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技术特征描述及公开性判断	对比文件原文引用	公开性论述
特征A：包括基板。《直接公开》	[0074] The substrate 1 is formed of semiconductor material such as silicon and GsAs, or dielectric material such as glass, alumina and resin, or the like.	对比文件明确公开了基板（substrate 1），其构成器件的基础支撑结构，与目标专利中基板的作用相同，都是用于承载电感器等元件。因此，本领域技术人员能够毫无疑义地得出该技术特征。
特征B：布置在所述基板上的螺旋电感器，所述螺旋电感器是梯度层堆叠电感器。《未公开》	[0084] ... a meander type or spiral-type of inductor is formed at the central portion.	对比文件公开了可变电感器设备23，其可以是螺旋型电感器，但未提及该电感器是“梯度层堆叠电感器”。目标专利的“梯度层堆叠电感器”特指其厚度沿最内匝梯度变化的结构。对比文件中的电感器是MEMS可变电感，通过上电极机械运动改变电感，未描述其导体厚度沿匝梯度变化。两者结构和工作原理不同，因此未被公开。
特征C：其中所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未描述螺旋电感器最内匝的任何部分具有特定的厚度，更未区分“第一部分”及其“第一厚度”。目标专利中该特征用于实现厚度变化以减小涡流损耗，对比文件中无此目的或相应结构。
特征D：所述最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未描述螺旋电感器最内匝具有不同部分及其各自厚度。目标专利中该特征与厚度梯度增大相关，对比文件中无对应内容。
特征E：其中所述第二厚度大于所述第一厚度。《未公开》	未公开相关内容。	由于特征C和D未被公开，特征E所定义的厚度大小关系也无从谈起。对比文件中未提供任何关于电感器不同部分厚度比较的信息。
特征F：所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未描述螺旋电感器最内匝存在“第三部分”或“第三厚度”。目标专利中该特征是厚度梯度增大的关键，对比文件中无对应内容。
特征G：其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度。《未公开》	未公开相关内容。	由于特征C、D、F均未被公开，特征G所定义的厚度关系也无从谈起。对比文件中未涉及此类厚度比较。
特征H：并且所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件完全未提及螺旋电感器的厚度在其最内匝上呈梯度变化。目标专利该特征是实现低损耗的核心，对比文件中的可变电感器通过改变上电极与基板的间距来调谐电感，而非改变导体自身的厚度梯度。
特征I：所述螺旋电感器包括第一导电螺旋和第二导电螺旋，其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋...《未公开》	[0076] The first conductive layer, as shown in FIG. 2, can function as a lower electrode 13 ... [0078] The second conductive layer, as shown in FIG. 2, can function as an upper electrode ...	对比文件公开了可变电感器设备23包含下电极（第一导电层）和上电极（第二导电层），但两者并非都是“导电螺旋”。下电极通常作为驱动电极，上电极形成电感（如蜿蜒形或螺旋形），但两者是相对设置的平板或梁结构，并非目标专利中一个覆盖另一个的堆叠螺旋结构。功能上，对比文件的上下电极主要用于产生静电驱动力，而非共同构成一个具有梯度厚度的螺旋电感器主体。因此，该特征未被公开。
特征J：其特征在于，所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未公开任何关于两个导电螺旋长度关系的信息。目标专利中该特征与阶梯状堆叠实现厚度变化有关，对比文件中无对应结构。
特征K：其特征在于，所述螺旋电感器进一步包括在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的导电层...《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未提及在上下电极之间存在额外的“导电层”。目标专利中该导电层是形成厚度梯度的一部分，对比文件中无此结构。
特征L：其特征在于，所述导电层包括非连续螺旋。《未公开》	未公开相关内容。	由于特征K未被公开，特征L所限定的导电层形态自然也未被公开。
特征M：其特征在于，所述导电层包括输入引线、输出引线、或其组合。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未公开具有输入/输出引线功能的导电层。目标专利中该特征与电感器的电连接有关，对比文件中电感器的连接通过其他布线实现。
特征N：其特征在于，进一步包括形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的钝化层。《未公开》	[0084] ... a dielectric layer 5 is formed on the lower electrode 13.	对比文件在可变电感器设备23的下电极上形成了电介质层5，其作用主要是作为防粘附膜（anti-stiction film）。该层位于下电极和上电极之间的空气层中，但并不等同于目标专利中设置于两个堆叠的导电螺旋之间的钝化层。两者位置、结构和作用均存在差异，因此该特征未被公开。
特征O：其特征在于，所述第二导电螺旋通过延伸穿过所述钝化层的一部分的通孔电连接至所述第一导电螺旋。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件中，可变电感器设备23的下电极和上电极之间是空气间隙，用于静电驱动，并未通过通孔进行电连接。因此，该特征未被公开。
特征P：其特征在于，所述最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增。《未公开》	未公开相关内容。	对比文件未描述螺旋电感器最内匝的厚度变化，更未提及“单调递增”。目标专利该特征是梯度层堆叠的直接表现，对比文件中无任何相关内容。