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对比文件列表
1998-05-26_US5757149A_发明授权_US5757149A Drive control apparatus_+++A_B_C_D_E_F_H_I_J_Q_R_S_U_V_W_k_l+++.docx
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2000-09-05_US6114670A_发明授权_US6114670A Nonlinear feedforward control for ramp following and overshoot minimization_+++A_B_C_D_E_R_f_q+++.docx
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2001-07-17_US6260282B_发明授权_US06260282B1 Stage control with reduced synchronization error and settling time_+++A_B_C_D_E_F_R_q+++.docx
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2002-03-12_US6355994B_发明授权_US06355994B1 Precision stage_+++A_B_C_D_E_F_q_r+++.docx
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2003-03-06_US2003043354A_发明申请_US20030043354A1 Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby_+++A_B_C_E_F_I_R_d_h_q_u_v_w+++.docx
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2004-09-02_WO2004074951A_发明申请_WO2004074951A1 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING A PHYSICAL QUANTITY HAVING A PROGRAMMED VARIATION WITH A FEED-FORWARD CONTROL_+++A_B_C_E_F_I_Q_R_U_W_d_v+++.docx
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2004-11-24_EP1480093A_发明公开_EP1480093A1 Control system, lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby_+++R_a_b_c_d_e_f+++.docx
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2004-12-02_US2004238758A_发明申请_US20040238758A1 Control system, lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby_+++A_B_D_E_F_R_c_q+++.docx
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2005-06-07_US6904422B_发明授权_US06904422B2 Adaptive control system having direct output feedback and related apparatuses and methods_+++A_B_C_D_F_e_q_r+++.docx
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2005-09-27_US6949844B_发明授权_US06949844B2 High-speed precision positioning apparatus_+++A_D_E_F_b_c_q_r+++.docx
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2005-10-20_US2005231706A_发明申请_US20050231706A1 Feedforward control with reduced learning time for lithographic system to improve throughput and accuracy_+++A_B_C_D_E_F_H_I_J_K_L_Q_R+++.docx
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2005-11-17_JP2005322720A_发明专利_JP2005322720A Stage controlling apparatus and method therefor, exposure apparatus and method therefor, and device manufacturing method_+++A_B_C_D_E_F_I_J_K_L_Q_R_u_v_w+++.docx
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2000-09-05_US6114670A_发明授权_US6114670A Nonlinear feedforward control for ramp following and overshoot minimization_+++A_B_C_D_E_R_f_q+++.docx

对比文件名称:2000-09-05_US6114670A_发明授权_US6114670A Nonlinear feedforward control for ramp following and overshoot minimization

