本次调用的模型名称:DeepSeek-R1。
对比文件名称:JP2004138821A_Description_20260218_1610
目标专利名称:179亚微米晶片对准CN107850759B
## 特征比对表格
| 技术特征描述以及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **技术特征A**:其包括:第一透明晶片,其包括第一透镜阵列 | [0005] ...a first member including a single microlens array arranged in a matrix...(第一构件,包括以矩阵布置的单微透镜阵列)<br>[0005] ...a double macrolens array that converges light from a light source by a double microlens in which both lens surfaces are curved by bonding the member and the second member...(通过将所述构件和第二构件接合而形成双微透镜的双微透镜阵列,该双微透镜的两个透镜表面都是弯曲的,用于会聚来自光源的光)<br>[0037] ...the first member 93a including the single microlens array 89a...(第一构件93a,包括单微透镜阵列89a) | **直接公开**。对比文件明确公开了“第一构件”(first member)包括“单微透镜阵列”(single microlens array),该微透镜阵列是透镜以矩阵形式排列的阵列(arranged in a matrix)。微透镜本身就是一种透镜,因此“第一构件”相当于“第一透明晶片”,“单微透镜阵列”相当于“第一透镜阵列”。该特征在对比文件中用于形成双微透镜阵列的一部分。 |
| **技术特征B**:第二透明晶片,其包括第二透镜阵列,所述第二透镜阵列中的每一透镜与所述第一透镜阵列中的对应透镜形成透镜对 | [0005] ...by bonding the member and the second member...(通过将所述构件和第二构件接合)<br>[0037] ...the second member 93b... including the single microlens array 89b...(第二构件93b...包括单微透镜阵列89b)<br>[0037] ...A double microlens array 95 has a configuration in which light from a light source is converged by each double microlens 42 having a spherical surface on both surfaces by bonding a single microlens array 89a and a single microlens array 89b.(双微透镜阵列95的配置为:通过接合单微透镜阵列89a和单微透镜阵列89b,由每个双面都具有球面的双微透镜42会聚来自光源的光。) | **直接公开**。对比文件明确公开了“第二构件”(second member)包括另一个“单微透镜阵列”(single microlens array)。通过将第一构件和第二构件的微透镜阵列接合,形成“双微透镜”(double microlens),其中第一构件的一个微透镜与第二构件的一个微透镜一一对应地结合,共同形成一个具有两个透镜表面的双微透镜。这明确公开了第二透镜阵列中的每一透镜与第一透镜阵列中的对应透镜形成透镜对(即双微透镜)。 |
| **技术特征C**:第一隔片晶片,其定位于所述第一透明晶片与所述第二透明晶片之间且包括包含开口阵列的隔片材料,每一透镜对中的至少一个透镜延伸到所述开口阵列中的开口中 | 未找到对应内容。 | **未公开**。对比文件描述了第一构件93a和第二构件93b通过树脂85和基板玻璃87直接接合形成双微透镜阵列95(参见图5及相应描述)。在两者之间不存在一个独立的、具有开口阵列的隔片晶片。对比文件的结构是透镜阵列的直接层叠,没有“隔片材料”及其“开口”让透镜伸入的中间层结构。该特征在目标专利中用于物理分隔晶片并为透镜提供空间,在对比文件中不存在。 |
