2009-05-13_KR1020090047580A_发明公开_KR1020090047580A 결정 결함 영역 평가를 위한 Cu 오염 장치 및 방법_+++A_C_D_E+++.docx

**对比文件名称**:2009-05-13_KR1020090047580A_发明公开_KR1020090047580A 결정 결함 영역 평가를 위한 Cu 오염 장치 및 방법

**目标专利名称**:1757评估晶片或单晶锭的质量的方法及使用其控制单晶锭的质量的方法CN103650124B

**本次调用的模型名称**:大型语言模型(AI助手)

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### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断对比文件原文引用(翻译成中文)公开性论述
**技术特征A**:所述方法包括对单晶锭的切片或晶片进行Cu(铜)雾度评估(**直接公开**)对比文件段落[5]:“准备单晶硅锭碎片或硅晶片样品……在样品的一面涂覆BOE(缓冲氧化蚀刻剂)溶液和Cu的混合溶液即Cu污染溶液,放置一定时间进行Cu污染,然后丢弃样品上的Cu污染溶液,清洗干燥,然后通过短时间扩散热处理产生雾度,不需要额外的检查设备,在聚光灯下用肉眼区分晶体缺陷区域。”对比文件明确公开了完整的Cu雾度评估工艺,包括污染、热处理和观察,其目的正是评估晶体缺陷区域,因此技术特征A被直接公开。
**技术特征B**:相对于所述Cu雾度评估的结果进行Cu雾度评分(**未公开**)对比文件全文未记载任何关于Cu雾度评分的内容。对比文件仅涉及Cu雾度评估以区分缺陷区域,未提及对评估结果进行评分,也没有任何评分标准或评分值的描述,即使采用宽松的隐含公开标准,也无法从对比文件中合理推断出评分步骤,因此技术特征B未被公开。
**技术特征C**:对单晶锭的切片或晶片进行Cu雾度评估包括通过使用缓冲氧化蚀刻剂溶液和Cu的混合溶液以高浓度的Cu污染Si单晶体的切片或晶片的一个表面(**直接公开**)对比文件段落[5]:“在样品的一面涂覆BOE(缓冲氧化蚀刻剂)溶液和Cu的混合溶液即Cu污染溶液,放置一定时间进行Cu污染。”<br>对比文件段落[6]:“该申请公开的方法对于产生雾度的高浓度Cu污染非常有效。”对比文件明确公开了使用BOE和Cu的混合溶液污染样品的一个表面,并在段落[6]中强调“高浓度Cu污染”,技术特征C的要点完全被对比文件直接公开。
**技术特征D**:进行快速扩散热处理(**直接公开**)对比文件段落[5]:“通过短时间扩散热处理产生雾度。”<br>对比文件段落[31]:“在1000℃下进行20分钟热处理。”对比文件明确公开了在污染后需要进行快速(短时间)扩散热处理,该步骤与目标专利中快速扩散热处理的作用完全相同,因此直接公开。
**技术特征E**:通过在聚光灯下视觉观察受污染的表面或其相反表面来区分晶体缺陷区域(**直接公开**)对比文件段落[5]:“在聚光灯下用肉眼区分晶体缺陷区域。”对比文件直接记载了在聚光灯下用肉眼观察区分缺陷区域,技术特征E的表述与之完全一致,因此直接公开。
**技术特征F**:进行快速扩散热处理包括对所述单晶锭的整个切片或晶片的左半侧进行第一热处理以评估O带区域(**未公开**)对比文件未记载对左半侧进行特定第一热处理以评估O带区域。对比文件没有将晶片分为左右半侧进行不同热处理,也没有提到“O带区域”这一概念,即使宽松推断,也无任何内容暗示该特征,因此技术特征F未被公开。
**技术特征G**:对所述单晶锭的整个切片或晶片的右半侧进行第二热处理以评估Pi和Pv区域(**未公开**)对比文件未记载对右半侧进行特定第二热处理以评估Pi和Pv区域。对比文件没有涉及左右半侧区分热处理,虽然提到了Pi和Pv区域,但未与右半侧特定热处理关联,因此技术特征G未被公开。
**技术特征H**:相对于Pv、Pi热处理区域测量第二Pi区域的面积(**未公开**)对比文件未记载测量第二Pi区域的面积。对比文件仅通过雾度图案定性区分Pi和Pv区域,未进行任何面积测量,因此技术特征H未被公开。
**技术特征I**:对所述第一Pi区域的面积和所述第二Pi区域的面积进行相加以设置为Cu雾度分数值(**未公开**)对比文件未记载对面积相加设置分数值。对比文件没有提及任何评分、分数值或面积相加的操作,完全未涉及定量评分,因此技术特征I未被公开。

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**公开性结论**:

对比文件直接公开了技术特征A、C、D、E,未公开技术特征B、F、G、H、I(也不构成隐含公开)。

<<<A>>><<<C>>><<<D>>><<<E>>>

权利要求与技术特征

A 所述方法包括对单晶锭的切片或晶片进行Cu(铜)雾度评估
B 和译相对于所述Cu雾度评估的结果进行Cu雾度评分
C 译其中对单晶锭的切片或晶片进行Cu雾度评估包括通过使用缓冲氧化蚀刻剂溶液和Cu的混合溶液以高浓度的Cu污染Si单晶体的切片或晶片的一个表面
D 进行快速扩散热处理
E 然后通过在聚光灯下视觉观察受污染的表面或其相反表面来区分晶体缺陷区域
F 其中进行快速扩散热处理包括对所述单晶锭的整个切片或晶片的左半侧进行第一热处理以评估O带区域
G 和对所述单晶锭的整个切片或晶片的右半侧进行第二热处理以评估Pi和Pv区域。译2.根据权利要求1所述的方法,其中在所述Cu雾度评分中所述Cu雾度评分的方法包括通过划分锭的切片的或所述晶片的缺陷区域来进行Cu雾度评分。译3.根据权利要求2所述的方法,其中所述Cu雾度评分的方法包括通过评定所述锭的切片的或所述晶片的Pv区域 and Pi区域的分数来进行Cu雾度评分。译4.根据权利要求1所述的方法,其中所述Cu雾度评分包括相对于根据所述Cu雾度评估方法的O带热处理区域测量第一Pi区域的面积
H 译相对于Pv、Pi热处理区域测量第二Pi区域的面积
I 和对所述第一Pi区域的面积和所述第二Pi区域的面积进行相加以设置为Cu雾度分数值。译5.根据权利要求1所述的方法,其中所述Cu雾度评分包括通过所述Cu雾度评估来建立Cu雾度评分图。译
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