目标专利名称:1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B

本次调用的模型名称:AI助手

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用(翻译)公开性论述
**技术特征A**:从而通过设定点分布轮廓移动一个部件 **(直接公开)**对比文件摘要及发明内容记载:“The present invention includes a method and system for nonlinear feedforward control for ramp following and overshoot minimization in a plant under control.”(本发明包括一种用于对被控对象进行斜坡跟随和超调最小化的非线性前馈控制方法和系统。)此外,具体实施方式中系统500通过设定点变量rdesired(t)输入到前馈滤波器,并最终输出控制量移动被控对象。对比文件公开了通过设定点(ramp)移动被控对象(plant),其作用与目标专利中通过设定点分布轮廓移动部件完全相同,均属于前馈控制的基础操作。本领域技术人员能够毫无疑义地确定该特征被直接公开。
**技术特征B**:所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态 **(直接公开)**对比文件说明书背景技术部分及具体实施方式中多次提及“setpoint variable programmed by the user, rdesired(t)”,该变量为时间的函数,在斜坡阶段包含多个时间点上的目标值(例如图1、图3中的斜坡曲线)。对比文件中的设定点分布轮廓(ramp)由随时间连续变化的目标值构成,每个时间点对应一个目标状态,与目标专利中“设定点分布轮廓包括多个目标状态”的含义一致。因此直接公开。
**技术特征C**:每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的 **(直接公开)**同上,rdesired(t)是时间t的函数,在斜坡时间段内每个时刻t都有对应的目标状态值。参见图3及相应描述。对比文件明确设定点变量随时间变化,每个目标状态必然在特定时间点获得,直接公开。
**技术特征D**:所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件 **(直接公开)**对比文件图4、图5、图6及其描述显示系统包括前馈机制(feedforward mechanism 430)或前馈滤波器(filter 580),利用设定点产生前馈控制信号(如rfeedforward、rF(t))并送至控制器,以移动被控对象。对比文件公开了使用前馈控制系统(feedforward system)以及基于设定点产生的第一组前馈数据(如滤波后的前馈值)来移动部件,作用与目标专利相同,直接公开。
**技术特征E**:在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态 **(直接公开)**对比文件图6描述:“Controller 620 in turn uses rout(t) 695 along with measurements 615 from the plant to control the plant 610.”(控制器620利用来自被控对象的测量值615连同rout(t)来控制被控对象610。)对比文件明确使用了测量(measurements),且测量在移动过程中进行,与目标专利的测量步骤一致,直接公开。
**技术特征F**:比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态,以获得一组误差 **(隐含公开)**对比文件背景技术部分提及线性控制器存在稳态误差(quasi-steady state offset error),并指出系统通过比较设定点与实际值来产生误差。具体实施方式中控制器620内部必然进行设定点与测量值的比较以产生控制信号。虽然对比文件未明确写出“比较”步骤,但本领域技术人员可以合理推断:在反馈/前馈控制系统中,控制器通常通过比较设定点与测量值来获得误差信号。因此该特征隐含公开。
**技术特征G**:用非线性滤波器滤波所述这组误差 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件中的前馈滤波器(filter 580)用于滤波设定点,选择器(selector 590)用于信号选择,均未涉及对误差信号进行非线性滤波。对比文件未公开任何对误差信号进行非线性滤波的步骤或装置,因此未公开。
**技术特征H**:根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件中的前馈数据直接由设定点计算得到,不依赖于误差信号。对比文件未公开基于滤波误差产生前馈数据,因此未公开。
**技术特征I**:所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未涉及“改进的前馈数据”概念。对比文件未公开改进的前馈数据及其使用,因此未公开。
**技术特征J**:所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e) **(未公开)**无相关公开内容。对比文件的方法为一次性前馈补偿,不包含迭代学习过程。对比文件未公开迭代重复步骤,因此未公开。
**技术特征K**:直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开阈值条件判断,因此未公开。
**技术特征L**:输出满足阈值条件的改进的前馈数据 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开输出满足阈值的数据,因此未公开。
**技术特征M**:其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开依赖于误差幅度的滤波,因此未公开。
**技术特征N**:其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开此类幅度依赖的滤波特性,因此未公开。
**技术特征O**:其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开频带分解,因此未公开。
**技术特征P**:对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开分频带滤波,因此未公开。
**技术特征Q**:其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组 **(隐含公开)**对比文件未明确说明测量时间与目标时间的对应关系,但通常控制系统中测量是离散或连续进行的,且与设定点时间轴一致。本领域技术人员可以合理推断:在设定点分布轮廓驱动下,测量时间点必然与目标时间序列至少部分对应,否则无法实现有效控制。因此该特征隐含公开。
**技术特征R**:其中所述目标状态包括以下所述的至少一个:所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度 **(直接公开)**对比文件说明书末尾列举:“variable under control may be many other values such as pressure, velocity, position of a mechanism, etc.”(被控变量可以是压力、速度、机构位置等其他值。)对比文件明确公开了被控变量包括位置、速度,加速度虽未直接列出,但作为速度的导数隐含于系统描述中。因此至少公开了位置和速度,直接公开。
**技术特征S**:其中对于所述滤波器进行配置 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开针对误差的滤波器配置,因此未公开。
**技术特征T**:使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开具有死区特性的噪声带滤波器,因此未公开。
**技术特征U**:其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开误差的数据阵列表示,因此未公开。
**技术特征V**:其中0≤i≤n **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开索引范围,因此未公开。
**技术特征W**:n是组中的采样数 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开采样数,因此未公开。
**技术特征X**:所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开任何形式的滤波器矩阵,因此未公开。
**技术特征Y**:步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积 **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开该乘积运算,因此未公开。
**技术特征Z**:其中所述的Φ(ey(i))的定义如下:...(公式) **(未公开)**无相关公开内容。对比文件未公开该特定滤波器定义,因此未公开。

根据上述比对,对比文件直接公开了技术特征A、B、C、D、E、R,隐含公开了技术特征F、Q。

因此,在回答结尾插入对应的代码:

<<<A>>><<<B>>><<<C>>><<<D>>><<<E>>><<<R>>><<<f>>><<<q>>>

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