对比文件名称：2003-07-02_KR1020030054732A_发明公开_KR1020030054732A 웨이퍼 에칭장치
目标专利名称：1830用于对物体进行湿处理的设备和方法及其中所用的流体扩散板和筒体CN102246277B
本次调用的模型名称：推理模型
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用（中文翻译） | 公开性论述 |
| 技术特征A：所述流体扩散板包括<br>《未公开》 | 对比文件未公开任何板状结构，其主要部件为管道（파이프/pipe）。[31]“수조(14)의 저면에 설치된 파이프(30)”（安装在槽底部的管道30）。 | 目标专利的流体扩散板为具有上、下表面和侧表面的平板状结构，用于扩散处理液和处理气体。对比文件中的核心部件是圆管，其形状、构造均与扩散板不同，且未提及任何板状扩散元件。本领域技术人员无法从对比文件得出流体扩散板或等同结构，故未公开。 |
| 技术特征B：内部空间<br>《隐含公开》 | [31]“파이프(30)의 내부에 설치된 기체량 조절수단”（安装在管道内部的流量调节装置）。[43]“원뿔봉(40)을 파이프(30) 내부에 고정하는 방법”（将锥形棒固定在管道内部的方法）。上述内容明确表明管道30具有内部空间。 | 对比文件中的管道30具有容纳气体和调节部件的内部空间，该空间用于容纳处理流体（气体），与目标专利内部空间的使用目的相同。虽然形状不同，但对比文件公开了“内部空间”这一技术概念，因此隐含公开本特征。 |
| 技术特征C：其由上表面、下表面和侧表面限定<br>《未公开》 | [31]“파이프(30)”（管道）为圆柱形结构，其内部空间由连续的圆柱内壁限定，未划分出上表面、下表面和侧表面。[33]“기체배출구(32)는 파이프(30)에서 상방향으로 형성되어 있는데”（气体排放孔在管道上沿向上方向形成），但管道整体无平面状的上、下表面。 | 目标专利的流体扩散板内部空间由平坦的上、下表面和侧表面限定，形成扁平腔体。对比文件的管道为圆管，其内壁为曲面，不能等同为“上表面、下表面和侧表面”限定的空间。本领域技术人员无法从对比文件得到该限定结构，故未公开。 |
| 技术特征D：流体供应单元<br>《直接公开》 | [31]“파이프(30)의 일면에 연결되어 외부의 기체(GAS)를 주입하는 기체호스(50)”（连接到管道一侧用于注入外部气体的气体软管50）。 | 气体软管50作为外部气体供应部件，直接连接至管道并提供流体，其功能与目标专利的流体供应单元完全相同，均为将处理流体供应至内部空间。该特征已明确公开，故直接公开。 |
| 技术特征E：其用于将处理流体供应至所述内部空间<br>《直接公开》 | [31]“기체호스(50)…외부의 기체(GAS)를 주입하는”（气体软管…注入外部气体）。[35]“파이프(30)와 연결된 기체호스(50)로 유입되는 기체는 통상 질소를 사용한다”（通过连接到管道的气体软管流入的气体通常使用氮气）。 | 气体软管将气体注入管道内部空间，即实现将处理流体供应至内部空间。该功能与目标专利的流体供应单元作用一致，故直接公开。 |
| 技术特征F：其中贯穿所述上表面和所述下表面形成有多个通孔<br>《未公开》 | [31]“파이프(30)의 표면에 길이방향과 세로방향으로 다수 형성된 기체배출구(32)”（在管道表面沿纵向和横向形成的多个气体排放孔32）。[19]“파이프(20)의 표면에는 상방향으로 다수개의 기체배출구(22)가 형성되어 있으며”（在管道表面向上形成多个气体排放孔）。 | 对比文件中的气体排放孔是贯穿管道壁的孔，但管道无明确的上、下表面之分，且孔并非贯穿两个相对的平面（上表面和下表面）。目标专利的通孔是贯穿平板的上、下表面，两者结构不同。本领域技术人员无法从对比文件得到贯穿上、下表面的通孔，故未公开。 |
| 技术特征G：使得所述通孔通过隔板与所述内部空间隔离；并且，在所述上表面的未形成所述通孔的部分形成有穿过所述上表面与所述内部空间连通的多个流体排放孔<br>《未公开》 | [31]“기체배출구(32)”（气体排放孔）直接与管道内部空间连通，无隔板隔离。[33]“기체배출구(32)는 파이프(30)에서 상방향으로 형성되어 있는데”（气体排放孔在管道上向上形成）——所有孔均为同一种类型，未区分通孔与流体排放孔。 | 对比文件的所有气体排放孔均直接与管道内部空间连通，无任何隔板结构，也未设置两种不同功能的孔（通孔用于液体通过，流体排放孔用于气体排出）。目标专利通过隔板将通孔与内部空间隔离，并另设流体排放孔，对比文件无此结构，故未公开。 |
**代码输出**
根据公开性判断，技术特征D和E被直接公开，技术特征B被隐含公开。
<<<D>>><<<E>>><<<b>>>