对比文件名称：US2012235779A1_Description_20260219_0548
目标专利名称：190具有变化厚度的电感器CN105493208B
模型名称：本次调用未指定模型名称
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| 技术特征A：包括基板《隐含公开》 | [0108]段描述电磁致动器包括定子(非旋转部分)和转子，以及“Ferro-magnetic core 50”。[0115]段：“In TSV processes the bulk material of the wafer is utilized as the surrounding substance of the coil”。[0133]段描述电线圈装置包括“a surrounding electrically isolating bulk 640”。[0150]段：“The spiral trench may have any suitable depth, such as but not limited to 5 to 100 microns deep and may be generated e.g. by micromachining the bulk or using or any etch process suitable for fabrication of the vias.” | 对比文件[0108]段提及“Ferro-magnetic core”，该核心起到支撑和磁路引导作用。[0115]、[0133]段明确提及线圈制造中使用晶圆（wafer）的体材料（bulk material）作为线圈的周围绝缘物质（surrounding substance），这实质上起到了承载和支撑线圈的作用，相当于基板。虽然对比文件更侧重于将体材料本身加工成线圈沟槽，而非在预制基板上形成线圈，但其“surrounding electrically isolating bulk”在装置中起到了支撑和绝缘的基础作用，与本专利中基板（substrate）作为螺旋电感器载体的作用实质相同。因此，本领域技术人员可以理解对比文件公开了用于支撑线圈的基板结构，故判断为隐含公开。 |
| 技术特征B：以及布置在所述基板上的螺旋电感器，所述螺旋电感器是梯度层堆叠电感器《隐含公开》 | [0028]段：“There is thus provided, in accordance with certain embodiments of the present invention, an electric coil device comprising a spiral comprising a plurality of electro-conductive turns...”。[0032]段：“Further provided, in accordance with certain embodiments of the present invention, is multi-level electrical coil apparatus comprising a stack of electrically connected electric coil devices as described above.”。[0060]段：“According to some embodiments, the trench varies in at least one of cross-sectional width and cross-sectional height (the terms “height” and “depth” are used herein generally simultaneously). For example, it may be the case that the trench varies in height and includes a peripheral end portion, an intermediate portion and a central end portion adjacent the spiral's center point, and the cross-sectional height of the intermediate portion differs from the cross-sectional heights, or common cross-sectional height if equal, of the peripheral and central portions.”。[0061]段：“Typically, the aspect ratio along the trench varies e.g. from 1:1 or 2:1 to 5:1, where aspect ratio is defined as the ratio of trench cross-sectional height to width.”。[0066]段进一步讨论了沟槽不同部分（外周、中间、中心）的长度比例。 | 对比文件[0028]段明确公开了包括多匝导电线的螺旋（spiral）的电线圈装置，即螺旋电感器。