对比文件名称:2007-08-02_JP2007194426A_发明专利_JP2007194426A Semiconductor memory device
目标专利名称:420制造磁性随机存取存储器的系统和方法CN102484111B
模型名称:DeepSeek
根据目标专利说明书和权利要求,以及对对比文件JP2007194426A的详细分析,现创建特征比对表格如下:
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **技术特征A**:所述方法包含:将金属层的一部分形成为具有大体上直线状部分的源极线<br>**《未公开》** | 对比文件第[2]段:“トランジスタTr1、Tr2のソースSは共有され、ソースS上にソース線コンタクトSCが設けられ、ソース線コンタクトSC上にソース線SLが設けられている。” | **论述**:对比文件公开了存在源极线(ソース線SL),其是设置在源极线接触(ソース線コンタクトSC)之上的导电结构。虽然源极线必然由金属材料构成,但对比文件的说明书和附图中均未明确描述或显示该源极线“具有大体上直线状部分”。目标专利强调源极线的“直线状”形状是为了简化制造和布局(参见说明书[0019]段),而对比文件未提及该形状特征,其技术重点在于通过绝缘膜的热导率差异来管理热量以防止误写(参见说明书[2]段)。因此,对比文件未公开“具有大体上直线状部分”这一限定。 |
| **技术特征B**:使用第一通孔将所述源极线在所述大体上直线状部分处耦合到第一晶体管<br>**《隐含公开》** | 对比文件第[2]段:“トランジスタTr1、Tr2のソースSは共有され、ソースS上にソース線コンタクトSCが設けられ、ソース線コンタクトSC上にソース線SLが設けられている。” | **论述**:对比文件公开了源极线(SL)通过源极线接触(SC)连接到晶体管(Tr1、Tr2)的共享源极(S)。在半导体器件领域,“接触(コンタクト)”通常指垂直连接不同金属层的导电结构,其作用等同于“通孔(via)”。因此,源极线接触SC起到了将源极线SL耦合到晶体管源极S的“通孔”作用。虽然对比文件未明确使用“通孔”一词,也未限定耦合发生在源极线的“大体上直线状部分”处,但“使用通孔将源极线耦合到晶体管”这一基本技术手段已被公开。由于特征A的“直线状部分”未被公开,特征B中关于耦合位置的限定也未被公开。但从整体结构推断,源极线通过接触(通孔)连接到晶体管是必然存在的技术特征。 |
| **技术特征C**:其中所述第一晶体管经配置以将从所述源极线接收的第一电流供应到第一磁性隧道结装置<br>**《直接公开》** | 对比文件第[2]段:“MTJ素子MC1、MC2の電流経路の他端は、ドレインコンタクトDC1〜DC5を介して、トランジスタTr1、Tr2のドレインDと電気的に接続されている。” 以及第[2]段关于写入操作的描述。 | **论述**:对比文件明确公开了第一晶体管(Tr1)的漏极(D)通过漏极接触(DC)连接到第一MTJ元件(MC1)。在操作中,当晶体管导通时,电流可以从源极线(SL)经晶体管的源极(S)流向漏极(D),进而供应到MTJ元件(MC1)(参见写入操作描述,电流在晶体管和比特线BL之间流动)。因此,第一晶体管被配置为将从源极线接收的电流供应到第一MTJ装置,该技术特征被对比文件直接公开。 |
| **技术特征D**:使用第二通孔将所述源极线耦合到第二晶体管<br>**《隐含公开》** | 对比文件第[2]段:“トランジスタTr1、Tr2のソースSは共有され、ソースS上にソース線コンタクトSCが設けられ、ソース線コンタクトSC上にソース線SLが設けられている。” | **论述**:对比文件公开了两个晶体管(Tr1和Tr2)共享一个源极(S),并且该共享源极通过同一个源极线接触(SC)连接到源极线(SL)。这意味着源极线(SL)通过同一个导电接触结构(其作用相当于通孔)同时耦合到了第一晶体管和第二晶体管。因此,尽管对比文件未明确区分“第一通孔”和“第二通孔”,但“使用通孔将源极线耦合到第二晶体管”这一技术方案已必然隐含在公开的共享源极和共享接触的结构中。 |
| **技术特征E**:其中所述第二晶体管经配置以将从所述源极线接收的第二电流供应到第二磁性隧道结装置<br>**《直接公开》** | 对比文件第[2]段:“MTJ素子MC1、MC2の電流経路の他端は、ドレインコンタクトDC1〜DC5を介して、トランジスタTr1、Tr2のドレインDと電気的に接続されている。” 以及第[2]段:“以上の書き込み動作および読み出し動作は、MTJ素子M2についても同様である。” | **论述**:对比文件明确公开了第二晶体管(Tr2)的漏极(D)通过漏极接触(DC)连接到第二MTJ元件(MC2)。说明书明确指出,对于MTJ元件MC2的写入和读取操作与MC1相同。因此,第二晶体管同样被配置为将从源极线接收的电流供应到第二MTJ装置,该技术特征被对比文件直接公开。 |
