对比文件的名称:2001-07-10_JP2001189343A_发明专利_JP2001189343A Wire-bonding method and semiconductor device
目标专利的名称:1295利用导体接触器件CN102150294B
本次调用的模型名称:未指定
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断 | 对比文件原文引用(中文翻译) | 公开性论述 |
| 技术特征A:《直接公开》<br>该器件(1)包括具有至少一个单元(3)、接触区(4)和封装(5)的衬底(2) | 对比文件[0025]:“在图5(a)中,焊盘50在基板52(IC结构体)上使用金属(Cu)互连部作为焊盘形成。Ta钝化层54沉积在基板52上,封装Cu互连部。” | 对比文件公开了基板(衬底)、IC结构体(单元)、Cu互连部(接触区)和Ta钝化层(封装),且封装至少覆盖接触区。因此,技术特征A被直接公开。 |
| 技术特征B:《未公开》<br>所述封装包括薄膜并且该薄膜包含氮化硅、碳化硅或氧化铝 | 对比文件[0018]:“Ta层用于封装Cu互连材料。” | 对比文件的封装材料为钽(Ta),属于金属,而非氮化硅、碳化硅或氧化铝等无机薄膜材料。对比文件未提及这些材料,也未暗示可使用这些材料进行封装。因此,技术特征B未被公开。 |
| 技术特征C:《直接公开》<br>其中所述封装(5)封装至少接触区(4) | 对比文件[0016]:“形成钝化层以封装互连材料。” [0025]:“Ta钝化层54沉积在基板52上,封装Cu互连部。” | 对比文件明确公开钝化层覆盖并封装接触区(焊盘)。因此,技术特征C被直接公开。 |
| 技术特征D:《直接公开》<br>将导体(6)设置在封装(5)上 | 对比文件[0019]:“铝线30设置在基板34上,位于Ta钝化层32上。” [0025]:“铝线56设置在Ta钝化层54上。” | 对比文件将导体(铝线)直接设置在钝化层(封装)上。因此,技术特征D被直接公开。 |
| 技术特征E:《直接公开》<br>在不事先移除导体(6)与接触区(4)之间的封装(5)的情况下将导体(6)与接触区(4)互连。 | 对比文件[0010]:“在半导体器件(互连材料)和线之间提供可靠的机械和电连接,其间配置有钝化层。” [0017]:“在半导体器件(互连材料)和线之间形成可靠的机械和电连接,钝化层配置在它们之间。” | 对比文件直接进行键合,钝化层保留在导体和接触区之间,未事先移除。因此,技术特征E被直接公开。 |
| 技术特征F:《直接公开》<br>其中将导体(6)与接触区(4)互连包括超声焊接。 | 对比文件[0014]:“键合通过施加垂直力或通过超声波振动金线来进行。” [0019]:“通过施加压力或通过超声波振动形成铝线和基板之间的楔形键合。” | 对比文件明确使用超声波振动进行键合,属于超声焊接。因此,技术特征F被直接公开。 |
| 技术特征G:《直接公开》<br>其中所述导体(6)包括金属线。 | 对比文件[0014]:“金线”。[0018]:“铝线”。 | 对比文件公开导体为金属线(金线、铝线)。因此,技术特征G被直接公开。 |
| 技术特征H:《直接公开》<br>其中所述金属线是扁平的和/或包含铜、铝或银。 | 对比文件[0018]:“使用铝线”。[0019]:“铝线”。 | 对比文件公开金属线包含铝,满足“包含铜、铝或银”这一可选条件(“和/或”关系,材料公开即视为公开)。未明确提及“扁平”,但特征H的“和/或”结构使得材料公开即为公开。因此,技术特征H被直接公开。 |
| 技术特征I:《直接公开》<br>其中所述接触区(4)用作用于所述单元(3)的电极。 | 对比文件[0025]:“焊盘50作为金属互连部。” | 对比文件中焊盘(接触区)作为IC器件(单元)的电极接触点,提供电连接,功能等同于电极。因此,技术特征I被直接公开。 |
| 技术特征J:《未公开》<br>其中所述封装(5)封装至少所述接触区(4)和所述至少一个单元(3)。 | 对比文件[0025]:“Ta钝化层54沉积在基板52上,封装Cu互连部。” | 对比文件仅公开钝化层封装接触区,未明确封装单元(IC器件)。本领域技术人员无法从对比文件合理推断出封装覆盖单元。因此,技术特征J未被公开。 |
| 技术特征K:《未公开》<br>其中所述超声焊接工作于≥10kHz与≤80kHz之间。 | 对比文件未提及超声焊接频率。 | 对比文件虽然使用了超声波,但未公开任何具体频率或频率范围。因此,技术特征K未被公开。 |
| 技术特征L:《未公开》<br>其中所述超声焊接工作于≥30kHz与≤40kHz之间。 | 对比文件未提及超声焊接频率。 | 同上,对比文件未公开频率范围,技术特征L未被公开。 |
| 技术特征M:《未公开》<br>其中所述超声焊接工作于35kHz。 | 对比文件未提及超声焊接频率。 | 对比文件未公开具体频率,技术特征M未被公开。 |
| 技术特征N:《未公开》<br>一种能够通过根据权利要求1-9中任一项的方法得到的OLED(1)。 | 对比文件涉及半导体器件,非OLED。 | 对比文件涉及半导体器件及其引线键合方法,未涉及OLED制造或结构。因此,技术特征N未被公开。 |
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