[0032]段公开了多层（multi-level）电线圈装置，即堆叠（stack）连接的电线圈装置，这公开了“层堆叠”电感器的概念。更重要的是，[0060]、[0061]段明确教导了形成线圈的沟槽（trench）其横截面高度（depth）可以变化，并且纵横比（高度/宽度）可以沿着沟槽变化，例如从1:1变化到5:1。这种沟槽高度的变化必然导致填充导电材料后形成的线圈导体的厚度（在垂直于基底的方向上）发生变化。结合多层堆叠的教导，本领域技术人员可以合理推断出可以制造一种各层或同一层内厚度呈梯度变化的层堆叠螺旋电感器，以实现特定的电磁性能（如[0062]段所述增强电磁通量强度）。虽然对比文件未明确使用“梯度层堆叠电感器”这一术语，但其公开的“厚度可变的沟槽”和“多层堆叠”技术特征组合，使得本领域技术人员有可能推理出制造具有梯度厚度特征的堆叠螺旋电感器的技术方案。因此，判断为隐含公开。 |
| 技术特征C：其中所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度《隐含公开》 | [0060]段：“...the trench varies in height and includes a peripheral end portion, an intermediate portion and a central end portion adjacent the spiral's center point, and the cross-sectional height of the intermediate portion differs from the cross-sectional heights, or common cross-sectional height if equal, of the peripheral and central portions.”。[018D]图及相关描述示出了螺旋沟槽，其具有外周部分、中间部分和中心部分，各部分具有不同的宽度(W1, W2, W3)和高度(H1, H2, H3)。 | 对比文件[0060]段明确公开了螺旋沟槽具有不同的部分（外周端部、中间部分、中心端部），并且这些部分的横截面高度（cross-sectional height）可以不同。螺旋沟槽填充导电材料后即形成螺旋线圈。对于平面螺旋线圈，其“最内匝”对应于靠近螺旋中心点的部分。对比文件描述的沟槽“中心端部”（central end portion）即位于螺旋中心点附近，可对应于最内匝的区域。该部分具有特定的横截面高度（H3，如[0161]段示例）。该高度在垂直于基底（体材料）的方向上度量。因此，本领域技术人员可以合理推断，螺旋电感器最内匝的某个部分（例如对应于沟槽中心端部的特定段）具有一个特定的厚度（第一厚度）。虽然对比文件未明确划分“最内匝的第一部分”，但其对沟槽分段及高度差异的描述，隐含了最内匝区域厚度存在变化的可能性，从而可以推理出存在具有第一厚度的最内匝第一部分。故判断为隐含公开。 |
| 技术特征D：，所述最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度，《隐含公开》 | [0060]段（同上）。[018D]图示出螺旋沟槽具有不同高度（H1, H2, H3）的部分。 | 基于与特征C相同的理由，对比文件公开了螺旋沟槽（从而线圈）具有不同高度的多个部分。这些部分沿着螺旋路径分布。对于最内匝，它可以包含沟槽不同高度部分所对应的区段。因此，本领域技术人员可以合理推断，在最内匝上，除了具有第一厚度的第一部分外，还可以存在具有另一个不同厚度（第二厚度）的第二部分。这可以从沟槽高度沿其路径变化的教导中推理得出。故判断为隐含公开。 |
| 技术特征E：其中所述第二厚度大于所述第一厚度，《未公开》 | [0060]段仅说明不同部分的横截面高度“differs”（不同），未明确给出各部分高度之间的大小比较关系。[0069]段：“In accordance with an embodiment of the presently disclosed subject matter, there is provided a device wherein the trench which varies in height includes a peripheral portion, an intermediate portion and a central portion and wherein the cross-sectional height of the intermediate portion is greater than the cross-sectional heights, e.g. common cross-sectional height if equal, of the peripheral and central portions.” 该段描述了中间部分高度大于外周和中心部分。但并未描述最内匝上不同部分（如第一部分和第二部分）之间的厚度大小关系。 | 对比文件[0060]段只提及沟槽不同部分的高度可以不同，但未限定最内匝区域（对应中心部分及相邻部分）内部不同区段厚度的大小关系。