| **技术特征D**:第一对准标记,其设置于所述第一透明晶片上,所述第一对准标记包括定位于所述第一透镜阵列中的第一透镜周围的第一组同心环带 | [0037] ...the first member 93a is provided with an alignment mark 81a (first alignment mark) used for alignment...(第一构件93a设置有用于对准的对准标记81a(第一对准标记))<br>[0041] 图6(A)、8(A)、10(A)、12(A)示出了对准标记81a的图案示例,分别为十字形、线条形、圆形、方形图案。 | **未公开**。对比文件确实在第一构件(第一透明晶片)上公开了第一对准标记(alignment mark 81a)。然而,目标专利明确限定该对准标记是“包括定位于所述第一透镜阵列中的第一透镜周围的第一组同心环带”。对比文件公开的对准标记图案是十字形(cross-shaped)、线条形(substantially in line)、圆形(circular shape)、方形(square shape)等(参见图6(A)、8(A)、10(A)、12(A)及对应描述),但并未公开“同心环带”(concentric rings)这种特定图案。同心环带是实现特定波纹(Moiré)效应的关键结构,对比文件中的标记不具备此功能。 |
| **技术特征E**:及第二对准标记,其设置于所述第二透明晶片上,所述第二对准标记包括与所述第一组同心环带互补且定位于所述第二透镜阵列中的第二透镜周围的第二组同心环带 | [0037] ...the second member 93b ... is provided with an alignment mark 81b (second alignment mark) used for alignment with the alignment mark 81a.(第二构件93b...设置有用于与对准标记81a对准的对准标记81b(第二对准标记))<br>[0041] 图6(B)、8(B)、10(B)、12(B)示出了对准标记81b的图案示例,分别为与图A互补的十字形、线条形、圆形、方形图案。 | **未公开**。对比文件确实在第二构件(第二透明晶片)上公开了第二对准标记(alignment mark 81b),且其图案与第一对准标记81a互补(例如,图6A与6B的十字形图案相互反转)。然而,如特征D所述,目标专利明确限定了互补图案是“同心环带”。对比文件公开的互补图案是十字形、线条形等,并非“同心环带”。因此,对比文件未公开“第二组同心环带”这一特定技术特征。 |
| **技术特征F**:,所述第一透镜与所述第二透镜形成一个透镜对,其中所述第一组同心环带和与所述第一组同心环带互补的所述第二组同心环带可经定大小及定位使得其在所述第一及第二透明晶片为光学对准时产生跨越所有环带的实心环带且在所述第一及第二透明晶片未对准时产生波纹效应。 | 未找到对应内容。 | **未公开**。对比文件完全没有提及“同心环带”,更没有描述通过两组互补同心环带在对准时形成“实心环带”、在未对准时产生“波纹效应”(Moiré effect)这一特定的视觉对准机制。对比文件中对准标记的作用仅仅是视觉上重叠或匹配以判断是否对准(参见图7、9、11、13),例如十字图案完全重叠、线条连续无间隙等,这与利用高频干涉产生低频波纹效应进行亚微米级对准的原理完全不同。 |
| **技术特征G**:其中所述第一透镜、所述第二透镜及在所述开口阵列中的开口周围的所述隔片材料的一部分形成具有光轴的透镜堆叠。 | [0037] ...the double microlens array 95 can efficiently focus the light from the light source...(双微透镜阵列95可以有效地聚焦来自光源的光)<br>隐含了双微透镜具有光轴。 | **隐含公开**。对比文件公开了通过接合第一构件和第二构件的微透镜形成“双微透镜”(double microlens),该双微透镜用于会聚光线,这必然意味着该复合透镜结构具有一个光轴(optical axis)。虽然对比文件未明确使用“透镜堆叠”和“光轴”的术语,但“双微透镜”本身就是由两个透镜(来自第一和第二构件)堆叠而成的,其功能(聚焦光线)决定了它必然具有光轴。本领域技术人员能够毫无疑义地理解这一点。然而,目标专利中该特征还限定了“在所述开口阵列中的开口周围的所述隔片材料的一部分”也形成透镜堆叠的一部分,而对比文件中不存在隔片材料,因此该特征的完整内容未被公开。 |
| **技术特征H**:其进一步包括分束器层,所述分束器层设置于所述第一对准标记的第一平面与所述第二对准标记的第二平面之间的光学路径中心点处。 | 未找到对应内容。 | **未公开**。分束器层(beam splitter layer)是目标专利实现亚微米对准的核心部件之一,其作用是将来自不同平面的对准标记的反射像呈现在同一焦平面,以便同时清晰观察。对比文件的全部内容中均未提及任何“分束器”(beam splitter)或类似的光学元件。对比文件中用于观测对准标记的是“双焦点系统”(dual focus system)中的CCD相机(图19),其原理是通过两个相机分别观测不同焦平面的标记,这与使用单一分束器使标记“出现”在同一光学路径中点的原理截然不同。 |