| **技术特征F**:其中所述第一通孔将所述源极线连接到另一金属层内的分路器<br>**《未公开》** | 未找到对应描述。 | **论述**:对比文件中,源极线(SL)直接通过源极线接触(SC)连接到晶体管的源极(S)。目标专利中的“分路器(源极接点分路器106)”是一个位于不同金属层(M1)、用于汇集多个源极接点以降低电阻的中间导电结构(参见说明书[0018]段)。对比文件完全没有提及此类“分路器”结构。因此,该技术特征未被公开。 |
| **技术特征G**:且其中所述分路器耦合到:第一源极接点,其耦合到所述第一晶体管的源极端子<br>**《未公开》** | 未找到对应描述。 | **论述**:该特征与特征F、H相关联,依赖于“分路器”和“多个源极接点”的存在。如特征F所述,对比文件中不存在“分路器”。同时,对比文件中晶体管源极通过一个“源极线接触(SC)”连接,未提及使用两个独立的“源极接点”。因此,该技术特征未被公开。 |
| **技术特征H**:第二源极接点,其耦合到所述第一晶体管的所述源极端子。<br>**《未公开》** | 未找到对应描述。 | **论述**:同特征G,该特征依赖于使用多个源极接点的架构。对比文件未公开为同一晶体管的源极端子设置两个源极接点的技术方案。因此,该技术特征未被公开。 |
| **技术特征I**:其中所述源极线大体上无支路。<br>**《未公开》** | 未找到对应描述。 | **论述**:目标专利中“大体上无支路”是对源极线形状的进一步限定,旨在强调其结构的简单性和易于制造(参见说明书[0019]段)。对比文件虽然图示了源极线SL,但说明书文字部分未对其形状是否为“无支路”进行任何描述或限定。本领域技术人员无法从对比文件中毫无疑义地得出或必然推断出源极线具有“大体上无支路”的形状。因此,该技术特征未被公开。 |
| **技术特征J**:其中所述金属层为大体上平面的且定位于与所述第一晶体管相距第一距离处且与所述第二晶体管相距第二距离处。<br>**《未公开》** | 对比文件第[2]段描述了层间绝缘膜20-1、20-2等,但未明确描述源极线所在的金属层是“大体上平面的”及其与两个晶体管的距离关系。 | **论述**:目标专利该特征限定了源极线所在金属层的物理属性(大体上平面)及其与两个晶体管的相对位置关系(图3及说明书[0030]段)。对比文件仅提及源极线SL设置在源极线接触SC之上,属于多层互连结构的一部分,但未对其所在层是否为“大体上平面的”进行描述,也未提及该金属层与晶体管Tr1和Tr2之间的具体距离关系。因此,该技术特征未被公开。 |
| **技术特征K**:其中所述第一距离与所述第二距离大体上相同。<br>**《未公开》** | 未找到对应描述。 | **论述**:该特征是特征J的进一步限定。由于对比文件未公开特征J中所述的“第一距离”和“第二距离”,因此更不可能公开这两个距离“大体上相同”的关系。该技术特征未被公开。 |
| **技术特征L**:其中通过使用第三通孔和第四通孔将所述源极线的一部分与另一导电线的大体上直线状部分并联连接。<br>**《未公开》** | 未找到对应描述。 | **论述**:目标专利该特征涉及通过并联导线(240)降低源极线电阻的技术手段(参见说明书[0027]、[0030]段)。对比文件全文聚焦于通过绝缘膜热导率管理热量,未提及任何为了降低源极线电阻而将其与另一导电线并联连接的技术方案。因此,该技术特征未被公开。 |
| **技术特征M**:其中形成所述金属层、将所述源极线电连接到所述第一晶体管和将所述源极线电连接到所述第二晶体管由集成到电子装置中的处理器控制。<br>**《未公开》** | 对比文件第[2]段描述了制造方法,但未提及由处理器控制。 | **论述**:该特征限定了制造过程的控制主体是“集成到电子装置中的处理器”。对比文件虽然描述了半导体记忆装置的制造方法(例如,参见第[2]段关于制造流程的描述),但其中仅涉及常规的半导体制造工艺步骤(如CVD、RIE等),完全没有提及这些步骤是由“处理器”控制的,更没有限定该处理器是“集成到电子装置中”的。因此,该技术特征未被公开。 |
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