[0069]段明确了一个实施例中沟槽中间部分的高度大于外周和中心部分，但这描述的是沿着整个螺旋路径上不同段落之间的关系，并非特指最内匝上两个相邻部分之间的厚度比较。目标专利要求“第二厚度大于第一厚度”是特定的厚度递增关系。对比文件没有公开或暗示在最内匝上，一个部分（第二部分）的厚度大于另一个部分（第一部分）的厚度。本领域技术人员无法从对比文件毫无疑义地得出或合理推断出这一特定的厚度大小关系。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征F：所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度，《未公开》 | 对比文件未描述或暗示螺旋线圈最内匝具有“第三部分”以及该部分具有“第三厚度”。[0060]段将沟槽分为外周、中间、中心三个部分，但这三个部分是对整个螺旋沟槽的划分，并非特指“最内匝”被进一步划分为三个部分。 | 目标专利权利要求明确限定了最内匝具有第一部分、第二部分和第三部分，且第三部分具有第三厚度。对比文件虽然将整个螺旋沟槽划分为不同的高度部分，但并未教导或暗示将最内匝这一特定区域进一步细分为三个具有不同厚度的部分。本领域技术人员无法从对比文件中得出或推理出“最内匝的第三部分具有第三厚度”这一具体的技术特征。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征G：其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度，《未公开》 | 基于特征E和F未被公开，且对比文件未提供最内匝各部分厚度之间的大小比较关系，该特征自然也未被公开。 | 由于对比文件未公开最内匝存在具有第三厚度的第三部分，也未公开第二部分厚度大于第一部分厚度，因此更不可能公开“第三厚度大于第一厚度和第二厚度”这一具体的大小关系。本领域技术人员无法从对比文件得出或推理出该特征。 |
| 技术特征H：并且所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。《未公开》 | [0060]段提及沟槽高度变化。[0061]段提及纵横比（高度/宽度）变化。但均未明确描述厚度“根据梯度而增大”，尤其未描述该梯度变化是发生在“最内匝中”并从第一厚度到第三厚度。 | 目标专利该特征限定了厚度在最内匝内按照从第一厚度到第三厚度的特定梯度（gradient）而增大，这是一种连续或阶梯式的变化方式。对比文件[0060]、[0061]段确实提到沟槽高度（深度）可以变化，纵横比可以变化，这可能意味着厚度有变化。然而，这种变化是针对整个螺旋沟槽的宏观描述（如外周、中间、中心部分不同），并未限定变化发生在最内匝内部，也未限定变化是按照从第一厚度到第三厚度的特定梯度方式。本领域技术人员无法从对比文件毫无疑义地得出或合理推断出这一特定且具体的厚度梯度变化方案。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征I：其特征在于：所述螺旋电感器包括第一导电螺旋和第二导电螺旋，其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋，所述最内匝的所述第一部分包括所述第二导电螺旋的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋，所述最内匝的所述第三部分包括所述第一导电螺旋的第一端部和所述第二导电螺旋的一部分，并且所述导电螺旋的最外匝的一部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述第一导电螺旋的一部分。《未公开》 | [0032]段提及“multi-level electrical coil apparatus comprising a stack of electrically connected electric coil devices”。[0050]段提及制造第一和第二平面螺旋导电线圈并使用TSV电连接。[0109]段图10描述了堆叠的顺时针和逆时针螺旋导电线圈。但未描述单个电感器内包含两个导电螺旋且一个覆盖另一个，也未描述最内匝和最大匝各部分与这两个螺旋的具体包含关系（如第一部分仅包括第二螺旋，第三部分包括两个螺旋等）。对比文件的多层堆叠是指多个独立的线圈器件堆叠连接，而非单个螺旋电感器内包含多个覆盖的导电螺旋层。 | 该特征限定了螺旋电感器内部的具体层叠结构：包含两个导电螺旋，且第一覆盖第二，并详细规定了最内匝的第一部分、第三部分以及最外匝的一部分各自包含哪个螺旋的哪些部分。这是一个非常具体的结构安排。对比文件公开了可以堆叠多个电线圈装置（[0032]段），但这是多个独立线圈器件的垂直堆叠，每个器件本身是一个完整的螺旋线圈（由填充沟槽的导电材料形成）。对比文件没有公开或暗示在单个螺旋电感器内部，存在两个独立的、一个覆盖另一个的“导电螺旋”结构，更没有公开这两个螺旋在最内匝和最大匝的特定部分以所述方式分布。本领域技术人员无法从对比文件得出或推理出该具体结构特征。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征J：其特征在于，所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度。《未公开》 | 对比文件未公开如特征I所述的包含两个覆盖的导电螺旋的结构，因此自然也未曾比较这两个螺旋的长度。 | 该特征以特征I的结构为前提。既然特征I所限定的包含两个覆盖导电螺旋的结构未被对比文件公开，那么关于这两个螺旋长度比较的特征J也未被公开。本领域技术人员无法从对比文件得出或推理出该特征。 |
