的对准方法是基于测量两个标记的坐标并使其重合(参见第[0076]、[0086]段),而非利用环带重叠产生的视觉图案(实心环带或莫尔条纹)进行对准。两者对准原理完全不同。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征U:**<br>其中所述检视包括捕捉所述第一组同心环带及所述第二组同心环带的图像数据,且其中所述对准包括经由硬件处理器而比较所述图像数据与至少一个模板图像以确定所述第一组同心环带与所述第二组同心环带是否对准。<br>**《未公开》** | 对比文件描述了使用CCD相机82b获取标记的图像,并由计算单元83b计算标记的坐标(参见第[0076]段)。 | 虽然对比文件公开了捕捉图像数据和通过处理器处理数据以辅助对准,但其处理的对象是标记的“坐标”,处理方式是计算坐标差。而目标专利此特征限定的是处理“同心环带”的“图像数据”,并与“模板图像”进行比较以判断环带是否对准。这涉及对特定图案(实心环带或莫尔条纹)的识别,与对比文件基于坐标计算的对准方法在技术手段上存在差异。对比文件未公开使用模板图像匹配的方式来判断环带图案的对准状态。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征V:**<br>其进一步包括:将分束器层安置于所述第一组同心环带与所述第二组同心环带之间的光学路径中心点处<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 对比文件未公开任何“分束器层”,因此自然也未曾公开安置分束器层的方法步骤。该特征未被公开。 |
| **技术特征W:**<br>使显微镜物镜聚焦于所述第二组同心环带上<br>**《未公开》** | 对比文件描述了使显微镜物镜聚焦于标记上(例如,聚焦于第二光学表面11b上的标记)(参见第[0076]段)。 | 对比文件公开了使显微镜聚焦于标记上这一通用步骤。然而,目标专利此特征明确限定了聚焦对象为“第二组同心环带”。由于对比文件未公开“同心环带”这一特定结构的标记,因此“聚焦于第二组同心环带上”这一具体技术动作未被公开。 |
| **技术特征X:**<br>检视所述第二组同心环带以及所述第一组同心环带经由所述分束器层的反射<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 该特征涉及通过分束器层同时观察两个环带标记,是分束器技术方案的关键步骤。对比文件未公开“分束器层”,也未公开通过分束器反射观察一个标记的同时直接观察另一个标记的方法。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征Y:**<br>及使用通过所述显微镜物镜所检视的所述第一组同心环带与所述第二组同心环带的重叠而将所述第一透明晶片对准到所述第二透明晶片。<br>**《未公开》** | 无相关描述。 | 该特征是利用显微镜观察环带重叠图案进行对准的方法。对比文件虽然使用显微镜观察标记,但其对准依据是标记坐标的重合,而非环带重叠产生的视觉图案。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征Z:**<br>其中所述聚焦、所述检视及所述对准由一或多个物理计算装置以编程方式执行。<br>**《隐含公开》** | 对比文件描述了包含控制装置83、计算单元83b、驱动装置73/81/181的系统,用于控制显微镜聚焦、移动样品台、获取图像、计算坐标并驱动调整位置,以实现自动化的偏心测量和调整(参见第[0076]、[0086]段及图6、8)。 | 本领域技术人员通过阅读对比文件可以合理推断,其中描述的由控制装置、计算单元、驱动装置等组成的系统,在运行预设程序时,能够自动执行聚焦、图像检视(通过CCD相机)、以及基于计算结果驱动对准机构进行调整(对准)这一系列步骤。这实质上构成了由物理计算装置以编程方式执行聚焦、检视和对准的过程。因此,该特征被对比文件隐含公开。 |
<<<A>>><<<B>>><<<C>>><<<G>>><<<J>>><<<K>>><<<O>>><<<P>>><<<z>>>