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**对比文件名称**:US2002057176A1_Description_20260219_0615

**目标专利名称**:190具有变化厚度的电感器CN105493208B

**本次调用的模型名称**:DeepSeek-R1

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用公开性论述
**技术特征A:包括:基板** <br> 《直接公开》[0006]:Integrated inductors are usually designed as octagonal or square spirals metal stripes 1 on an oxide 2 formed above a semiconductor substrate 3 as illustrated in FIG. 1.<br>[0062]:... a silicon substrate 11 ...对比文件明确公开了半导体衬底(semiconductor substrate),在集成电路中,该衬底通常作为器件(包括电感器)的支撑和电隔离基础。这与目标专利中作为电感器载体的“基板”在结构和作用上相同。因此,本领域技术人员能够毫无疑义地确定对比文件公开了“基板”这一技术特征。
**技术特征B:以及布置在所述基板上的螺旋电感器,所述螺旋电感器是梯度层堆叠电感器,** <br> 未被直接或隐含公开[0006]:Integrated inductors are usually designed as octagonal or square spirals metal stripes 1 ...<br>[0074]:Processing then continues with formation of a multi-layer metallization arrangement 25 to create an integrated inductor 27.对比文件确实公开了布置在基板(衬底)上的螺旋电感器(如[0006]所述)。然而,目标专利权利要求明确限定该螺旋电感器为“梯度层堆叠电感器”,这意味着其厚度(在垂直于基板的方向上)沿最内匝呈现连续、渐变的梯度变化(参见目标专利说明书[0013],[0025]-[0027],[0036])。对比文件公开的电感器虽然可能采用多层金属化([0074]),但其目的在于通过形成空腔(cavity)来减少衬底耦合、提高Q值,并未描述或暗示电感器金属线匝本身的厚度存在从内到外或沿同一匝变化的“梯度层堆叠”结构。对比文件关注的焦点是衬底结构与整体隔离,而非电感器导体自身的厚度梯度变化。因此,该特征未被对比文件公开。
**技术特征C:其中所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。目标专利中“最内匝的第一部分具有第一厚度”是构建“梯度层堆叠电感器”的具体特征之一。对比文件全文未提及电感器任何特定匝(如最内匝)或其某一部分在垂直方向上的厚度,更未提及该厚度具有特定值(“第一厚度”)。因此,该特征未被对比文件公开。
**技术特征D:,所述最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度,** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。同上,对比文件未描述电感器最内匝的不同部分具有不同的垂直方向厚度。该特征未被公开。
**技术特征E:其中所述第二厚度大于所述第一厚度,** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。对比文件未描述电感器金属线匝厚度存在差异,因此无从比较“第二厚度”与“第一厚度”的大小关系。该特征未被公开。
**技术特征F:所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度,** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。对比文件未描述电感器最内匝的第三部分及其厚度。该特征未被公开。
**技术特征G:其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度,** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。对比文件未描述电感器金属线匝厚度存在差异及比较关系。该特征未被公开。
**技术特征H:并且所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。这是“梯度层堆叠电感器”的核心定义特征,即厚度沿最内匝呈梯度连续增大。对比文件完全没有涉及电感器导体自身厚度的梯度变化设计。该特征未被公开。
**技术特征I:其特征在于:所述螺旋电感器包括第一导电螺旋和第二导电螺旋,其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋,所述最内匝的所述第一部分包括所述第二导电螺旋的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋,所述最内匝的所述第三部分包括所述第一导电螺旋的第一端部和所述第二导电螺旋的一部分,并且所述导电螺旋的最外匝的一部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述第一导电螺旋的一部分。** <br> 未被直接或隐含公开[0074]:... formation of a multi-layer metallization arrangement 25 to create an integrated inductor 27. ... at least two metallization layers 29, 31 and a passivation layer 33 in between, in which a via hole contact 35 is formed, are needed.对比文件提到形成集成电感器需要至少两个金属化层(29, 31),这可以对应“第一导电螺旋”和“第二导电螺旋”的概念。然而,目标专利特征I对两个螺旋的覆盖关系、以及它们在“最内匝第一部分”、“最内匝第三部分”和“最外匝一部分”中的具体包含关系进行了极其具体和结构化的限定,这些限定与实现“梯度层堆叠”的特定堆叠方式紧密相关。对比文件仅提及多层金属用于构建电感器,但并未描述这些层之间的具体覆盖关系,更未将其与电感器特定匝的特定部分相关联。因此,对比文件没有公开该特征的具体技术方案。
**技术特征J:其特征在于,所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度。** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。对比文件未描述构成电感器的不同金属化层或“螺旋”的长度,也未比较它们的大小关系。该特征未被公开。
**技术特征K:其特征在于,所述螺旋电感器进一步包括在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的导电层,其中所述最内匝的所述第二部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述导电层的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋。** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。对比文件在多层金属化之间提到了“钝化层”(passivation layer 33,[0074]),但钝化层是绝缘介质层,而目标专利的“导电层”是导电的,用于形成梯度厚度的中间导电部分(参见说明书[0025]-[0027])。两者材料和作用不同。对比文件未公开在两层导电螺旋之间存在一个“导电层”。该特征未被公开。
**技术特征L:其特征在于,所述导电层包括非连续螺旋。** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。由于对比文件未公开“导电层”,自然也谈不上公开该导电层是“非连续螺旋”。该特征未被公开。
**技术特征M:其特征在于,所述导电层包括输入引线、输出引线、或其组合。** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。同上,对比文件未公开“导电层”,因此也未公开其包含引线。该特征未被公开。
**技术特征N:其特征在于,进一步包括形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的钝化层。** <br> 《隐含公开》[0074]:... at least two metallization layers 29, 31 and a passivation layer 33 in between, in which a via hole contact 35 is formed, are needed.对比文件明确描述了在构成电感器的两个金属化层(29, 31)之间存在一个钝化层(33),并且其中形成有通孔接触(35)。虽然目标专利的“钝化层”位于其“第一导电螺旋”和“第二导电螺旋”之间,而对比文件的钝化层(33)位于金属化层(29, 31)之间,但本领域技术人员能够理解,在多层金属结构的电感器中,为了进行层间电隔离并在需要时通过通孔实现电连接,在相邻的导电层(无论其具体被称作“导电螺旋”还是“金属化层”)之间设置钝化层是常见且必要的技术手段。因此,可以合理地推断对比文件隐含了在两层导电结构之间存在钝化层的技术特征。
**技术特征O:其特征在于,所述第二导电螺旋通过延伸穿过所述钝化层的一部分的通孔电连接至所述第一导电螺旋。** <br> 《隐含公开》[0074]:... a passivation layer 33 in between, in which a via hole contact 35 is formed, are needed.对比文件明确指出,在钝化层(33)中形成了通孔接触(35)。虽然未明确说明该通孔(35)具体连接的是哪两个金属化层,但在多层金属化电感器结构中,通孔的基本作用就是实现不同导电层之间的电连接。考虑到对比文件描述的是构建电感器(27),本领域技术人员可以合理推断,通孔(35)用于电连接所述至少两个金属化层(29, 31),以实现螺旋电感的连续绕制。因此,可以认为对比文件隐含了“通过延伸穿过钝化层的通孔电连接两个导电层/螺旋”这一技术特征。
**技术特征P:其特征在于,所述最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增。** <br> 未被直接或隐含公开无相关内容。该特征重申了“梯度层堆叠”中厚度单调递增的特性。如前述,对比文件完全没有涉及电感器导体自身厚度沿最内匝的变化。该特征未被公开。

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