| **技术特征I**:其中所述第一组同心环带及所述第二组同心环带具有5μm的线厚度。 | 未找到对应内容。 | **未公开**。对比文件未公开任何关于对准标记线厚度的具体尺寸,更未提及“5μm”这一具体数值。 |
| **技术特征J**:其进一步包括:第三透明晶片,其包含第三透镜阵列 | [0037] ...the second member 93b is preferably provided with an alignment mark 83a (third alignment mark) used for alignment, and the liquid crystal layer 45 has ... an alignment mark 83b (fourth alignment mark)...(第二构件93b优选地设置有用于对准的对准标记83a(第三对准标记),并且液晶层45具有...对准标记83b(第四对准标记))<br>[0047] 第二实施例(图20)描述了第三构件93c。<br>[0050] 第三实施例(图22)描述了第三构件93c和第四构件93d。<br>[0053] 第四实施例(图23)描述了第一构件93a和液晶层45的对准。 | **未直接公开,但隐含公开了“第三构件”的概念**。对比文件在多个实施例中提到了除第一、第二构件之外的更多构件,例如“第三构件93c”、“第四构件93d”(第二、三实施例),以及需要与微透镜阵列对准的“液晶层45”(本身可视为一个具有像素阵列的透明层)。特别是,液晶层45可以理解为一种功能上与“第三透明晶片”类似的透明层,其上具有像素阵列(可类比为某种功能阵列)。然而,目标专利的“第三透明晶片”明确是“包含第三透镜阵列”,而对比文件中与第二构件对准的通常是液晶调制元件(像素阵列),并非另一个透镜阵列(除了第三、四实施例中的构件本身是微透镜阵列)。因此,虽然对比文件隐含了堆叠中可能存在更多透明层/构件,但“包含第三透镜阵列”这一特定限定未被公开。 |
| **技术特征K**:第二隔片晶片,其定位于所述第二透明晶片与所述第三透明晶片之间且包括包含开口阵列的所述隔片材料 | 未找到对应内容。 | **未公开**。如特征C所述,对比文件的整个技术方案中均未出现“隔片晶片”这一结构元件。在描述第二构件与液晶层45的接合时(例如第一实施例的图18),两者也是直接通过固定步骤结合,中间没有隔片层。 |
| **技术特征L**:及第三对准标记,其设置于所述第三透明晶片上,所述第三对准标记包括与所述第一组同心环带及所述第二组同心环带互补且定位于所述第三透镜阵列中的第三透镜周围的第三组重复标记,所述第三透镜与所述第一透镜及所述第二透镜形成光学堆叠。 | [0037] ...the second member 93b is preferably provided with an alignment mark 83a (third alignment mark)... and the liquid crystal layer 45 has ... an alignment mark 83b (fourth alignment mark)...(第二构件93b优选地设置有对准标记83a(第三对准标记)...并且液晶层45具有...对准标记83b(第四对准标记)) | **未公开**。对比文件确实公开了在后续对准步骤中(如将双微透镜阵列与液晶层对准)使用额外的对准标记(83a, 83b)。然而,目标专利的特征L限定了:1) 标记设置在“第三透明晶片”(包含透镜阵列)上;2) 标记是“与第一组及第二组同心环带互补”的“第三组重复标记”;3) 该标记位于“第三透镜”周围;4) 第三透镜与第一、第二透镜形成光学堆叠。对比文件中的“第三对准标记”83a是设置在第二构件(第二透镜阵列)上,用于与液晶层(非透镜阵列)对准,其图案也未公开是“同心环带”或与之互补。因此,该特征的多个限定均未被公开。 |
| **技术特征M**:其进一步包括:第三透明晶片,其包含第三透镜阵列 | 同特征J的论述。 | **未直接公开,但隐含公开了“第三构件”的概念**。分析同特征J。 |
| **技术特征N**:第二隔片晶片,其定位于所述第二透明晶片与所述第三透明晶片之间且包括包含开口阵列的所述隔片材料 | 同特征K的论述。 | **未公开**。分析同特征K。 |
