对比文件名称：2008-07-31_KR100849366B_发明授权_KR100849366B1 기판을 처리하는 장치 및 방법
目标专利名称：1830用于对物体进行湿处理的设备和方法及其中所用的流体扩散板和筒体CN102246277B
本次调用的模型名称：DeepSeek
| 技术特征描述及公开性判断 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **技术特征A：所述流体扩散板包括（《直接公开》）** | 对比文件[74]：“하우징(220)의 내부에는 공간이 형성된다. ... 제1 전극(260)들의 상부에 위치하는 공간에는 제1 전극(260)들을 향하여 소스가스를 확산시키는 확산판(240)이 설치된다.” （翻译：在壳体内部形成空间。...在位于第一电极上方的空间中安装有用于向第一电极扩散源气体的扩散板(240)。） | 对比文件明确公开了“扩散板(240)”，该部件用于扩散气体，其名称和功能与目标专利的“流体扩散板”实质相同，均用于扩散流体（气体）。因此，本领域技术人员可直接确定该技术特征被对比文件公开。 |
| **技术特征B：内部空间（未公开）** | 对比文件[74]中扩散板为板状结构，无关于扩散板内部空间的描述。 | 对比文件中的扩散板为实心板，仅作为分隔板使用，未公开其具有由上下表面及侧表面限定的独立内部空间，也无法从对比文件合理推断出该结构。 |
| **技术特征C：其由上表面、下表面和侧表面限定（未公开）** | 对比文件[74]及[85]均未描述扩散板具有内部空间，更未限定内部空间由上、下、侧表面构成。 | 由于对比文件未公开扩散板存在内部空间，因此不存在对内部空间形状的限定，该技术特征未被公开。 |
| **技术特征D：流体供应单元（未公开）** | 对比文件[62]：“소스가스라인(29)은 제2 이동부(28) 및 제2 이동암(26), 제1 이동부(24) 및 제1 이동암(22)의 내부를 통하여 하우징(200)의 내부에 소스가스를 공급한다.” （翻译：源气体管线(29)通过第二移动部、第二移动臂、第一移动部、第一移动臂的内部向壳体内部供应源气体。） | 对比文件的气体供应管线是向壳体内部空间供应气体，而非直接连接至扩散板并为扩散板内部空间供气。扩散板本身不具有独立的流体供应单元，因此该特征未被公开。 |
| **技术特征E：其用于将处理流体供应至所述内部空间（未公开）** | 同上，对比文件未将流体供应至扩散板内部空间。 | 对比文件没有公开将任何流体供应至扩散板内部空间的结构，因为扩散板无内部空间，故该特征未被公开。 |
| **技术特征F：其中贯穿所述上表面和所述下表面形成有多个通孔（《直接公开》）** | 对比文件[85]：“확산판(240) 상에는 복수의 확산홀(242)들이 형성된다.” （翻译：扩散板(240)上形成有多个扩散孔(242)。） | 对比文件中的扩散孔(242)是贯穿扩散板上下表面的孔洞，其结构直接对应于目标专利的“通孔”。因此，本领域技术人员可直接确定该技术特征被对比文件公开。 |
| **技术特征G：使得所述通孔通过隔板与所述内部空间隔离；并且中在所述上表面的未形成所述通孔的部分形成有穿过所述上表面与所述内部空间连通的多个流体排放孔（未公开）** | 对比文件[74]及[85]未公开任何隔板隔离结构，也未公开除扩散孔以外的其他孔洞。 | 对比文件中的扩散孔直接连通扩散板上下空间，无隔板隔离；且扩散板上仅有一种孔（扩散孔），没有单独的上表面排放孔。因此，该技术特征未被对比文件公开，也无法合理推断得出。 |
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