| 技术特征K：其特征在于，所述螺旋电感器进一步包括在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的导电层，其中所述最内匝的所述第二部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述导电层的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋。《未公开》 | 对比文件未公开如特征I所述的包含两个覆盖导电螺旋的结构，因此也未公开在这两个螺旋之间存在导电层，更未公开最内匝第二部分的具体构成。 | 该特征进一步限定了在特征I的两个导电螺旋之间还有一个导电层，并规定了最内匝第二部分包含该导电层的端部。这是一个更加复杂的多层结构。对比文件完全没有提及这样的结构。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征L：其特征在于，所述导电层包括非连续螺旋。《未公开》 | 对比文件未公开如特征K所述的“导电层”，因此也未公开该导电层是否为连续或非连续螺旋。 | 该特征以特征K的结构为前提。既然特征K未被公开，那么关于该导电层具体形态的特征L也未被公开。 |
| 技术特征M：其特征在于，所述导电层包括输入引线、输出引线、或其组合。《未公开》 | 对比文件未公开如特征K所述的“导电层”，因此也未公开该导电层是否包含引线。 | 该特征以特征K的结构为前提。既然特征K未被公开，那么关于该导电层功能（包含引线）的特征M也未被公开。 |
| 技术特征N：其特征在于，进一步包括形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的钝化层。《未公开》 | 对比文件在制造工艺中提到了钝化层（passivation layer），例如[0118]段步骤320的“Passivation of the etched trenches”，[0123]段步骤360的“Front side passivation”和390的“Back side passivation”。但这些钝化层是用于隔离沟槽或作为表面保护层，并非特指在两个覆盖的导电螺旋之间形成钝化层。 | 目标专利该特征限定了在特征I所述的两个覆盖导电螺旋之间设置钝化层。对比文件虽然提到了钝化层的使用，但其应用场景和作用（隔离沟槽、表面钝化）与目标专利中在两个特定导电螺旋之间设置绝缘层的作用（电隔离相邻螺旋）可能类似，但对比文件并未公开在如特征I所述的“第一导电螺旋覆盖第二导电螺旋”这种特定结构之间设置钝化层。本领域技术人员无法从对比文件得出或推理出这一具体的结构性限定。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征O：其特征在于，所述第二导电螺旋通过延伸穿过所述钝化层的一部分的通孔电连接至所述第一导电螺旋。《未公开》 | 对比文件广泛使用了TSV（Through Silicon Via）技术进行垂直电连接，例如[0037]段、[0050]段等。但这些TSV用于连接堆叠的独立线圈器件或实现线圈的输入输出，并非用于连接单个电感器内部两个覆盖的导电螺旋。 | 该特征以特征I和N的结构为前提，限定了两个覆盖的导电螺旋通过穿过它们之间钝化层的通孔电连接。对比文件公开了使用TSV进行垂直电连接的技术手段。然而，对比文件未公开特征I和N所限定的具体内部结构（两个覆盖螺旋及中间的钝化层），因此也不可能公开在这种特定结构中使用通孔进行连接。虽然通孔连接是已知技术，但将其应用于对比文件未公开的特定结构中，不能视为对比文件公开了该技术特征。因此，该技术特征未被公开。 |
| 技术特征P：其特征在于，所述最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增。《未公开》 | 对比文件[0060]段提及沟槽高度变化，但未明确描述这种变化是“单调递增”的，尤其未描述在最内匝的特定部分（第一部分到第二部分）之间是单调递增的。 | 目标专利该特征限定了最内匝上从第一部分到第二部分的厚度单调递增。对比文件公开了沟槽高度可以变化，但变化方式可以是增加、减少或波动。[0069]段描述了一个实施例中中间部分高度大于两端部分，这暗示了从中心到外周可能存在先增后减的变化，而非从最内匝上某部分到另一部分的单调递增。本领域技术人员无法从对比文件毫无疑义地得出或合理推断出在最内匝上存在“从第一部分到第二部分厚度单调递增”这一具体的技术特征。因此，该技术特征未被公开。 |
### 结尾代码
根据以上分析，对比文件隐含公开了技术特征A、B、C、D。
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