| **技术特征O**:第三对准标记,其设置于所述第三透明晶片上,所述第三对准标记包括定位于所述第三透镜阵列中的第三透镜周围的第三组重复标记,所述第三透镜与所述第二透镜阵列中的第四透镜形成一对 | [0050] 第三实施例(图22)中,第三构件93c和第四构件93d上分别设置有对准标记81c和81d。 | **未公开**。对比文件第三实施例确实公开了两个额外的构件(93c, 93d)及各自的对准标记。然而,目标专利的特征O限定了:1) “第三透明晶片包含第三透镜阵列”;2) 标记是“定位于第三透镜周围的第三组重复标记”;3) “第三透镜与第二透镜阵列中的第四透镜形成一对”。对比文件中,第三构件93c和第四构件93d本身都是微透镜阵列(如第二实施例图20所示,93c是微透镜阵列),它们彼此接合。但对比文件未明确描述“第三透镜”与来自第二透镜阵列的“第四透镜”形成一对。通常,在对比文件中,93c和93d接合形成另一组双微透镜,与之前的第一、第二构件(93a, 93b)形成的双微透镜阵列是独立的。该特征中关于透镜配对关系的限定未被公开。 |
| **技术特征P**:第四对准标记,其设置于所述第二透明晶片上,所述第四对准标记包括与所述第三组重复标记互补且定位于所述第四透镜周围的第四组重复标记。 | [0050] 第三实施例(图22)中,第三构件93c和第四构件93d上分别设置有对准标记81c和81d。但81d设置在第四构件93d上,而非“第二透明晶片”上。 | **未公开**。对比文件第三实施例中,与第三构件93c上的标记81c互补的标记81d是设置在第四构件93d上。而目标专利的特征P要求“第四对准标记”设置在“第二透明晶片”(即第二透镜阵列所在的晶片)上。这一位置限定与对比文件不同,因此未被公开。 |
| **技术特征Q**:其包括:将第一组同心环带安置于第一透明晶片的第一透镜阵列中的第一透镜周围 | 未找到对应内容。 | **未公开**。对比文件描述了在制造第一构件时同时形成对准标记81a(参见第一实施例制造方法,[0044]),但未公开所安置的标记是“同心环带”。 |
| **技术特征R**:将第二组同心环带安置于第二透明晶片的第二透镜阵列中的第二透镜周围,所述第二组同心环带与所述第一组同心环带互补 | 未找到对应内容。 | **未公开**。同理,对比文件描述了在制造第二构件时同时形成对准标记81b([0045]),但未公开该标记是“同心环带”或与第一标记的互补关系为同心环带互补。 |
| **技术特征S**:通过所述第一透明晶片及所述第一组同心环带来检视所述第二组同心环带 | [0037] ...the first member 93a and the second member 93b can be accurately aligned and bonded with reference to the alignment marks 81a and 81b provided on the single microlens arrays 81a and 81b, respectively.(第一构件93a和第二构件93b可以分别参照设置在单微透镜阵列81a和81b上的对准标记81a和81b来准确对准和接合。)<br>隐含需要通过第一构件观察对准标记。 | **隐含公开**。对比文件公开了通过参照对准标记81a和81b来对准第一和第二构件。为了进行这种对准,操作者或系统必然需要观察这两个标记。由于第一构件(第一透明晶片)是透明的,观察第二构件上的标记81b时,必然需要“通过所述第一透明晶片”来进行检视。虽然对比文件未明确描述“通过第一组同心环带来检视”,因为其标记不是同心环带,但“通过第一透明晶片检视第二对准标记”这一基本步骤已被隐含公开。 |
| **技术特征T**:及使用所述第一组同心环带与所述第二组同心环带的重叠而将所述第一透明晶片对准到所述第二透明晶片,其中所述第一组同心环带和与所述第一组同心环带互补的所述第二组同心环带可经定大小及定位使得其在所述第一及第二透明晶片为光学对准时产生跨越所有环带的实心环带且在所述第一及第二透明晶片未对准时产生波纹效应。 | [0037] ...aligned and bonded with reference to the alignment marks...(参照对准标记...对准和接合)<br>[0041] 图7、9、11、13示出了根据标记图案重叠状态判断对准与否。 | **未公开**。对比文件公开了使用对准标记的重叠状态来进行对准(例如,使十字图案完全重叠、线条连续等)。但是,目标专利特征T明确限定了使用**特定**的“同心环带”重叠产生的特定视觉效果(实心环带/波纹效应)来实现对准。这与对比文件中公开的基于普通几何图案(十字、线条等)简单重叠的对准方法在原理和手段上存在本质区别。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征U**:其中所述检视包括捕捉所述第一组同心环带及所述第二组同心环带的图像数据,且其中所述对准包括经由硬件处理器而比较所述图像数据与至少一个模板图像以确定所述第一组同心环带与所述第二组同心环带是否对准。 | [0048] FIG. 19 ... The CCD cameras 98a and 98b are photographing devices for visually recognizing the alignment marks 81a and the like. The monitor 99 ... has a function of displaying alignment marks 81a and the like photographed by the CCD cameras... In this state, the operator who operates the bifocal system performs alignment mark alignment by monitor confirmation.(图19...CCD相机98a和98b是用于视觉识别对准标记81a等的拍摄设备。监视器99...具有显示CCD相机拍摄的对准标记81a等的功能...在这种状态下,操作双焦点系统的操作者通过监视器确认来进行对准标记对准。) | **未公开**。对比文件公开了使用CCD相机捕捉对准标记的图像并在监视器上显示,由操作者进行视觉确认和手动对准。然而,目标专利特征U限定了:1) 捕捉的是“同心环带”的图像数据;2) 对准过程是“经由硬件处理器比较图像数据与至少一个模板图像”来自动确定是否对准。对比文件虽然使用了图像捕捉设备,但未提及任何基于硬件处理器的图像数据自动比较和判断过程,其对准依赖于操作者的视觉判断。因此,该特征的自动化比对核心内容未被公开。 |
| **技术特征V**:其进一步包括:将分束器层安置于所述第一组同心环带与所述第二组同心环带之间的光学路径中心点处 | 未找到对应内容。 | **未公开**。同特征H,对比文件中不存在“分束器层”。 |
| **技术特征W**:使显微镜物镜聚焦于所述第二组同心环带上 | [0048] FIG. 19 ... a double focus system for visually recognizing the alignment mark 81a and the like.(图19...用于视觉识别对准标记81a等的双焦点系统。)<br>隐含了使用光学系统(可能包含物镜)进行观察聚焦。 | **隐含公开**。对比文件公开了使用“双焦点系统”来视觉识别对准标记,该系统包含CCD相机。本领域技术人员可以理解,为了实现视觉识别和对焦,这样的光学观测系统通常会包含显微镜物镜或功能类似的成像透镜组。虽然对比文件未明确提及“显微镜物镜”,但使光学系统聚焦于待观察物体(如对准标记)是该类系统运作的必然前提。因此,“使显微镜物镜(或等效光学部件)聚焦于对准标记上”这一基本步骤可被认为是隐含公开的。但目标专利聚焦的对象是“第二组同心环带”,而对比文件中是对准标记81b(非同心环带)。 |
| **技术特征X**:检视所述第二组同心环带以及所述第一组同心环带经由所述分束器层的反射 | 未找到对应内容。 | **未公开**。该步骤的核心在于通过“分束器层”的反射,使得位于不同平面的两组标记能够被同时检视。如特征H所述,对比文件中不存在分束器层,因此也就不存在“经由分束器层的反射”来同时检视两组标记的技术手段。对比文件中使用的是双焦点系统(两个相机)分别观察不同焦平面的标记。 |
| **技术特征Y**:及使用通过所述显微镜物镜所检视的所述第一组同心环带与所述第二组同心环带的重叠而将所述第一透明晶片对准到所述第二透明晶片。 | [0048] ...the operator ... performs alignment mark alignment by monitor confirmation.(操作者...通过监视器确认来进行对准标记对准。)<br>隐含了使用观察到的重叠进行对准。 | **隐含公开**。对比文件公开了操作者通过观察监视器上显示的对准标记(图像)来进行对准。这隐含了“使用通过光学系统(显微镜物镜/相机)所检视的对准标记的重叠而将第一构件对准到第二构件”这一基本过程。然而,目标专利中使用的是“第一组同心环带与第二组同心环带的重叠”产生的特定效果,而对比文件中是其他图案的重叠。 |
| **技术特征Z**:其中所述聚焦、所述检视及所述对准由一或多个物理计算装置以编程方式执行。 | [0048] ...the operator ... performs alignment mark alignment by monitor confirmation.(操作者...通过监视器确认来进行对准标记对准。) | **未公开**。对比文件明确描述了对准过程是由“操作者”(operator)手动执行的(“by monitor confirmation”)。整个描述中没有任何关于由物理计算装置以编程方式自动执行聚焦、检视和对准步骤的记载或暗示。目标专利特征Z限定的自动化、程序化执行方式与对比文件公开的手动操作方式不同。 |
<<<A>>><<<B>>>